1 |
1
CZTS 기반 광흡수 박막의 제조방법으로서:(a) 기판을 구리염, 아연염, 및 주석염을 포함하는 양이온 용액에 침지시키는 단계;(b) 상기 단계 (a)를 통과한 기판을 1차 세정하는 단계;(c) 상기 단계 (b)를 통과한 기판을 황염 또는 셀렌염을 포함하는 음이온 용액에 침지시키는 단계; 및(d) 상기 단계 (d)를 통과한 기판을 2차 세정하는 단계;를 포함하는,CZTS 기반 광흡수 박막의 제조방법
|
2 |
2
청구항 1에 있어서,상기 양이온 용액은 착화제를 더 포함하는 것인,CZTS 기반 광흡수 박막의 제조방법
|
3 |
3
청구항 2에 있어서,상기 단계 (a) 내지 (d)로 이루어진 싸이클을 소정횟수 반복하는 것인,CZTS 기반 광흡수 박막의 제조방법
|
4 |
4
청구항 3에 있어서,상기 싸이클 또는 상기 싸이클 반복에 의해 상기 기판 상에 형성된 전구체 박막을 소정 온도 범위에서 건조시키는 단계와,상기 건조 후, 황화 또는 셀렌화 분위기에서 열처리하는 단계를 더 포함하는 것인,CZTS 기반 광흡수 박막의 제조방법
|
5 |
5
청구항 4에 있어서,상기 1차 및 2차 세정은 물을 이용하는 것인,태양전지 제조방법
|
6 |
6
청구항 5에 있어서,상기 양이온 용액, 상기 음이온 용액, 상기 1차 세정을 위한 세정수, 및 상기 2차 세정을 위한 세정수는 각각 별도의 용기에 수용되는 것인,태양전지 제조방법
|
7 |
7
CZTS 기반 광흡수 박막의 제조방법으로서:적어도 하나의 용기에 수용된 구리염, 아연염, 및 주석염을 포함하는 양이온 용액, 적어도 하나의 용기에 수용된 황염 또는 셀렌염을 포함하는 음이온 용액, 적어도 하나의 용기에 수용된 1차 세정수, 및 적어도 하나의 용기에 수용된 2차 세정수를 준비하고,기판을 상기 양이온 용액 및 상기 음이온 용액에 순차로 침지시키되, 상기 양이온 용액의 침지와 상기 음이온 용액의 침지 사이에 상기 1차 세정수를 이용한 세정을 수행하고, 상기 음이온 용액의 침지와 상기 양이온 용액의 침지 사이에 상기 2차 세정수를 이용한 세정을 수행하도록 이루어진 공정 싸이클을 소정 횟수 반복하는,CZTS 기반 광흡수 박막의 제조방법
|
8 |
8
청구항 7에 있어서,상기 양이온 용액이 수용된 용기에는 착화제가 더 포함되는 것인,CZTS 기반 광흡수 박막의 제조방법
|
9 |
9
청구항 7에 있어서,상기 1차 세정수 및 상기 2차 세정수는 물인 것인,CZTS 기반 광흡수 박막의 제조방법
|
10 |
10
선행하는 청구항 중 어느 하나의 항으로 제조된 CZTS 박막을 광흡수층으로 채용한 태양전지
|