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코팅 스트레스 측정장치

  • 기술번호 : KST2015159701
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 코팅 스트레스 측정장치에 관한 것으로서, 구체적으로 기판 상에 코팅된 코팅층의 건조 도중 상기 코팅층에 발생하는 스트레스를, 반사되는 광선의 위치 이동을 측정함으로써 구하는 장치에 관한 것이다. 본 발명의 코팅 스트레스 측정장치는 외부와 차단된 건조실에서 온도나 습도 등의 환경변수를 제어함으로써 보다 정밀한 코팅 스트레스 측정이 가능하고, 반사부나 거리조절부를 도입하여 광선 경로의 조절이 용이하다. 나아가, 광분배부를 통해 기판의 모든 영역에 다수 개의 광선을 동시에 조사하고 그 각각의 위치 변화를 측정함으로써 비대칭적인 휨 변위 분포를 파악할 수 있는 장점이 있다. 이렇게 얻은 정보를 토대로 건조 공정을 제어함으로써 크랙, 박리, 주름 등의 발생을 억제할 수 있다. 코팅, 기판, 스트레스, 휨, 건조
Int. CL G01N 21/89 (2006.01) G01B 11/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020070087338 (2007.08.30)
출원인 재단법인서울대학교산학협력재단
등록번호/일자 10-0912220-0000 (2009.08.07)
공개번호/일자 10-2009-0022206 (2009.03.04) 문서열기
공고번호/일자 (20090814) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.08.30)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안경현 대한민국 서울 강남구
2 이승종 대한민국 경기 수원시 팔달구
3 김선형 대한민국 서울시 동작구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 노우성 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(논현동, 건설회관)(특허법인주원)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 안경현 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.08.30 수리 (Accepted) 1-1-2007-0631118-56
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2008-5015497-73
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.06.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.07.15 수리 (Accepted) 9-1-2008-0043397-84
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.12.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0624602-60
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.02.11 수리 (Accepted) 1-1-2009-0083678-16
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.03.11 수리 (Accepted) 1-1-2009-0146631-93
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.04.13 수리 (Accepted) 1-1-2009-0221524-09
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.04.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0221535-01
10 등록결정서
Decision to grant
2009.05.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0201969-80
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.08.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5100909-62
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5036045-28
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
광원; 코팅된 기판을 건조시키는 건조실; 상기 광원으로부터 조사된 후 상기 코팅된 기판에 의해 반사된 광선을 검출하는 검출부; 상기 광원으로부터 조사된 광선을 3 내지 36 개로 분배하는 광분배부; 및 상기 건조실의 높이를 조절하여, 상기 광원 - 기판, 상기 검출부 - 기판, 또는 상기 광원 - 기판 및 검출부 - 기판 사이의 거리를 조절하는 거리조절부 를 포함하고, 상기 건조실은 상기 광선이 투과되는 창; 상기 코팅된 기판을 지지하는 지지부; 및 센서 를 구비하는 것을 특징으로 하는 코팅 스트레스 측정장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 광원으로부터 조사된 광선을 반사하는 반사부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 스트레스 측정장치
5 5
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 건조실 중 창을 제외한 적어도 일부는 단열재를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 스트레스 측정장치
6 6
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 센서는 온도, 습도, 또는 온도 및 습도를 측정하는 것을 특징으로 하는 코팅 스트레스 측정장치
7 7
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 지지부는 상기 코팅된 기판의 일측 말단을 고정시키는 것을 특징으로 하는 코팅 스트레스 측정장치
8 8
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 지지부는 상기 코팅된 기판 가장자리 중 적어도 일부를 지지하는 것을 특징으로 하는 코팅 스트레스 측정장치
9 9
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 지지부는 관통공을 구비한 평판 형태인 것을 특징으로 하는 코팅 스트레스 측정장치
10 10
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 검출부는 광다이오드(photodiode)인 것을 특징으로 하는 코팅 스트레스 측정장치
11 11
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 검출부는 전하결합소자 카메라 (charge-coupled device camera, CCD camera)인 것을 특징으로 하는 코팅 스트레스 측정장치
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1 WO2009028896 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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