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태양전지 웨이퍼 재자원화를 위한 화학적-기계적 식각 방법(A CHEMICAL AND MECHNICAL ETCHING METHOD FOR REUSE A SOLAR CELL)

  • 기술번호 : KST2016007477
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 태양전지에 사용된 실리콘 웨이퍼를 재사용할 수 있는 화학적-기계적 식각 방법에 관한 것으로, 목표 수명을 다한 실리콘 태양전지 또는 공정 중 발생한 불량 태양전지를 화학적 기계적으로 식각하되, 질산용액을 사용하여 은 전극을 제거함으로써 부가가치가 있는 은을 정상적으로 회수할 수 있으며, 은 전극을 우선 제거함으로써, 이후 기계적 연마시 은 전극 돌출로 인한 단차로 인해 폐 태양전지가 파괴되는 것을 예방할 수 있다. 아울러 화학적 식각과 기계적 연마를 혼용하여 사용함으로써 저비용 대비 고효율로 실리콘 웨이퍼를 정상 재활용할 수 있고, 수산화칼륨 용액을 이용하여 알루미늄 전극을 제거함과 동시에 기계적 연마로 인한 실리콘 웨이퍼 표면의 손상을 동시 제거할 수 있기 때문에 실리콘 웨이퍼 재활용 공정을 고속화할 수 있고, 별도의 표면 연마 공정 필요 없이 태양전지 공정에 재사용될 수 있는 웨이퍼를 용이하게 얻을 수 있다.
Int. CL H01L 21/304 (2006.01) H01L 31/18 (2006.01) H01L 21/3065 (2006.01)
CPC H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01)
출원번호/일자 1020140113270 (2014.08.28)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0027325 (2016.03.10) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.10.18)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박노창 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 박종성 대한민국 충청남도 천안시 서북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 다래 대한민국 서울 강남구 테헤란로 ***, **층(역삼동, 한독타워)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.08.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-0823258-74
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2017.10.18 수리 (Accepted) 1-1-2017-1026088-18
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.02.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.03.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0040057-68
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.03.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0186944-52
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.05.16 무효 (Invalidation) 1-1-2018-0481803-74
7 보정요구서
Request for Amendment
2018.05.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0080220-10
8 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation
2018.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0100265-12
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.07.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0459581-18
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
태양전지 웨이퍼 재자원화를 위한 화학적-기계적 식각 방법에 있어서,질산 용액을 사용하여 태양전지 일면에 형성된 은 전극을 식각하는 단계와;은 전극이 제거된 상기 태양전지 일면에 형성되어 있는 반사 방지막과 에미터층 및 PN접합층을 연마용 파우더와 기계적 연마를 통해 제거하는 단계와;상기 태양전지의 또 다른 일면에 형성되어 있는 알루미늄 전극을 수산화칼륨 용액을 사용하여 제거하여 실리콘 웨이퍼를 재생하는 단계;를 포함함을 특징으로 하는 태양전지 웨이퍼 재자원화를 위한 화학적 기계적 식각 방법
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 기계적 연마가 이루어진 면의 표면 손상을 상기 수산화칼륨 용액을 사용하여 제거하는 단계;를 더 포함함을 특징으로 하는 태양전지 웨이퍼 재자원화를 위한 화학적 기계적 식각 방법
3 3
청구항 2에 있어서, 상기 기계적 연마가 이루어진 면의 표면 손상을 상기 수산화칼륨 용액을 사용하여 제거하는 단계는 상기 실리콘 웨이퍼를 재생하는 단계와 동시 수행됨을 특징으로 하는 태양전지 웨이퍼 재자원화를 위한 화학적 기계적 식각 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업부 코리아노블메탈(주) (산업부)글로벌전문기술개발사업 (RCMS)태양전지 모듈 재자원화 기술개발