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리니어 스테이지의 운동 오차 측정 장치 및 방법
- 기술번호 : KST2015174441
- 담당센터 : 광주기술혁신센터
- 전화번호 : 062-360-4654
| 요약 | 본 발명은 리니어 스테이지의 직선 방향 및 회전 방향에 대한 오차를 정밀하게 측정할 수 있는 리니어 스테이지의 운동 오차 측정 장치 및 방법에 대한 것이다. 본 발명은, 회절 격자가 구비된 리니어 스테이지의 운동 오차를 측정하는 장치에 있어서, 레이저 빔을 출력하는 발광부; 상기 발광부에서 출력된 빔을 분리하는 제 1 빔 분리기; 상기 제 1 빔 분리기에게 분리된 빔 중 하나를 전달받아 상기 리니어 스테이지의 일방향 직선운동 오차를 측정하는 제 1 측정부; 상기 제 1 빔 분리기에서 분리된 빔 중 다른 하나가 상기 회절 격자에서 회절된 회절 빔을 이용하여 상기 리니어 스테이지의 각운동 오차 및 다른 일방향 직선운동 오차를 측정하는 제 2 측정부; 및 상기 회절 격자에서 회절된 빔을 원형 편광시켜 상기 리니어 스테이지의 또 다른 일방향 직선운동 오차를 측정하는 제 3 측정부를 포함하는 리니어 스테이지의 운동 오차 측정 장치를 제공한다. |
|---|---|
| Int. CL | G01B 11/00 (2006.01) |
| CPC | |
| 출원번호/일자 | 1020110056473 (2011.06.10) |
| 출원인 | 광주과학기술원 |
| 등록번호/일자 | 10-1206061-0000 (2012.11.22) |
| 공개번호/일자 | |
| 공고번호/일자 | (20121128) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2011.06.10) |
| 심사청구항수 | 12 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 광주과학기술원 | 대한민국 | 광주광역시 북구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 이차범 | 대한민국 | 광주광역시 북구 |
| 2 | 이선규 | 대한민국 | 광주광역시 북구 |
| 3 | 김규하 | 대한민국 | 광주광역시 북구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 특허법인우인 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층(역삼동, 중평빌딩) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 광주과학기술원 | 광주광역시 북구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2011.06.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0439473-17 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.09.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5187089-85 |
| 3 | 등록결정서 Decision to grant |
2012.11.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0699641-04 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 회절 격자가 구비된 리니어 스테이지의 운동 오차를 측정하는 장치에 있어서, 레이저 빔을 출력하는 발광부;상기 발광부에서 출력된 빔을 분리하는 제 1 빔 분리기;상기 제 1 빔 분리기에게 분리된 빔 중 하나를 전달받아 상기 리니어 스테이지의 일방향 직선운동 오차를 측정하는 제 1 측정부;상기 제 1 빔 분리기에서 분리된 빔 중 다른 하나가 상기 회절 격자에서 회절된 회절 빔을 이용하여 상기 리니어 스테이지의 각운동 오차 및 다른 일방향 직선운동 오차를 측정하는 제 2 측정부; 및상기 회절 격자에서 회절된 빔을 원형 편광시켜 상기 리니어 스테이지의 또 다른 일방향 직선운동 오차를 측정하는 제 3 측정부를 포함하는 리니어 스테이지의 운동 오차 측정 장치 |
| 2 |
2 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 측정부는, 제 1 위치 검출기 및 상기 제 1 빔 분리기에 분리된 빔 중 하나를 전달받아 이를 리니어 스테이지가 구동되는 축 방향으로 반사시켜 상기 제 1 위치 검출기로 전달하는 반사 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 리니어 스테이지의 운동 오차 측정 장치 |
| 3 |
3 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 위치 검출기에서 검출된 빔의 위치 변화에 의해 상기 일방향 직선운동 오차를 검출하는 것을 특징으로 하는 리니어 스테이지의 운동 오차 측정 장치 |
| 4 |
4 제 2 항에 있어서, 상기 반사 수단은 코너 큐브인 것을 특징으로 하는 리니어 스테이지의 운동 오차 측정 장치 |
| 5 |
5 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 측정부는, 상기 회절 격자에서 0차 회절된 빔을 수광하는 0차 위치 검출기와, 상기 회절 격자에서 +1차 회절된 빔을 수광하는 +1차 위치 검출기, 및상기 회절 격자에서 -1차 회절된 빔을 수광하는 -1차 위치 검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 리니어 스테이지의 운동 오차 측정 장치 |
| 6 |
6 제 5 항에 있어서, 상기 +1차 위치 검출기의 전단에는 제 2 빔 분리기가 구비되고, 상기 -1차 위치 검출기의 전단에는 제 3 빔 분리기가 구비되는 것을 특징으로 하는 리니어 스테이지의 운동 오차 측정 장치 |
| 7 |
7 제 5 항에 있어서, 상기 0차 위치 검출기와, 상기 +1차 검출기, 및 상기 -1차 위치 검출기에 의해 각각 검출된 빔의 위치 변화에 근거하여 상기 다른 일방향 직선 운동 오차 및 상기 각운동 오차를 검출하는 것을 특징으로 하는 리니어 스테이지의 운동 오차 측정 장치 |
| 8 |
8 제 1 항에 있어서, 상기 제 3 측정부는, 상기 회절 격자에서 +1차 회절된 빔과 -1차 회절된 빔을 전달받아 편광시켜 분리하는 제 1 편광 빔 분리기와, 상기 제 1 편광 빔 분리기 후단에 구비되는 λ/4 편광판A와 1/4편광판B과, 상기 λ/4 편광판A를 통과한 빔을 편광 분리하는 제 2 편광 빔 분리기와 상기 제 2 편광 빔 분리기에서 분리된 빔을 검출하는 제 1, 2 광 검출기, 및 상기 λ/4 편광판B를 통과한 빔을 편광 분리하는 제 3 편광 빔 분리기와 상기 제 3 편광 빔 분리기에서 분리된 빔을 검출하는 제 3, 4 광 검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 리니어 스테이지의 운동 오차 측정 장치 |
| 9 |
9 회절 격자가 구비된 리니어 스테이지의 운동 오차를 측정하는 방법에 있어서, (a) 레이저 빔을 출력하고 출력된 빔을 분리하는 단계;(b) 상기 (a)단계에서 분리된 빔 중 하나를 전달받아 상기 리니어 스테이지의 일방향 직선운동 오차를 측정하는 단계;(c) 상기 (a)단계에서 분리된 빔 중 다른 하나가 상기 회절 격자에서 회절된 회절 빔을 이용하여 상기 리니어 스테이지의 각운동 오차 및 다른 일방향 직선운동 오차를 측정하는 단계; 및(d) 상기 회절 격자에서 회절된 빔을 원형 편광시켜 상기 리니어 스테이지의 또 다른 일방향 직선운동 오차를 측정하는 단계를 포함하는 리니어 스테이지의 운동 오차 측정 방법 |
| 10 |
10 제 9 항에 있어서, 상기 (b)단계는 상기 리니어 스테이지에 구비된 반사 수단에 의해 상기 리니어 스테이지가 구동되는 축 방향으로 반사시켜 이를 검출하고 검출된 빔의 위치를 기준 위치와 비교하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 리니어 스테이지의 운동 오차 측정 방법 |
