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화학 수조 증착법을 이용한 CZTS 기반 박막 제조방법

  • 기술번호 : KST2015177549
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 화학 수조 증착법을 이용한 CZTS 박막 제조방법이 개시된다. 이 방법은 수조에 전구체 용액을 준비하는 단계와, 전구체 용액에 기판을 넣고 소정 시간 동안 유지하여 기판에 전구체 박막을 형성하는 단계와, 전구체 박막이 형성된 기판을 취출하여 열처리하는 단계를 포함한다. 여기서, 전구체 용액의 다양한 예를 가진다. 금속염, 착화제, 및 황염 또는 셀렌염을 포함하거나, 금속염과 착화제만을 포함할 수 있다. 또한 전구체 용액을 복수의 전구체 용액으로 준비하여 복수의 전구체 박막을 형성한 후 이를 열처리하여 CZTS 박막을 형성할 수 있다.
Int. CL H01L 31/18 (2006.01) H01L 31/04 (2014.01) H01L 21/20 (2006.01)
CPC H01L 31/0326(2013.01) H01L 31/0326(2013.01) H01L 31/0326(2013.01) H01L 31/0326(2013.01)
출원번호/일자 1020130112094 (2013.09.17)
출원인 전남대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0032438 (2015.03.26) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.09.17)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 전남대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김진혁 대한민국 광주 북구
2 신승욱 대한민국 대전광역시 유성구
3 이정용 대한민국 대전 유성구
4 문종하 대한민국 광주 북구
5 김인영 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전남대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.09.17 수리 (Accepted) 1-1-2013-0853164-94
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000058-61
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.06.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.07.10 수리 (Accepted) 9-1-2014-0058800-31
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0749552-14
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.11.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1115051-92
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0289891-54
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.06.08 수리 (Accepted) 4-1-2015-5076218-57
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2015.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-0634849-04
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.07.29 수리 (Accepted) 1-1-2015-0737755-48
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.07.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0737756-94
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0807637-81
13 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2016.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2016-0065916-19
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.02.16 수리 (Accepted) 1-1-2016-0153741-13
15 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.02.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0153756-97
16 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2016.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0315974-35
17 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)		 2016.06.02 수리 (Accepted) 7-1-2016-0034864-02
18 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.07.04 수리 (Accepted) 1-1-2016-0645050-23
19 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2016.07.04 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-0645063-16
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.07.07 수리 (Accepted) 4-1-2016-5093177-51
21 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2016.08.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0562014-67
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5056463-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
CZTS 박막의 제조방법으로서:(a) 수조에 구리염, 아연염, 주석염, 및 착화제를 포함하는 전구체 용액을 준비하는 단계;(b) 상기 전구체 용액에 기판을 넣고 1 내지 4시간 동안 유지하여 상기 기판에 전구체 박막을 형성하는 단계; 및(c) 상기 전구체 박막이 형성된 기판을 취출하여 황화 또는 셀렌화 분위기에서 열처리하는 단계;를 포함하고,상기 전구체 용액은 pH가 7 내지 10이고, 상기 착화제는 Na3citrate이며,상기 구리염, 상기 아연염, 및 상기 주석염 각각과 착화제를 혼합한 각각의 용액을 하나로 혼합하되, 몰비로 Cu:Zn:Sn이 2:1:1의 비율이 되도록 혼합하는 것인, CZTS 박막의 제조방법
2 2
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3 3
청구항 1에 있어서,상기 단계 (b)에서 상기 전구체 용액의 온도는 60 내지 100도인,CZTS 박막의 제조방법
4 4
청구항 1에 있어서,상기 단계 (c)는 450 내지 600도에서 1 내지 4시간 동안 유지하는 것인,CZTS 박막의 제조방법
5 5
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6 6
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7 7
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8 8
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9 9
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10 10
CZTS 박막의 제조방법으로서:아연염, 착화제, 및 황염 또는 셀렌염을 포함하는 제1전구체 용액과, 주석염, 착화제, 및 황염 또는 셀렌염을 포함하는 제2전구체 용액과, 구리염, 착화제, 및 황염 또는 셀렌염을 포함하는 제3전구체 용액을 각각 준비하는 단계;기판을 상기 제1 내지 제3 전구체 용액에 순차로 침지하여 복수층의 전구체 박막을 적층하는 단계; 및상기 복수층의 전구체 박막이 적층된 기판을 황화 또는 셀렌화 분위기에서 열처리하는 단계;를 포함하고,상기 착화제는 Na3citrate으로서 0
11 11
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12 12
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13 13
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청구항 10에 있어서,상기 제1 내지 제3전구체 용액은 해당 금속염, 착화제, 및 황염 또는 셀렌염을 각각 물에 용해한 후, 금속염 용액과 착화제 용액을 먼저 섞고 나서 황염 또는 셀렌염 용액을 섞는 것인,CZTS 박막의 제조방법
15 15
청구항 10에 있어서,상기 금속염 각각은 0
16 16
청구항 10에 있어서,상기 황염 또는 셀렌염은 0
17 17
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18 18
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.