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1
고정베이스와,상기 고정베이스에 대하여 이동 가능하게 설치된 이동테이블과,상기 고정베이스에 대하여 상기 이동테이블을 지지하기 위한 제1탄성지지부와,상기 이동테이블에 일방향으로 변위를 발생시기키 위한 제1액츄에이터와,상기 이동테이블과 고정베이스에 연결되어 이동테이블의 일방향 변위를 고정베이스에 연결된 지점을 중심으로 하는 회전 변위로 변환시키기 위한 제1변위변환수단과,상기 변환된 회전변위를 측정하기 위한 제1변위측정수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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2
제1항에 있어서,상기 제1변위변환수단은 일단이 상기 고정베이스에 연결되며, 상기 이동테이블의 변위량에 비례하여 상기 일단을 중심으로 회동하도록 상기 일단과 타단 사이의 일측이 상기 이동테이블에 연결된 회전변위 변환레버를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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3
제1항에 있어서,상기 제1변위변환수단은 일단과 타단 사이의 일측이 상기 고정베이스에 연결되며, 상기 이동테이블의 변위량에 비례하여 상기 일측을 중심으로 회동하도록 상기 일단이 상기 이동테이블에 연결된 회전변위 변환레버를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 제1변위측정수단은 광을 반사시키기 위하여 상기 제1변위변환수단의 일측에 설치된 제1반사판과, 상기 제1반사판에 광을 발사시키기 위한 제1발광부와, 상기 제1반사판에서 반사된 광을 받아들이기 위한 제1수광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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5
제2항에 있어서,상기 제1변위측정수단은 광을 반사시키기 위하여 상기 변환레버의 타단에 설치된 제1반사판과, 상기 제1반사판에 광을 발사시키기 위한 제1발광부와, 상기 제1반사판에서 반사된 광을 받아들이기 위한 제1수광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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6
제3항에 있어서,상기 제1변위측정수단은 광을 반사시키기 위하여 상기 변환레버의 타단에 설치된 제1반사판과, 상기 제1반사판에 광을 발사시키기 위한 제1발광부와, 상기 제1반사판에서 반사된 광을 받아들이기 위한 제1수광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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| 7 |
7
제4항에 있어서,상기 제1변위변환수단은 일단은 상기 고정베이스에 힌지결합되며, 타단은 상기 이동테이블에 힌지결합된 암인 것을 특징으로 하는 스테이지
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8
제2항에 있어서,상기 제1변위측정수단은 상기 변환레버의 타단의 변위를 측정하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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9
제3항에 있어서,상기 제1변위측정수단은 상기 변환레버의 타단의 변위를 측정하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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10
제2항에 있어서,일단이 상기 변환레버의 타단과 힌지결합되며, 타단이 상기 고정베이스의 일측과 힌지결합된 제1회동막대를 더 구비하며,상기 제1변위측정수단은 광을 반사시키기 위하여 상기 제1회동막대에 설치된 제1반사판과, 상기 제1반사판에 광을 발사시키기 위한 제1발광부와, 상기 제1반사판에서 반사된 광을 받아들이기 위한 제1수광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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| 11 |
11
제3항에 있어서,일단이 상기 변환레버의 타단과 힌지결합되며, 타단이 상기 고정베이스의 일측과 힌지결합된 제1회동막대를 더 구비하며,상기 제1변위측정수단은 광을 반사시키기 위하여 상기 제1회동막대에 설치된 제1반사판과, 상기 제1반사판에 광을 발사시키기 위한 제1발광부와, 상기 제1반사판에서 반사된 광을 받아들이기 위한 제1수광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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12
제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 이동테이블에 대하여 이동 가능하게 설치된 서브테이블과,상기 이동테이블에 대하여 상기 서브테이블을 지지하기 위한 제2탄성지지부와,상기 이동테이블의 일방향 변위와 수직한 방향으로 상기 서브테이블에 변위를 발생시키기 위한 제2액츄에이터와,상기 이동테이블과 상기 서브테이블에 연결되어 서브테이블의 변위를 상기 이동테이블에 연결된 지점을 중심으로 하는 회전 변위로 변환시키기 위한 제2변위변환수단과,상기 제2변위변환수단에 의하여 변환된 변위를 측정하기 위한 제2변위측정수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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13
제12항에 있어서,상기 제2변위변환수단은 일단이 상기 이동테이블에 연결되며, 상기 서브테이블의 변위량에 비례하여 상기 일단을 중심으로 회동하기 위하여 상기 일단과 타단 사이의 일측이 상기 서브테이블에 연결된 회전변위 변환레버를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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14
제12항에 있어서,상기 제2변위변환수단은 일단과 타단 사이의 일측이 상기 이동테이블에 연결되며, 상기 서브테이블의 변위량에 비례하여 상기 일측을 중심으로 회동하기 위하여 상기 일단이 상기 서브테이블에 연결된 회전변위 변환레버를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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| 15 |
15
제12항에 있어서,상기 제2변위측정수단은 광을 반사시키기 위하여 상기 제2변위변환수단에 설치된 제2반사판과, 상기 제2반사판에 광을 발사시키기 위한 제2발광부와, 상기 제2반사판에서 반사된 광을 받아들이기 위한 제2수광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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16
