| 1 |
1
기판 상에 수직 배향막을 형성하는 단계;
대기압 상태에서 수직 배향막의 제 1 영역에 제 1 분사 조건으로 제1 플라즈마 가스를 분사시키는 단계; 및
대기압 상태에서 수직 배향막의 제 2 영역에 제 2 분사 조건으로 제2 플라즈마 가스를 분사시키는 단계를 포함하되,
상기 제 1 영역과 제 2 영역은 기판 상에 교대로 정의되는 영역이며, 상기 제1 영역과 제2 영역에서 수직 방향으로의 액정의 선경사각이 서로 다른 것을 특징으로 하는 액정 표시장치 제조 방법
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 영역과 제 2 영역은 액정 표시장치의 하나의 화소 내에서 적어도 1회이상 교대로 정의되는 영역인 것을 특징으로 하는 액정 표시장치 제조 방법
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서,
상기 플라즈마 가스의 분사 방향은 상기 기판에 대해 일정한 각도를 가지고 분사되는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치 제조 방법
|
| 4 |
4
제 3 항에 있어서,
상기 제 1 분사 조건에 따른 상기 제1 플라즈마 가스의 분사와 상기 제 2 분사 조건에 따른 상기 제2 플라즈마 가스의 분사는 상기 제1 및 제2 플라즈마 가스의 분사 방향과 상기 기판의 이동 방향이 이루는 각도가 서로 다른 각도 조건으로 분사되는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치 제조 방법
|
| 5 |
5
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 분사 조건에 따른 상기 제1 플라즈마 가스의 분사와 상기 제 2 분사 조건에 따른 상기 제2 플라즈마 가스의 분사는 상기 제1 및 제2 플라즈마 가스가 분사되는 방출부와 상기 기판 사이의 거리가 서로 다른 거리 조건으로 분사되는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치 제조 방법
|
| 6 |
6
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 분사 조건에 따른 상기 제1 플라즈마 가스의 분사와 상기 제 2 분사 조건에 따른 상기 제2 플라즈마 가스의 분사는 단위 면적당 상기 제1 및 제2 플라즈마 가스의 분사 시간이 서로 다른 시간 조건으로 분사되는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치 제조 방법
|
| 7 |
7
제 1 항에 있어서,
플라즈마 가스를 분사시키는 단계 전에 수직 배향막이 형성된 기판 상에 제 1 영역 또는 제 2 영역을 노출시키는 마스크를 구비하는 단계를 더 포함하는 액정 표시장치 제조 방법
|
| 8 |
8
제 1 항에 있어서,
상기 제1 분사 조건은 상기 제1 플라즈마 가스와 상기 기판이 이루는 제1 각도, 상기 제1 플라즈마 가스가 분사되는 방출부와 상기 기판 사이의 제1 거리 및 단위 면적당 상기 제1 플라즈마 가스의 제1 분사 시간 을 포함하고,
상기 제2 분사 조건은 상기 제2 플라즈마 가스와 상기 기판이 이루는 제2 각도, 상기 제2 플라즈마 가스가 분사되는 방출부와 상기 기판 사이의 제2 거리 및 단위 면적당 상기 제2 플라즈마 가스의 제2 분사 시간 을 포함하며,
상기 제1 및 제2 각도, 상기 제1 및 제2 거리 및 상기 제1 및 제2 분사 시간 중 적어도 하나는 서로 다른 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 방법
|
| 9 |
9
화소 전극을 포함하는 하부 기판 상에 제 1 수직 배향막을 형성하는 단계, 대기압 상태에서 상기 제 1 수직 배향막의 제 1 영역에 제 1 분사 조건을 갖는 플라즈마 가스를 분사시키는 단계, 및 대기압 상태에서 상기 제 1 수직 배향막의 제 2 영역에 제 2 분사 조건을 갖는 플라즈마 가스를 분사시키는 단계를 포함하는 하부 기판을 형성하는 단계;
공통 전극을 포함하는 상부 기판 상에 제 2 수직 배향막을 형성하는 단계, 대기압 상태에서 상기 제 2 수직 배향막의 제 3 영역에 제 3 분사 조건을 갖는 플라즈마 가스를 분사시키는 단계, 및 대기압 상태에서 상기 제 2 수직 배향막의 제 4 영역에 제 4 분사 조건을 갖는 플라즈마 가스를 분사시키는 단계를 포함하는 상부 기판을 형성하는 단계; 및
상기 하부 기판 배향막과 상부 기판의 배향막 사이에 액정 분자들을 개재시키는 단계를 포함하되,
상기 제 1 영역과 제 2 영역은 하부 기판 상에 교대로 정의되는 영역이고 상기 제 3 영역과 제 4 영역은 상부 기판 상에 교대로 정의되는 영역이며, 상기 제 1 영역과 상기 제 3 영역은 마주보며 위치하고 상기 제 2 영역과 상기 제 4 영역은 마주보며 위치하고, 상기 제1 영역과 상기 제2 영역에서, 수직 방향으로의 액정의 선경사각이 서로 다르고, 상기 제3 영역과 상기 제4 영역에서, 수직 방향으로의 액정의 선경사각이 서로 다른 것을 특징으로 하는 액정 표시장치 제조 방법
|
| 10 |
10
제 9 항에 있어서, 상기 제 1 분사 조건과 상기 제 4 분사 조건은 동일한 조건으로 플라즈마 가스를 분사시키고 상기 제 2 분사 조건과 상기 제 3 분사 조건은 동일한 조건으로 플라즈마 가스를 분사키는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치 제조 방법
|
| 11 |
11
제 9 항에 있어서, 상기 제 1 분사 조건과 상기 제 3 분사 조건은 동일한 조건으로 플라즈마 가스를 분사시키고 상기 제 2 분사 조건과 상기 제 4 분사 조건은 동일한 조건으로 플라즈마 가스를 분사키는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치 제조 방법
|
| 12 |
12
기판 상에 수직 배향막을 형성하는 단계;
대기압 상태에서 수직 배향막의 제 1 영역에 플라즈마 가스를 분사시키는 단계; 및
대기압 상태에서 수직 배향막 전체에 플라즈마 가스를 분사시키는 단계를 포함하며,
상기 제1 영역과 나머지 영역에서, 수직 방향으로의 액정의 선경사각이 서로 다른 것을 특징으로 하는 액정 표시장치 제조 방법
|
| 13 |
13
제 12 항에 있어서,
제 1 영역에 플라즈마 가스를 분사시키는 단계 전에 수직 배향막이 형성된 상기 기판 상에 제 1 영역을 노출시키는 마스크를 구비하는 단계를 더 포함하는 액정 표시장치 제조 방법
|
