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소정 간격을 두고 배열된 복수의 제1항의 압전 다층 블록들(상기 내부전극의 길이방향으로 세워서 배열됨) 그리고 상기 압전 다층 블록들의 사이 및 외부를 둘러싸도록 채워진 폴리머 수지 매트릭스(상기 압전 다층 블록들의 측면 상의 외부전극들이 노출되도록 채워지거나 상기 외부전극들로부터의 연장선이 노출되도록 채워짐)를 포함하는 세라믹-폴리머 1-3 압전 복합체
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제12항에 있어서,상기 압전 복합체의 상면 및 하면(즉, 상기 압전 다층 블록들의 측면 상의 외부전극들이 이루는 면들) 상에 상기 압전 다층 블록들의 측면 상의 외부전극들과 접촉되도록 형성된 전도성 판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹-폴리머 1-3 압전 복합체
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제13항에 있어서,상기 전도성 판은 TiC-Ni로 된 것임을 특징으로 하는 세라믹-폴리머 1-3 압전 복합체
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제12항에 있어서,상기 폴리머 수지 매트릭스는 에폭시 수지로 된 것임을 특징으로 하는 세라믹-폴리머 1-3 압전 복합체
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제12항에 있어서, 상기 압전 복합체는 초음파 발진자에 적용되는 것임을 특징으로 하는 세라믹-폴리머 1-3 압전 복합체
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제12항에 있어서,상기 압전 다층 블록은 상기 내부전극의 길이방향이 그것에 수직하는 방향보다 긴 막대(rod) 또는 파이버 형상인 것을 특징으로 하는 세라믹-폴리머 1-3 압전 복합체
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18
제12항에 있어서,상기 압전 다층 블록의 상기 압전층의 압전물질은 PZN과 PZT가 복합된 PZN-PZT 복합체인 것을 특징으로 하는 세라믹-폴리머 1-3 압전 복합체
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제18항에 있어서,상기 압전 다층 블록의 상기 내부전극층은 PZN-PZT 복합체와 Ag의 혼합물인 PZN-PZT/Ag로 형성되는 것임을 특징으로 하는 세라믹-폴리머 1-3 압전 복합체
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20
제19항에 있어서,상기 PZN-PZT/Ag에서 Ag의 함량은 30~80 중량%인 것을 특징으로 세라믹-폴리머 1-3 압전 복합체
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제20항에 있어서,상기 PZN-PZT/Ag 내부전극층 또는 상기 PZN-PZT 압전층에 사용되는 xPZN-(1-x)PZT 복합체의 조성에 있어서, x는 0
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제21항에 있어서,상기 PZN-PZT/Ag 내부전극층 또는 상기 PZN-PZT 압전층에 사용되는 PZN-PZT 복합체의 Pb(Zry,Ti1-y)O3 조성에 있어서, y는 0
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제20항에 있어서,상기 PZN-PZT/Ag 내부전극층 또는 상기 PZN-PZT 압전층에 사용되는 PZN-PZT 복합체의 xPb(Zn1/3Nb2/3)O3-(1-x)Pb(Zry,Ti1-y)O3 조성에 있어서, x 및 y는 생성되는 PZN-PZT 복합체의 상공존 경계(Morphotropic Phase Boundary; MPB) 영역의 조성이 되도록 선택됨을 특징으로 하는 세라믹-폴리머 1-3 압전 복합체
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제12항에 있어서,상기 압전 다층 블록의 상기 외부전극층은 Ag 페이스트를 코팅하여 형성되는 것임을 특징으로 하는 세라믹-폴리머 1-3 압전 복합체
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