제13항에 있어서,상기 제2변위측정수단은 광을 반사시키기 위하여 상기 제2변위변환수단 변환레버의 타단에 설치된 제2반사판과, 상기 제2반사판에 광을 발사시키기 위한 제2발광부와, 상기 제2반사판에서 반사된 광을 받아들이기 위한 제2수광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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17
제14항에 있어서,상기 제2변위측정수단은 광을 반사시키기 위하여 상기 제2변위변환수단의 변환레버의 타단에 설치된 제2반사판과, 상기 제2반사판에 광을 발사시키기 위한 제2발광부와, 상기 제2반사판에서 반사된 광을 받아들이기 위한 제2수광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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18
제15항에 있어서,상기 제2변위변환수단은 일단이 상기 이동테이블에 힌지결합되며, 타단이 상기 서브테이블에 힌지결합된 암인 것을 특징으로 하는 스테이지
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19
제13항에 있어서,상기 제2변위측정수단은 상기 제2변위변환수단의 변환레버의 타단의 변위를 측정하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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20
제14항에 있어서,상기 제2변위측정수단은 상기 제2변위변환수단의 변환레버의 타단의 변위를 측정하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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21
제13항에 있어서,일단이 상기 제2변위변환수단의 변환레버의 타단과 힌지결합되며, 타단이 상기 이동테이블의 일측과 힌지결합된 제2회동막대를 더 구비하며,상기 제2변위측정수단은 광을 반사시키기 위하여 상기 제2회동막대에 설치된 제2반사판과, 상기 제2반사판에 광을 발사시키기 위한 제2발광부와, 상기 제2반사판에서 반사된 광을 받아들이기 위한 제2수광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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22
제14항에 있어서,일단이 상기 제2변위변환수단의 변환레버의 타단과 힌지결합되며, 타단이 상기 이동테이블의 일측과 힌지결합된 제2회동막대를 더 구비하며,상기 제2변위측정수단은 광을 반사시키기 위하여 상기 제2회동막대에 설치된 제2반사판과, 상기 제2반사판에 광을 발사시키기 위한 제2발광부와, 상기 제2반사판에서 반사된 광을 받아들이기 위한 제2수광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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23
고정베이스와,회전 가능하게 설치된 회전테이블과,상기 회전테이블을 회전시키기 위한 제1액츄에이터와,상기 회전테이블과 고정베이스에 연결되어 회전테이블의 회전변위를 상기 고정베이스에 연결된 지점을 중심으로 하는 회전변위로 변환시키기 위한 제1변위변환수단과,상기 변환된 회전변위를 측정하기 위한 제1변위측정수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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24
제23항에 있어서,상기 제1변위변환수단은 일단과 타단 사이의 일측이 상기 고정베이스에 연결되며, 상기 회전테이블의 변위량에 비례하여 상기 일측을 중심으로 회동하기 위하여 상기 일단이 상기 회전테이블에 연결된 변환레버를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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25
제23항에 있어서,상기 제1변위변환수단은 일단이 상기 고정베이스에 연결되며, 상기 회전테이블의 변위량에 비례하여 상기 일단을 중심으로 회동하기 위하여 상기 일단과 타단 사이의 일측이 상기 회전테이블에 연결된 변환레버를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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26
제23항에 있어서,상기 제1변위측정수단은 광을 반사시키기 위하여 상기 제1변위변환수단에 설치된 제1반사판과, 상기 제1반사판에 광을 발사시키기 위한 제1발광부와, 상기 제1반사판에서 반사된 광을 받아들이기 위한 제1수광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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27
제24항에 있어서,상기 제1변위측정수단은 광을 반사시키기 위하여 상기 변환레버의 타단에 설치된 제1반사판과, 상기 제1반사판에 광을 발사시키기 위한 제1발광부와, 상기 제1반사판에서 반사된 광을 받아들이기 위한 제1수광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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28
제25항에 있어서,상기 제1변위측정수단은 광을 반사시키기 위하여 상기 변환레버의 타단에 설치된 제1반사판과, 상기 제1반사판에 광을 발사시키기 위한 제1발광부와, 상기 제1반사판에서 반사된 광을 받아들이기 위한 제1수광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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29
제26항에 있어서,상기 제1변위변환수단은 일단이 상기 고정베이스에 힌지결합되며, 타단이 상기 회전테이블에 힌지결합된 암인 것을 특징으로 하는 스테이지
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30
제24항에 있어서,상기 제1변위측정수단은 상기 변환레버의 타단의 변위를 측정하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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31
제25항에 있어서,상기 제1변위측정수단은 상기 변환레버의 타단의 변위를 측정하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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32
제24항에 있어서,일단이 상기 변환레버의 타단과 힌지결합되며, 타단이 상기 고정베이스의 일측과 힌지결합된 제1회동막대를 더 구비하며,상기 제1변위측정수단은 광을 반사시키기 위하여 상기 제1회동막대에 설치된 제1반사판과, 상기 제1반사판에 광을 발사시키기 위한 제1발광부와, 상기 제1반사판에서 반사된 광을 받아들이기 위한 제1수광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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