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일면에 ITO 필름이 형성된 플라스틱 기판을 레이저 시스템의 구동 스테이지 상에 안착시키는 단계;상기 레이저 시스템을 이용해 극초단 펄스 레이저를 발생시키는 단계; 및상기 구동 스테이지와 극초단 펄스 레이저의 상대적인 이동을 수행하면서 상기 극초단 펄스 레이저를 상기 ITO 필름에 조사하여 ITO 필름 패턴을 형성하는 단계; 를 포함하는 ITO 필름 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 극초단 펄스 레이저는 플라스틱 기판에 흡수도가 낮은 적외선 파장을 가지는 것을 특징으로 하는 ITO 필름 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 극초단 펄스 레이저는 펨토초 레이저, 피코초 레이저, 펨토초 광섬유 레이저 및 피코초 광섬유 레이저 중에 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 ITO 필름 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 ITO 필름 패턴의 선폭은 상기 극초단 펄스 레이저를 집광하는 렌즈의 배율과 펄스 에너지의 조절에 의해 제어되는 것을 특징으로 하는 ITO 필름 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 구동 스테이지와 극초단 펄스 레이저의 상대적인 이동을 수행함과 동시에 상기 극초단 펄스 레이저를 상기 ITO 필름에 조사하여 ITO 필름 패턴을 형성하는 단계에서는, 구동 스테이지를 이동시키거나 극초단 펄스 레이저를 스캐닝 하여 ITO 필름을 패터닝하는 것을 특징으로 하는 ITO 필름 패터닝 방법
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다수의 화소가 정의된 플라스틱 기판을 준비하는 단계;상기 플라스틱 기판 상에 ITO 필름을 형성하는 단계;상기 플라스틱 기판을 레이저 시스템의 구동 스테이지 상에 안착시키는 단계;상기 레이저 시스템을 이용해 극초단 펄스 레이저를 발생시키는 단계; 및상기 구동 스테이지와 극초단 펄스 레이저의 상대적인 이동을 수행하면서 상기 극초단 펄스 레이저를 상기 ITO 필름에 조사하여 패터닝함으로써 플라스틱 기판 상의 각 화소에 투명전극을 형성하는 단계;를 포함하는 가요성 표시장치 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 극초단 펄스 레이저는 플라스틱 기판에 흡수도가 낮은 적외선 파장을 가지는 것을 특징으로 하는 가요성 표시장치 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 극초단 펄스 레이저는 펨토초 레이저, 피코초 레이저, 펨토초 광섬유 레이저 및 피코초 광섬유 레이저 중에 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 가요성 표시장치 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 ITO 필름 패턴의 선폭은 상기 극초단 펄스 레이저를 집광하는 렌즈의 배율과 펄스 에너지의 조절에 의해 제어되는 것을 특징으로 하는 가요성 표시장치 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 구동 스테이지와 극초단 펄스 레이저의 상대적인 이동을 수행하면서 상기 극초단 펄스 레이저를 상기 ITO 필름에 조사하여 패터닝함으로써 플라스틱 기판 상의 각 화소에 투명전극을 형성하는 단계에서는, 구동 스테이지를 이동시키거나 극초단 펄스 레이저를 스캐닝하여 ITO 필름을 패터닝하는 것을 특징으로 하는 가요성 표시장치 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 구동 스테이지와 극초단 펄스 레이저의 상대적인 이동을 수행하면서 상기 극초단 펄스 레이저를 상기 ITO 필름에 조사하여 패터닝함으로써 플라스틱 기판 상의 각 화소에 투명전극을 형성하는 단계에서는, 극초단 펄스 레이저를 ITO 필름에 조사하여 각 화소에 투명전극을 형성함과 동시에 각 투명전극마다 다수의 홈을 형성하는 것을 특징으로 하는 가요성 표시장치 제조 방법
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다수의 화소가 정의된 플라스틱 기판; 및상기 플라스틱 기판의 각 화소마다 형성되어 화소를 구동하며, ITO를 재료로 하여 형성된 투명전극;을 포함하여 구성되며,상기 투명전극은 유연성을 제공하는 다수의 홈이 레이저를 이용하여 형성된 것을 특징으로 하는 가요성 표시장치
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제12에 있어서, 상기 각 화소의 투명전극 간의 간격 및, 투명전극마다 형성된 다수의 홈은 극초단 펄스 레이저를 이용해 형성된 것을 특징으로 하는 가요성 표시장치
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