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적외선 센서 어레이 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015146769
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 적외선 센서 어레이는 복수개의 홀을 갖고, 상기 홀마다 대응하여 도전성 페이스트가 채워진 마이크로 홀을 갖는 상부 그린 쉬트와, 상기 상부 그린 쉬트의 하부에 상기 홀에 대응하여 표면에 상부 전극이 형성되어 있고, 배면에는 하부 전극이 형성되어 있고, 상기 상부 전극은 상기 마이크로 홀에 연결되는 중간 그린 쉬트와, 상기 중간 그린 쉬트의 하부에 상기 중간 그린 쉬트에 대향하여 형성되고, 상기 하부 전극에 대향한 복수개의 홀을 갖고, 상기 홀마다 상기 하부 전극과 연결되고 도전성 페이스트가 채워진 마이크로 홀을 갖는 하부 그린 쉬트와, 상기 상부 그린 쉬트의 상부에 형성되는 필터를 포함한다. 본 발명의 적외선 센서 어레이는 테이프 캐스팅 방법을 이용하여 배선층이 포함된 세라믹 소자 및 필터를 직접 적층하는 일체형이기 때문에 세라믹 소자의 불필요한 배선에 의해 발생되는 기생 임피던스 성분을 최소화할 수 있고 PCB기판에 실장이 용이하다.
Int. CL H01L 31/09 (2006.01.01) H01L 31/18 (2006.01.01)
CPC H01L 31/09(2013.01) H01L 31/09(2013.01)
출원번호/일자 1019970050372 (1997.09.30)
출원인 한국전자기술연구원
등록번호/일자 10-0243357-0000 (1999.11.16)
공개번호/일자 10-1999-0027842 (1999.04.15) 문서열기
공고번호/일자 (20000201) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1997.09.30)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박준식 대한민국 경기도 군포시
2 황학인 대한민국 경기도 안양시 동안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이영필 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)
2 이상용 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)(특허법인필앤온지)
3 권석흠 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)(유미특허법인)
4 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전자부품연구원 대한민국 경기도 평택시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination
1997.09.30 수리 (Accepted) 1-1-1997-0159757-02
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1997.09.30 수리 (Accepted) 1-1-1997-0159756-56
3 특허출원서
Patent Application
1997.09.30 수리 (Accepted) 1-1-1997-0159755-11
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.01.14 수리 (Accepted) 4-1-1999-0005793-30
5 출원인명의변경신고서
Applicant change Notification
1999.02.23 수리 (Accepted) 1-1-1999-5084098-93
6 등록사정서
Decision to grant
1999.10.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0327303-55
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2005.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2005-5036534-08
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

복수개의 홀을 갖고, 상기 홀마다 대응하여 도전성 페이스트가 채워진 마이크로 홀을 갖는 상부 그린 쉬트;

상기 상부 그린 쉬트의 하부에 상기 홀에 대응하여 표면에 상부 전극이 형성되어 있고, 배면에는 하부 전극이 형성되어 있고, 상기 상부 전극은 상기 마이크로 홀에 연결되는 중간 그린 쉬트;

상기 중간 그린 쉬트의 하부에 상기 중간 그린 쉬트에 대향하여 형성되고, 상기 하부 전극에 대향한 복수개의 홀을 갖고, 상기 홀마다 상기 하부 전극과 연결되고 도전성 페이스트가 채워진 마이크로 홀을 갖는 하부 그린 쉬트; 및

상기 상부 그린 쉬트의 상부에 형성되는 필터를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 적외선 센서 어레이

2 2

제1항에 있어서, 상기 상부 그린 쉬트 및 하부 그린 쉬트의 모서리에 그라운드를 위한 마이크로 홀이 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 적외선 센서 어레이

3 3

제1항에 있어서, 상기 상부 그린 쉬트 및 하부 그린 쉬트의 두께는 200∼500㎛이며, 상기 중간 그린 쉬트의 두께는 30∼80㎛인 것을 특징으로 하는 적외선 센서 어레이

4 4

제1항에 있어서, 상기 상부 그린 쉬트 및 하부 그린 쉬트의 홀은 중앙부에 위치하는 사각형의 홀인 것을 특징으로 하는 적외선 센서 어레이

5 5

초전체 원료를 준비하는 단계;

상기 초전체 원료를 혼합하는 단계;

상기 혼합된 초전체 원료를 테이프 캐스팅(tape casting)방법을 이용하여 하부 그린 쉬트, 중간 그린 쉬트 및 상부 그린 쉬트를 형성하는 단계;

상기 중간 그린 쉬트의 표면 및 배면에 상부 전극 및 하부 전극을 형성하는 단계;

상기 상부 그린 쉬트 및 하부 그린 쉬트에 복수개의 구멍 및 마이크로 홀을 형성하는 단계;

상기 마이크로 홀에 도전성 페이스트를 채워 넣는 단계;

상기 하부 그린 쉬트, 중간 그린 쉬트 및 상부 그린 쉬트를 순차적으로 적층한 후 소결하는 단계;

상기 상부 그린 쉬트, 중간 그린 쉬트 및 하부 그린 쉬트에 초전체 특성을 부가하기 위해 폴링(polling) 공정을 진행하는 단계; 및

상기 상부 그린 쉬트 상에 필터를 본딩한 후 열처리하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 적외선 센서 어레이의 제조방법

6 6

제5항에 있어서, 상기 도전성 페이스트는 Pt, Pd, Pt-Pd, Ag-Pd, Ag-Pt, Au-Pd, Au-Pt 및 Ni중에서 선택된 어느 하나를 이용하는 것을 특징으로 하는 적외선 센서 어레이의 제조방법

7 7

제5항에 있어서, 상기 소결은 600∼1200℃에서 수행하는 것을 특징으로 하는 적외선 센서 어레이의 제조방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.