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광 간섭계를 이용하여 시료의 간섭무늬 이미지로부터 광 가시도 함수로 표현되는 다수의 단층 이미지를 시료의 깊이 방향을 따라서 얻고,
상기 단층 이미지들을 이용하여 종단면 단층 이미지를 얻고,
상기 종단면 단층 이미지로부터 기준면을 설정하고,
상기 기준면에 의하여 구분된 상기 시료의 두께값을 얻는 것을 특징으로 하는 광 간섭계를 이용한 시료 측정방법
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제 1항에 있어서, 상기 시료의 두께값으로부터 상기 시료의 굴절률을 얻는 것을 특징으로 하는 광 간섭계를 이용한 시료 측정방법
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제 1항에 있어서, 하나의 상기 단층 이미지는 다수개의 상기 간섭무늬 이미지로부터 획득되는 상기 광 가시도 함수에 대한 측정값을 광검출기의 화소 단위로 측정하고, 상기 화소들의 위치 순서대로 상기 측정값을 배열하여 얻는 것을 특징으로 하는 광 간섭계를 이용한 시료 측정방법
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제 1항에 있어서, 상기 기준면은 광을 반사시키는 반사체로 된 시료대인 것을 특징으로 하는 광 간섭계를 이용한 시료 측정방법
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제 4항에 있어서, 상기 시료는 광이 투과 가능한 액체 상태이고, 상기 액체 상태인 상기 시료의 모양 유지를 위하여 상기 시료대 상에는 상기 시료가 저장되는 홀더가 구비되는 것을 특징으로 하는 광 간섭계를 이용한 시료 측정방법
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제 4항에 있어서, 상기 시료는 광이 투과 가능한 고체 상태인 것을 특징으로 하는 광 간섭계를 이용한 시료 측정방법
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제 1항에 있어서, 상기 광 간섭계는 백색광 주사 간섭계인 것을 특징으로 하는 광 간섭계를 이용한 시료 측정방법
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제 1항에 있어서, 상기 광 간섭계는 전역광 간섭계인 것을 특징으로 하는 광 간섭계를 이용한 시료 측정방법
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광원;
상기 광원에서 안내되는 광을 분할하는 광 분배기;
상기 광 분배기에서 분배된 기준광이 진행하며, 상기 기준광을 반사시키는 기준거울과 상기 기준거울을 구동시키는 기준거울 구동기를 포함하는 기준단;
상기 광 분배기에서 분배된 샘플광이 진행하며 반사체로 된 시료대와 상기 시료대를 구동시키는 시료대 구동기를 포함하는 샘플단;
상기 기준단과 상기 샘플단에서 반사되어 간섭한 광을 검출하는 광검출기;
상기 기준거울 구동기와 상기 시료대 구동기의 동작을 제어하고, 상기 광검출기에서 검출된 간섭무늬 신호로부터 상기 시료를 측정하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 광 간섭계
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제 9항에 있어서, 상기 제어부는 상기 시료의 두께값을 산출하고, 상기 두께값에 따라 상기 시료의 굴절률을 산출하는 것을 특징으로 하는 광 간섭계
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제 9항에 있어서, 상기 시료는 광이 투과 가능한 액체상태이고, 상기 액체상태인 상기 시료의 모양 유지를 위하여 상기 시료대 상에는 상기 시료가 저장되는 홀더를 구비하는 것을 특징으로 하는 광 간섭계
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12
제 9항에 있어서, 상기 시료는 광이 투과 가능한 고체 상태인 것을 특징으로 하는 광 간섭계
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제 9항에 있어서, 상기 광원과 상기 광분배기 사이에는 상기 광원에서의 출광되는 광을 상기 광분배기로 안내하는 광섬유 다발(fiber bundle)이 구비되는 것을 특징으로 하는 광 간섭계
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