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상면, 하면 또는 측면에 의해 규정되는 내부 공간을 갖는 반응 챔버; 상기 반응 챔버의 상면, 하면 및 측면 중 최소한 두 개의 면에 설치되어 반응 가스를 유입하는 반응 가스 샤워; 상기 반응 챔버의 상면, 하면 및 측면 중 최소한 두 개의 면에 설치되며 반응 가스의 유출을 위한 배기관; 상기 반응 가스 샤워와 인접하여 상기 반응 챔버 내부에 설치되며, 상기 반응 가스 샤워로부터 유입되는 반응 가스를 무화하기 위한 다공성 분산판; 상기 다공성 분산판 내부에 설치되는 복수의 히터; 상기 배기관에 연결되어 상기 반응 챔버 내부를 배기하기 위한 배기 기구; 및 반응 가스가 상기 상면, 하면 및 측면의 상기 반응 가스 샤워 중 선택된 최소한 하나의 반응 가스 샤워로 반응가스가 유입되게 하고 반응 가스가 상기 상면, 하면 및 측면 중 선택된 최소한 하나의 배기관으로 배기되도록 상기 반응 가스 샤워 및 배기 기구를 제어하며, 증착 과정 중에 상기 선택된 반응 가스 샤워 또는 상기 선택된 배기 기구를 변경하는 반응가스 유출입 제어기를 포함하는 3차원 코팅 장치
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제1항에 있어서, 상기 반응가스 유출입 제어기는 반응 가스 유입 및 배기를 하나의 사이클로 증착 과정 중 상기 사이클을 반복하여 수행하는 것을 특징으로 하는 3차원 코팅 장치
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제1항에 있어서, 상기 챔버 중앙부로 연장되는 가스 도입관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 코팅 장치
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제3항에 있어서, 상기 가스 도입관 끝단에 다공성 가스 분배기가 부착된 것을 특징으로 하는 3차원 코팅 장치
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(a) 반응 챔버 내부에 3차원 코팅될 모재를 배치하는 단계; (b) 반응 챔버의 상면, 하면 및 측면 중 선택된 최소한 하나의 면으로 반응 가스를 유입하는 단계; (c) 유입된 상기 반응 가스를 상기 반응 챔버 내부에 소정 기간 유지하는 단계; (d) 반응 챔버의 상면, 하면 및 측면 중 상기 단계 (b)에서 선택된 면을 제외한 최소한 하나의 면으로 반응 가스를 유출하는 단계; 및 (e) 상기 반응 챔버의 유입면 또는 유출면을 변경하여 단계 (b) 내지 (d)를 최소한 1회 반복하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 코팅 방법
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제5항에 있어서, 상기 단계 (b) 내지 (d)를 하나의 사이클로 하고 사이클을 반복 수행하는 것을 특징으로 하는 3차원 코팅 방법
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제5항에 있어서, 상기 단계(b)에서 선택된 면과 상기 단계(d)에서 선택된 면은 대향하는 것을 특징으로 하는 3차원 코팅 방법
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제5항에 있어서, 상기 단계(b)에서 선택된 면과 상기 단계(d)에서 선택된 면은 서로 수직인 것을 특징으로 하는 3차원 코팅 방법
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제5항에 있어서, 상기 단계 (b) 또는 단계 (d)에서 유입면 또는 유출면이 선택되는 경우, 상기 선택된 유입면 또는 유출면은 상기 단계 (b)의 유입면 또는 단계 (d)의 유출면과 대향하는 것을 특징으로 하는 3차원 코팅 방법
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제5항에 있어서, 상기 단계 (b) 또는 단계 (d)에서 유입면 또는 유출면이 선택되는 경우, 상기 선택된 유입면 또는 유출면은 상기 단계 (b)의 유입면 또는 단계 (d)의 유출면과 수직인 것을 특징으로 하는 3차원 코팅 방법
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