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광학계 및 이를 구비한 간섭계

  • 기술번호 : KST2015174902
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 광학계 및 이를 구비한 간섭계가 개시된다. 광학계는 빔을 조사하는 광원부와, 빔의 진행 경로에 배치되어 빔을 수광하고 빔의 편광 성분에 기초하여 기준빔이 제1 광경로를 갖고, 조사빔이 제2 광경로를 갖도록 분광하고, 분광된 조사빔을 피측정체에 조사하고 피측정체로부터 반사된 측정빔이 제3 광경로를 갖도록 하고 측정빔을 수광하여 투과시키는 분광부를 포함하여 구성된다. 따라서, 내부 반사빔의 광경로를 수광부와 무관한 광경로로 변경함으로써 원하지 않는 간섭신호인 내부 반사빔에 의한 간섭신호가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
Int. CL G01B 9/02 (2006.01) G01N 21/45 (2006.01)
CPC G01B 9/02059(2013.01) G01B 9/02059(2013.01)
출원번호/일자 1020110097367 (2011.09.27)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0033612 (2013.04.04) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.09.27)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박기환 대한민국 광주광역시 북구
2 강성구 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.09.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-0751718-49
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2016.09.27 수리 (Accepted) 1-1-2016-0937871-17
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.05.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.07.11 수리 (Accepted) 9-1-2017-0022975-38
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.08.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0555971-06
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.09.29 수리 (Accepted) 1-1-2017-0964310-83
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.09.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0964314-65
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2018.04.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0258551-34
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2018-0476480-02
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2018.05.15 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0476502-18
11 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2018.06.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0387274-84
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번호 청구항
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빔을 조사하는 광원부(1100) 및 상기 빔의 진행 경로에 배치되어 상기 빔을 수광하고 상기 빔 중에서 수평 편광 성분의 빔을 투과하여 기준빔이 제1 광경로를 갖도록 하고, 상기 빔 중에서 수직 편광 성분의 빔을 반사하여 조사빔이 제2 광경로를 갖도록 하는 제1 분광모듈(1210)과 상기 제1 분광모듈(1210)로부터 수광한 수직 편광 성분의 상기 조사빔을 수광하여 피측정체(100)에 조사하고, 상기 피측정체(100)로부터 반사된 수평 편광 성분의 측정빔이 제3 광경로를 갖도록 하고 상기 측정빔을 수광하여 투과시키는 제2 분광모듈(1220)을 포함하는 분광부(1200)를 포함하는 광학계(1000);상기 제3 광경로 상에 배치되고, 상기 측정빔의 진행 방향을 기준으로 상기 광학계(1000)의 다음에 배치되어 상기 기준빔을 상기 측정빔의 진행 방향으로 반사하고, 상기 측정빔을 투과하여 간섭신호를 생성하는 빛살 가르게(1500);상기 기준빔이 상기 제1 광경로를 갖도록 상기 기준빔을 반사하여 상기 기준빔이 상기 빛살 가르게(1500)에 