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소정 파장의 레이저광을 출력하는 발광수단;리니어 스테이지의 일측에 부착되어 상기 레이저광이 반사 및 회절되는 회절격자; 상기 레이저광이 상기 회절격자에 도달하도록 광경로를 형성하는 광경로 형성수단;상기 회절격자에서 회절되는 0차광이 수광되는 제1 위치 검출 소자; 및상기 회절격자에서 회절되는 1차광이 수광되는 제2 위치 검출 소자;를 포함하고, 상기 제1 위치 검출소자와 상기 제2 위치 검출소자에서 검출된 상기 0차광과 상기 1차광의 검출 위치에 기반하여 상기 리니어 스테이지의 4자유도 운동오차를 측정하는 회절소자와 간섭현상을 이용한 4자유도 운동오차 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 광경로 형성수단은, 발광수단으로부터 출력되는 레이저광을 받아들여 특정 방향으로 편광된 빛을 출력하는 편광 광분배기를 포함하는 회절소자와 간섭현상을 이용한 4자유도 운동오차 측정 장치
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제2항에 있어서,상기 광경로 형성수단은,발광수단으로부터 출력되는 레이저광을 반사 또는 투과시켜, 각각 포토 다이오드 및 상기 편광 광분배기로 분배하는 비편광 광분배기를 더 포함하는 회절소자와 간섭현상을 이용한 4자유도 운동오차 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 위치 검출 소자의 출력 신호를 이용하여 상기 리니어 스테이지의 요잉 오차 및 피칭 오차를 측정하는 회절소자와 간섭현상을 이용한 4자유도 운동오차 측정 장치
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제4항에 있어서,상기 요잉 오차 및 상기 피칭 오차는 다음과 같은 식에 의해 구해지는 회절소자와 간섭현상을 이용한 4자유도 운동오차 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 제2 위치 검출 소자의 출력 신호를 이용하여 상기 리니어 스테이지의 롤링 오차를 측정하는 회절소자와 간섭현상을 이용한 4자유도 운동오차 측정 장치
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제6항에 있어서,상기 롤링 오차는 다음과 같은 식에 의해 구해지는 회절소자와 간섭현상을 이용한 4자유도 운동오차 측정 장치
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발광수단이 소장 파장의 레이저광을 출력하는 단계;상기 레이저광이 광경로 형성수단에 의해 회절격자로 입사하는 단계;상기 회절격자가 상기 레이저광을 회절시키는 단계; 및상기 회절된 레이저광의 0차광이 제1 위치 검출 소자로 입사하며, 상기 회절된 레이저광의 1차광이 제2 위치 검출 소자로 입사하는 단계;를 포함하며,리니어 스테이지를 구동하면서 상기의 단계를 반복하여, 상기 리니어 스테이지의 요잉 오차, 피칭 오차 및 롤링 오차를 다음과 같은 식에 의해 구하는 회절소자와 간섭현상을 이용한 4자유도 운동오차 측정 방법
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제8항에 있어서,상기 광경로 형성수단은, 발광수단으로부터 출력되는 레이저광을 받아들여 특정 방향으로 편광된 빛을 출력하는 편광 광분배기를 포함하는 회절소자와 간섭현상을 이용한 4자유도 운동오차 측정 방법
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제9항에 있어서,상기 광경로 형성수단은,발광수단으로부터 출력되는 레이저광을 반사 또는 투과시켜, 각각 포토 다이오드 및 상기 편광 광분배기로 분배하는 비편광 광분배기를 더 포함하는 회절소자와 간섭현상을 이용한 4자유도 운동오차 측정 방법
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