맞춤기술찾기

이전대상기술

활성화 전자빔을 이용한 박막 물성 변화 방법

  • 기술번호 : KST2015194314
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 활성화 전자빔을 사용하여 소요시간이 크게 줄면서도 물성 변화율을 크게 향상시킬 수 있는 박막 물성 변화 기술을 제공한다.
Int. CL H01L 21/20 (2006.01)
CPC H01L 21/02672(2013.01) H01L 21/02672(2013.01) H01L 21/02672(2013.01)
출원번호/일자 1020130084724 (2013.07.18)
출원인 세종대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0011045 (2015.01.30) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.01.16)
심사청구항수 5

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 세종대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 광진구 능동로 *** (군

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김태완 대한민국 경기 용인시 기흥구
2 이하나 대한민국 서울 금천구
3 김성용 대한민국 인천 남구
4 김영광 대한민국 경기 평택

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.07.18 수리 (Accepted) 1-1-2013-0648495-37
2 청구범위 제출유예 안내서
Notification for Deferment of Submission of Claims
2013.07.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0086810-94
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2015.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-0049385-54
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.01.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0049384-19
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.09.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2015-0087415-31
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.11.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0761331-58
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.01.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0027503-22
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
대상막의 일부 영역 상에 활성화 전자빔을 조사하고; 및상기 전자빔이 조사된 상기 대상막은 둘 이상의 상(phase)을 갖는 복합상으로 변화되는 것을 포함하는 막 물성 변화 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 전자빔이 조사되기 전에, 상기 대상막은 비정질 상태를 갖는 막이고,상기 전자빔이 조사된 후 상기 대상막은 비정질 상태를 갖는 영역과 다결정질 상태를 갖는 영역을 구비하는 막 물성 변화 방법
3 3
제2항에 있어서,상기 대상막은 MgO 막 또는 CoFeB 막인 막 물성 변화 방법
4 4
제1항에 있어서,상기 전자빔이 조사되기 전에, 상기 대상막은 FCC(Face Centered Cubic) 구조를 갖는 막이고,상기 전자빔이 조사된 후 상기 대상막은 FCC 구조를 갖는 영역과 FCT(Face Centered Tetragonal) 구조를 갖는 영역을 구비하는 막 물성 변화 방법
5 5
제4항에 있어서,상기 대상막은 FePt 막인 막 물성 변화 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한양대학교산학협력단 전자정보디바이스산업원천기술개발 저전력 차세대메모리용 자기저항변화 (자기저항비 120% 이상) 및 고신뢰성 터널베리어 신소재 개발