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리소그래피 시뮬레이터

  • 기술번호 : KST2015158628
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에서는 우리나라 자체의 시뮬레이터를 개발하는데 목적을 두고 광 및 에너지 분포를 구하여 deep ultraviolet resist인 화학 증폭형 resist나 resist에 따른 복잡한 공정을 처리할 수 있는 기본 툴을 만들어, 컴퓨터 계산 시간을 최소한으로 줄이고 Proximity 효과를 처리할 수 있는 툴을 만들고, 개발된 툴을 사용자가 쉽게 쓸 수 있도록 하면서 1GDRAM이상의 소자 양산에 적용할 수 있는 새로운 노광 방법을 개발하고자 한다. 또한 보다 나은 사용자의 편의를 위해 편리한 GUI환경을 구축한다. 리소그래피, LUV, 시뮬레이터.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020070042885 (2007.05.03)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2008-0097705 (2008.11.06) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 원태영 대한민국 경기도 화성시
2 신우정 대한민국 인천광역시 동구
3 양승수 대한민국 인천광역시 남구
4 이정복 대한민국 서울특별시 강서구
5 오혜근 대한민국 서울특별시 영등포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
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최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.05.03 수리 (Accepted) 1-1-2007-0331568-29
2 출원인변경신고서
Applicant change Notification		 2007.05.28 수리 (Accepted) 1-1-2007-5054033-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.03.07 수리 (Accepted) 4-1-2008-0003929-31
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2008-5093865-89
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.11.17 수리 (Accepted) 4-1-2009-5220324-82
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
리소그래피 시뮬레이터를 구성하기 위하여 광 리소그래피 모델링 시뮬레이터와 E-beam 리소그래피 모델링시뮬레이터 X선 리소그래피 모델링 시뮬레이터를 통합 구성하였다
2 2
제1항에 있어서, 상기 시뮬레이터의 구성을 위한 순서도와 통합 환경 구축
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.