조사되도록 상기 기준빔의 진행 방향을 변환하는 반사수단(1300, 1400); 및상기 간섭신호를 수광하는 수광부(1600)를 포함하되;상기 제1 분광모듈(1210)은,상기 수평 편광 성분의 빔을 투과하여 상기 기준빔이 상기 제1 광경로를 갖도록 하고, 상기 수직 편광 성분의 빔을 반사하여 상기 조사빔이 상기 제2 광경로를 갖도록 하는 제1 편광 빛살 가르게(1211);상기 제1 편광 빛살 가르게(1211)와 상기 제2 분광모듈(1220) 사이에 배치되고, 상기 제2 광경로 상에 배치되어 상기 조사빔을 상기 제2 분광모듈(1220)로 반사하는 반사수단(1213); 및상기 반사수단(1213)과 상기 제2 분광모듈(1220) 사이에 배치되고 상기 반사수단(1213) 으로부터 반사된 상기 조사빔을 집광하여 상기 제2 분광모듈(1220)에 조사하는 제1 렌즈(1215)를 포함하는 호모다인 마흐-젠더 간섭계(2000)
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제7항에 있어서,상기 제2 분광모듈(1220)은,상기 수직 편광 성분의 조사빔을 수광하여 상기 수직 편광 성분의 조사빔이 상기 피측정체(100)에 조사되도록 반사하고, 상기 피측정체(100)로부터 반사된 상기 측정빔이 상기 제3 광경로를 갖도록 하고 상기 측정빔을 투과하는 제2 편광 빛살 가르게(1221);상기 제2 편광 빛살 가르게(1221)로부터 반사된 상기 조사빔의 편광 방향 및 상기 피측정체(100)로부터 반사된 상기 측정빔의 편광 방향을 변화시키는 파장판(1225); 및상기 제3 광경로 상의 상기 측정빔의 진행 방향을 기준으로 상기 제2 편광 빛살 가르게(1221) 다음에 배치되어 상기 제2 편광 빛살 가르게(1221)를 투과한 상기 측정빔을 집광하는 제2 렌즈(1223)를 포함하는 것을 특징으로 하는 호모다인 마흐-젠더 간섭계(2000)
11 11
제10항에 있어서,상기 제2 분광모듈(1220)은,상기 제2 편광 빛살 가르게(1221)와 상기 피측정체(100) 사이 또는 상기 제2 편광 빛살 가르게(1221)와 상기 파장판 사이에 배치되어 수광된 상기 수직 편광 성분의 조사빔을 상기 피측정체(100)에 집광하는 제3 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 호모다인 마흐-젠더 간섭계(2000)
12 12
빔을 조사하는 광원부(1100) 및 상기 빔의 진행 경로에 배치되어 상기 빔을 수광하고 상기 빔 중에서 수평 편광 성분의 빔을 투과하여 기준빔이 제1 광경로를 갖도록 하고, 상기 빔 중에서 수직 편광 성분의 빔을 반사하여 조사빔이 제2 광경로를 갖도록 하는 제1 분광모듈(1210)과 상기 제1 분광모듈(1210)로부터 수광한 수직 편광 성분의 상기 조사빔을 수광하여 피측정체(100)에 조사하고, 상기 피측정체(100)로부터 반사된 수평 편광 성분의 측정빔이 제3 광경로를 갖도록 하고 상기 측정빔을 수광하여 투과시키는 제2 분광모듈(1220)을 포함하는 분광부(1200)을 포함하는 광학계(1000);상기 제3 광경로 상에 배치되고, 상기 측정빔의 진행 방향을 기준으로 상기 광학계(1000)의 다음에 배치되어 상기 기준빔을 상기 측정빔의 진행 방향으로 반사하고, 상기 측정빔을 투과하여 간섭신호를 생성하는 빛살 가르게(1500);상기 기준빔이 상기 제1 광경로를 갖도록 상기 기준빔을 반사하여 상기 기준빔이 상기 빛살 가르게에 조사되도록 상기 기준빔의 진행 방향을 변환하는 반사수단(1300, 1400);상기 반사수단(1300, 1400) 사이에 배치되고, 상기 제1 광경로를 갖는 상기 기준빔을 미리 설정된 소정의 주파수만큼 변조하는 음향광학 변조기(1700);상기 빛살 가르게(1500)와 상기 반사수단 사이에 배치되고 상기 반사수단에서 반사된 상기 기준빔의 편광 방향을 변환하는 제1 파장판(1800); 및상기 간섭신호를 수광하는 수광부(1600)를 포함하되;상기 제1 분광모듈(1210)은,상기 수평 편광 성분의 빔을 투과하여 상기 기준빔이 상기 제1 광경로를 갖도록 하고, 상기 수직 편광 성분의 빔을 반사하여 상기 조사빔이 상기 제2 광경로를 갖도록 하는 제1 편광 빛살 가르게(1211);상기 제1 편광 빛살 가르게(1211)와 상기 제2 분광모듈(1220) 사이에 배치되고, 상기 제2 광경로 상에 배치되어 상기 조사빔을 상기 제2 분광모듈(1220)로 반사하는 반사수단(1213); 및상기 반사수단(1213)과 상기 제2 분광모듈(1220) 사이에 배치되고 상기 반사수단(1213)으로부터 반사된 상기 조사빔을 집광하여 상기 제2 분광모듈(1220)에 조사하는 제1 렌즈(1215)를 포함하는 헤테로 다인 마흐-젠더 간섭계(3000)
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제12항에 있어서,상기 제2 분광모듈(1220)은,상기 수직 편광 성분의 조사빔을 수광하여 상기 수직 편광 성분의 조사빔이 상기 피측정체(100)에 조사되도록 반사하고, 상기 피측정체(100)로부터 반사된 상기 측정빔이 상기 제3 광경로를 갖도록 하여 상기 측정빔을 투과하는 제2 편광 빛살 가르게(1221);상기 제2 편광 빛살 가르게(1221)로부터 반사된 상기 조사빔의 편광 방향 및 상기 피측정체(100)로부터 반사된 상기 측정빔의 편광 방향을 변화시키는 파장판(1225); 및상기 제3 광경로 상의 상기 측정빔의 진행 방향을 기준으로 상기 제2 편광 빛살 가르게(1221) 다음에 배치되어 상기 제2 편광 빛살 가르게(1221)를 투과한 상기 측정빔을 집광하는 제2 렌즈(1223)를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤테로 다인 마흐-젠더 간섭계(3000)