| 11 |
11 제 9 항에 있어서, 상기 (c)단계는,상기 회절 격자에서 0차 회절된 빔과, +1차 회절된 빔과, -1차 회절된 빔을 각각 수광하여 상기 0차 회절된 빔과 상기 +1차 회절된 빔과 상기 -1차 회절된 빔이 검출된 위치를 각각의 기준 위치와 비교하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 리니어 스테이지의 운동 오차 측정 방법 |
| 12 |
12 제 9 항에 있어서, 상기 (d)단계는, 상기 회절 격자에서 +1차 회절된 빔과 -1차 회절된 빔을 전달받아 편광시켜 분리한 후 각각 λ/4 편광시키고, 각각 λ/4 편광된 빔을 또 다시 편광 분리시킨 후 검출하여 원형 편광 간섭 기법으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 리니어 스테이지의 운동 오차 측정 방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US08687200 | US | 미국 | FAMILY |
| 2 | US20120314220 | US | 미국 | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US2012314220 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 2 | US8687200 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 교육과학기술부 | 광주과학기술원 | 국가지정연구실(NRL)사업 | 초슬림 광포인팅장치기술 |
| 2 | 지식경제부 | 광주과학기술원 | 기술혁신사업 | 직선운동 유니트 정밀도 예측 및 통합 시뮬레이터 개발 |
| 공개전문 정보가 없습니다 |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1206061-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20110610 출원 번호 : 1020110056473 공고 연월일 : 20121128 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20121120 청구범위의 항수 : 12 유별 : G01B 11/00 발명의 명칭 : 리니어 스테이지의 운동 오차 측정 장치 및 방법 존속기간(예정)만료일 : 20181123 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 광주과학기술원 광주광역시 북구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 256,500 원 | 2012년 11월 23일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 212,800 원 | 2015년 10월 02일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 212,800 원 | 2016년 10월 04일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 212,800 원 | 2017년 09월 26일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2011.06.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0439473-17 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.09.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5187089-85 |
| 3 | 등록결정서 | 2012.11.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0699641-04 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1345157697 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2008-0059929 |
| 연구과제명 | 초슬림 광포인팅장치기술 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 광주과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200806~201305 |
| 기여율 | 0.25 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | IT(정보기술) |
| 과제고유번호 | 1345162214 |
|---|---|
| 세부과제번호 | gist-15 |
| 연구과제명 | 차세대 태양전지 기술개발 및 연구기반구축 사업 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 교육과학기술부 |
| 연구주관기관명 | 광주과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200901~201312 |
| 기여율 | 0.25 |
| 연구개발단계명 | 개발연구 |
| 6T분류명 | ET(환경기술) |
| 과제고유번호 | 1415109170 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 10033595 |
| 연구과제명 | 직선운동유니트 정밀도 예측 및 통합 시뮬레이터 개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
| 연구주관기관명 | 한국기계연구원 |
| 성과제출연도 | 2010 |
| 연구기간 | 200906~201405 |
| 기여율 | 0.25 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | 기타 |
| 과제고유번호 | 1415116017 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 10033595 |
| 연구과제명 | 직선운동유니트 정밀도 예측 및 통합 시뮬레이터 개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
| 연구주관기관명 | 한국기계연구원 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200906~201405 |
| 기여율 | 0.25 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | 기타 |
| 과제고유번호 | 1345168788 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2008-0059929 |
| 연구과제명 | 초슬림 광포인팅장치기술 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 광주과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2012 |
| 연구기간 | 200806~201305 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | IT(정보기술) |
| 과제고유번호 | 1415122838 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 10033595 |
| 연구과제명 | 직선운동유니트 정밀도 예측 및 통합 시뮬레이터 개발 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
| 연구주관기관명 | 한국기계연구원 |
| 성과제출연도 | 2012 |
| 연구기간 | 200906~201405 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | 기타 |
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