맞춤기술찾기

이전대상기술

멀티 코팅이 가능한 슬롯다이

  • 기술번호 : KST2015174609
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 멀티 코팅이 가능한 슬롯다이가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 슬롯다이는 양측면에 캐비티가 각각 형성되고 캐비티와 연통되어 캐비티로 코팅액을 공급하는 주입부가 형성되는 베이스판; 베이스판 양측면에 캐비티를 덮도록 각각 결합하는 사이드판; 및 베이스판과 사이드판 사이에 각각 삽입되어 캐비티에 수용되는 코팅액의 외부 토출경로를 제공하는 마스크 플레이트를 포함한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01.01)
CPC H01L 21/0273(2013.01) H01L 21/0273(2013.01)
출원번호/일자 1020120144150 (2012.12.12)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-2056479-0000 (2019.12.10)
공개번호/일자 10-2014-0076051 (2014.06.20) 문서열기
공고번호/일자 (20191216) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.12.12)
심사청구항수 6

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이광희 대한민국 광주광역시 북구
2 김재령 대한민국 광주광역시 북구
3 이운태 대한민국 광주광역시 북구
4 조미정 대한민국 광주광역시 북구
5 박희천 대한민국 광주광역시 북구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 광주광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.12.12 수리 (Accepted) 1-1-2012-1031832-16
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2015-1019469-77
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2017.12.12 수리 (Accepted) 1-1-2017-1236260-91
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.12.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.02.14 수리 (Accepted) 9-1-2019-0007159-71
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.06.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0451752-77
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.08.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0863920-02
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.08.22 수리 (Accepted) 1-1-2019-0863919-55
9 등록결정서
Decision to grant
2019.12.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0885930-10
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
양측면에 캐비티가 각각 형성되고 상기 캐비티와 연통되어 상기 캐비티로 코팅액을 공급하는 주입부가 형성되는 베이스판;상기 베이스판 양측면에 상기 캐비티를 덮도록 각각 결합하는 사이드판; 및상기 베이스판과 사이드판 사이에 각각 삽입되어 상기 캐비티에 수용되는 코팅액의 외부 토출경로를 제공하는 마스크 플레이트를 포함하고,상기 캐비티는 상기 베이스판 일측에 형성되는 제1 캐비티와, 상기 베이스판 타측에 형성되는 제2 캐비티를 포함하며, 상기 제1 캐비티와 제2 캐비티에 공급되는 코팅액은 서로 다른 물질인 슬롯다이
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 마스크 플레이트는 상기 캐비티와 마주하는 일부 또는 전부 영역에 일렬로 일정 간격을 두고 배열되어 형성되어 상기 코팅액의 토출경로를 제공하는 복수의 하방 개구형 슬릿토출부를 포함하는 슬롯다이
3 3
청구항 2에 있어서, 상기 슬릿토출부는 일정 간격의 슬릿을 두어 서로 번갈아가며 배열되는 장슬릿바 및 단슬릿바를 포함하는 슬롯다이
4 4
청구항 3에 있어서, 상기 마스크 플레이트는 상기 베이스판의 일측에 삽입되고 제1 슬릿토출부를 포함하는 제1 마스크 플레이트와, 상기 베이스판의 타측에 삽입되고 제2 슬릿토출부를 포함하는 제2 마스크 플레이트를 포함하고, 상기 제1 슬릿토출부의 장슬릿바 및 상기 제2 슬릿토출부의 단슬릿바가 대향되고, 상기 제1 슬릿토출부의 단슬릿바 및 상기 제2 슬릿토출부의 장슬릿바가 대향되도록 형성되는 슬롯다이
5 5
청구항 2에 있어서, 상기 슬릿토출부는 상기 캐비티와 마주하는 일부 또는 전부 영역에 일렬로 일정 간격의 슬릿을 두고 배열되어 형성되는 복수개의 슬릿바를 포함하고, 상기 슬릿바에는 일렬로 일정 간격을 두고 배열되어 형성되는 복수개의 하방 개구형 보조슬릿이 형성되는 슬롯다이
6 6
청구항 3에 있어서, 상기 장슬릿바에는 일렬로 일정 간격을 두고 배열되어 형성되는 복수개의 하방 개구형 보조슬릿이 형성되는 슬롯다이
7 7
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.