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제15항에 있어서,상기 제2 분광모듈(1220)은,상기 제2 편광 빛살 가르게(1221)와 상기 피측정체(100) 사이 또는 상기 제2 편광 빛살 가르게(1221)와 상기 파장판(1225) 사이에 배치되어 수광된 상기 수직 편광 성분의 조사빔을 상기 피측정체(100)에 집광하는 제3 렌즈(1227)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 헤테로 다인 마흐-젠더 간섭계(3000)
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빔을 조사하는 광원부(1100), 상기 빔의 진행 경로에 배치되어 상기 빔을 수광하고 상기 빔 중에서 수평 편광 성분의 빔을 투과하여 기준빔이 제1 광경로를 갖도록 하고, 상기 빔 중에서 수직 편광 성분의 빔을 반사하여 조사빔이 제2 광경로를 갖도록 하는 제1 분광모듈(1210) 및 상기 제1 분광모듈(1210)로부터 수광한 수직 편광 성분의 상기 조사빔을 수광하여 피측정체(100)에 조사하고, 상기 피측정체(100)로부터 반사된 수평 편광 성분의 측정빔이 제3 광경로를 갖도록 하고 상기 측정빔을 수광하여 투과시키는 제2 분광모듈(1220)을 포함하는 광학계(1000);상기 제3 광경로 상에 배치되고, 상기 측정빔의 진행 방향을 기준으로 상기 광학계(1000)의 다음에 배치되어 상기 기준빔을 상기 측정빔의 진행 방향으로 반사하고, 상기 측정빔을 투과하여 간섭신호를 생성하는 빛살 가르게(1500);상기 기준빔이 상기 제1 광경로를 갖도록 상기 기준빔을 반사하여 상기 기준빔이 상기 빛살 가르게(1500)에 조사되도록 상기 기준빔의 진행 방향을 변환하는 반사수단(1300);상기 빛살 가르게(1500)와 상기 반사수단(1300) 사이에 배치되고 상기 반사수단(1300)에서 반사된 상기 기준빔의 편광 방향을 변환하는 제1 파장판(1800); 및상기 간섭신호를 수광하는 수광부(1600)를 포함하되;상기 제1 분광모듈(1210)은,상기 수평 편광 성분의 빔을 투과하여 상기 기준빔이 상기 제1 광경로를 갖도록 하고, 상기 수직 편광 성분의 빔을 반사하여 상기 조사빔이 상기 제2 광경로를 갖도록 하는 제1 편광 빛살 가르게(1211);상기 제1 편광 빛살 가르게(1211)와 상기 제2 분광모듈(1220) 사이에 배치되고, 상기 제2 광경로 상에 배치되어 상기 조사빔을 상기 제2 분광모듈(1220)로 반사하는 반사수단(1213); 및상기 반사수단(1213)과 상기 제2 분광모듈(1220) 사이에 배치되고 상기 반사수단(1213)으로부터 반사된 상기 조사빔을 집광하여 상기 제2 분광모듈(1220)에 조사하는 제1 렌즈(1215)를 포함하는 마이 켈슨 간섭계(4000)
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제17항에 있어서,상기 제2 분광모듈(1220)은,상기 수직 편광 성분의 조사빔을 수광하여 상기 수직 편광 성분의 조사빔이 상기 피측정체(100)에 조사되도록 반사하고, 상기 피측정체(100)로부터 반사된 상기 측정빔이 상기 제3 광경로를 갖도록 하고 상기 측정빔을 투과하는 제2 편광 빛살 가르게(1221);상기 제2 편광 빛살 가르게(1221)로부터 반사된 상기 조사빔의 편광 방향 및 상기 피측정체(100)로부터 반사된 상기 측정빔의 편광 방향을 변화시키는 파장판(1225); 및상기 제3 광경로 상의 상기 측정빔의 진행 방향을 기준으로 상기 제2 편광 빛살 가르게(1221) 다음에 배치되어 상기 제2 편광 빛살 가르게(1221)를 투과한 상기 측정빔을 집광하는 제2 렌즈(1223)를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이 켈슨 간섭계(4000)
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제20항에 있어서,상기 제2 분광모듈(1220)은,상기 제2 편광 빛살 가르게(1221)와 상기 피측정체(100) 사이 또는 상기 제2 편광 빛살 가르게(1221)와 상기 파장판(1225) 사이에 배치되어 수광된 상기 수직 편광 성분의 조사빔을 상기 피측정체(100)에 집광하는 제3 렌즈(1227)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이 켈슨 간섭계(4000)
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 광주과학기술원 도약연구(도전연구)지원사업 회전 운동체의 진동측정을 위한 영상기반 추종 3D 레이저 스캐닝 바이브로미터 기술개발
2 교육과학기술부 광주과학기술원 핵심연구(학제기초)지원사 3개의 레이저 빔 스캐닝을 이용한 3차원 진동 측정 시스템 개발