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비대칭 마흐-젠더 간섭계를 포함하는 링 공진기 센서에 있어서, 광원에서 광신호를 전달받아 적어도 두 개의 동일하지 않은 구조의 암을 통해 진행시키는 비대칭 마흐-젠더 간섭계; 및상기 비대칭 마흐-젠더 간섭계의 적어도 하나의 암에서 광신호를 전달받아 상기 광신호의 특정 파장에서 공진하는 링 공진기를 포함하는 비대칭 마흐-젠더 간섭계를 포함하는 링 공진기 센서
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제1항에 있어서, 상기 비대칭 마흐-젠더 간섭계를 포함하는 링 공진기 센서는, 상기 링 공진기에 측정 대상 물질을 전달하는 유로부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비대칭 마흐-젠더 간섭계를 포함하는 링 공진기 센서
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3 |
3
청구항 3은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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제1항에 있어서, 상기 비대칭 마흐-젠더 간섭계를 포함하는 링 공진기 센서는, 상기 비대칭 마흐-젠더 간섭계 및 링 공진기 중 적어도 하나에서 진행하는 광신호의 크기를 변화시키는 것을 특징으로 하는 비대칭 마흐-젠더 간섭계를 포함하는 링 공진기 센서
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5
제1항에 있어서, 상기 링 공진기는,상기 비대칭 마흐-젠더 간섭계에서 진행하는 상기 광신호를 상기 링 공진기에 결합시키는 광결합 도파로; 상기 광결합 도파로로 결합된 광신호를 상기 링 공진기에서 진행시키는 주회 도파로; 및상기 광결합 도파로로 결합된 상기 광신호를 상기 주회 도파로에서 진행되도록 상기 광신호의 진행 경로를 변경하는 광경로 변경수단을 포함하는 비대칭 마흐-젠더 간섭계를 포함하는 링 공진기 센서
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6
제5항에 있어서, 상기 링 공진기는 상기 주회 도파로 및 상기 광경로 변경수단 중 적어도 하나에 측정 대상 물질을 탐지할 수 있는 센서부가 구비된 것을 특징으로 하는 비대칭 마흐-젠더 간섭계를 포함하는 링 공진기 센서
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7
제6항에 있어서, 상기 광경로 변경수단에 구비된 센서부는,표면 플라즈몬 공명 현상을 이용하여 측정 대상 물질을 탐지하는 것을 특징으로 하는 비대칭 마흐-젠더 간섭계를 포함하는 링 공진기 센서
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8 |
8
제6항에 있어서, 상기 광경로 변경수단에 구비된 센서부는,다중 금속막 구조를 이용하여 측정 대상 물질을 탐지하는 것을 특징으로 하는 비대칭 마흐-젠더 간섭계를 포함하는 링 공진기 센서
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9
제5항에 있어서, 상기 링 공진기는,상기 광결합 도파로를 밑변으로 하고 상기 주회 도파로를 양변으로 하는 삼각형 형상인 것을 특징으로 하는 비대칭 마흐-젠더 간섭계를 포함하는 링 공진기 센서
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10
제 5항에 있어서, 상기 링 공진기는, 상기 광결합 도파로를 밑변으로 하고 상기 주회 도파로를 나머지 세 변으로 하는 사각형 형상인 것을 특징으로 하는 비대칭 마흐-젠더 간섭계를 포함하는 링 공진기 센서
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11
제1항에 있어서, 상기 비대칭 마흐-젠더 간섭계는, 상기 링 공진기와 결합된 제1 암; 및상기 링 공진기와 결합되지 않은 제2 암을 포함하는 비대칭 마흐-젠더 간섭계를 포함하는 링 공진기 센서
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12
제11항에 있어서, 상기 비대칭 마흐-젠더 간섭계는,상기 제1 암에서 출력되는 광신호와 상기 제2 암에서 출사되는 광신호의 크기가 동일하고 위상은 180도가 차이가 나도록 하는 것을 특징으로 하는 비대칭 마흐-젠더 간섭계를 포함하는 링 공진기 센서
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13
비대칭 마흐-젠더 간섭계를 포함하는 링 공진기 센서를 구비한 자기 참조 도파로 센서에 있어서, 광원에서 발생된 광신호를 적어도 두 개의 도파로로 분기하는 자기 참조 도파로;상기 비대칭 마흐-젠더 간섭계가 포함된 링 공진기 센서에 상기 자기 참조 도파로에서 분기된 광신호 중 적어도 하나의 광신호가 입사되어 측정 대상 물질을 탐지하는 제1 측정부;및상기 비대칭 마흐-젠더 간섭계가 포함된 링 공진기 센서에 상기 자기 참조 도파로에서 분기된 광신호 중 적어도 하나의 광신호가 입사되어 상기 제1 측정부에서 출사된 광신호와 비교하기 위한 광신호를 출사하는 제2 측정부를 포함하는 비대칭 마흐-젠더 간섭계를 포함하는 링 공진기 센서를 구비한 자기 참조 도파로 센서
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14
청구항 14은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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청구항 15은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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16
청구항 16은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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17
비대칭 마흐-젠더 간섭계를 포함하는 링 공진기 센서를 구비한 마이크로 공진기 센서에 있어서, 광신호를 발생시켜 상기 링 공진기 센서에 전달하는 광원부;상기 광원부에서 광신호를 전달받아 적어도 두 개의 동일하지 않은 구조의 암을 통해 진행시키는 비대칭 마흐-젠더 간섭계를 포함하는 링 공진기 센서;및상기 링 공진기 센서에서 출사된 광신호를 탐지하는 광 검출기를 포함하는 비대칭 마흐-젠더 간섭계를 포함하는 링 공진기 센서를 구비한 마이크로 공진기 센서
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제17항에 있어서, 상기 광원부는,광신호를 발생시키는 광원;상기 광원에서 발생한 상기 광신호를 커플링하는 광 결합기;상기 광 결합기를 통해 전달된 광신호 중 일정한 파장의 광신호를 필터링하는 파장 필터; 및상기 파장 필터를 통해 필터링된 상기 광신호를 TM(Tranverse Magnetic) 모드 및 TE(Tranverse Electric) 모드 중 적어도 하나의 모드로 편광 시키는 회전 편광기를 포함하는 비대칭 마흐-젠더 간섭계를 포함하는 링 공진기 센서를 구비한 마이크로 공진기 센서
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19
청구항 19은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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20
청구항 20은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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21
청구항 21은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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22
청구항 22은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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23
제17항에 있어서, 비대칭 마흐-젠더 간섭계를 포함하는 링 공진기 마이크로 공진기 센서는, 광신호에 존재하는 노이즈를 감쇠시키는 미세 신호 검출 장치를 더 포함하는 비대칭 마흐-젠더 간섭계를 포함하는 링 공진기 센서를 구비한 마이크로 공진기 센서
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청구항 24은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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