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빔 분할기에 의하여 분리된 두 개의 광이 각각 샘플단과 기준단에 각각 위치한 샘플과 미러에서 반사된 후, 다시 빔 분할기에서 만나서 발생하는 간섭신호를 CCD 카메라에서 기록하는 광단층 영상기기를 이용한 샘플의 굴절률 및 두께를 측정하는 방법으로서, 상기 샘플의 적어도 1회 이상의 이동 후, 촬상 이미지의 결상을 위하여 상기 CCD를 수치적으로 보정면까지 이동시킨 후, 상기 샘플의 이동거리와의 관계를 연산하는 단계; 상기 샘플의 내부 이미징을 위하여 상기 샘플만 적어도 1회 이상 이동시키는 단계; 미리 결정된 연산 알고리즘을 적용함으로써, 상기 샘플의 이동 전 위치로부터 상기 보정면의 공액면까지의 거리의 값을 특정하는 단계; 상기의 특정된 거리로부터 상기 샘플의 굴절률을 연산하는 단계; 및상기의 간섭 신호로부터 상기 샘플의 두께를 연산하는 단계를 포함하는 광단층 촬영에 의한 굴절률 및 두께 측정 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 샘플의 굴절률을 연산하는 단계는, 아래의 수학식 1에 의하여 수행되고, Zi는 상기 샘플의 i번째 이동 후 상기 CCD가 수치적으로 보정면까지 이동해야 하는 거리이고, ℓi'는 상기 샘플의 이동 전 위치로부터 상기 샘플의 i번째 이동 후의 상기 보정면의 공액면까지의 거리인 것을 특징으로 하는 광단층 촬영에 의한 굴절률 및 두께 측정 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 샘플을 적어도 1회이상의 이동에 따른 상기 CCD의 Zi값들로부터 ℓi'값들을 연산하는 것은, 상기 샘플의 상부 표면의 AMP(Amplitude analysis)값이 최소가 될 때까지 수행되는 광단층 촬영에 의한 굴절률 및 두께 측정 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 샘플만 적어도 1회이상 이동시키는 단계가 수행된 다음에는, 위상 이동 기법을 이용하여 상기 간섭신호로부터 복소 성분(ψ(x,y))을 획득하는 단계가 더 수행되는 광단층 촬영에 의한 굴절률 및 두께 측정 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 간섭신호로부터 복소 성분을 획득한 다음에는, 아래의 수학식 2를 이용하여 Zi에 따른 이미지를 구현하는 단계가 더 수행되는 광단층 촬영에 의한 굴절률 및 두께 측정 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 Zi에 따른 이미지를 구현하는 단계가 수행된 다음에는, 아래의 수학식 3을 이용하여 최적화된 Zi값인 Zi-opt를 연산하는 단계가 더 수행되는 광단층 촬영에 의한 굴절률 및 두께 측정 방법
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제 6 항에 있어서, 상기의 간섭 신호로부터 상기 샘플의 두께를 연산하는 단계는,상기 샘플이 복수개의 층으로 이루어지고, i번째 층의 두께는 (ti)은 아래의 수학식 4에 의하여 획득되는 단계를 포함하는 광단층 촬영에 의한 굴절률 및 두께 측정 방법
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