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미세 패턴 인쇄 및 대면적화에 유리한 신개념의 OLED 제조 기법 : 유기 드라이젯(dry jet) 디지털 프린팅 기법
- 기술번호 : KST2014014540
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명에 따른 유기 드라이 젯 프린팅 헤드 및 이를 이용한 프린팅 장치 및 방법은, 개폐 밸브 및 이를 제어하는 제어 유닛을 이용하여, 패턴을 형성하는 구간에서, 밸브를 규칙적으로 반복 개폐시키면서, 짧은 고속 젯의 반복 분사 방식으로 유기 박막을 구성하여 패턴을 형성할 수 있도록 구성됨으로써 상압 조건에서 패턴 인쇄 공정이 가능하고, 기판의 대면적화 및 고정세 패턴의 인쇄가 가능하여, 유기 전자 디바이스의 제조의 생산성 및 경제성을 높일 수 있는 효과가 있다. 밸브, 패턴, 증착, 프린팅, 캐리어, OLED, OPV, OTFT |
|---|---|
| Int. CL | B41J 2/235 (2006.01) C23C 16/00 (2006.01) B41J 3/00 (2006.01) |
| CPC | |
| 출원번호/일자 | 1020080103751 (2008.10.22) |
| 출원인 | 한국과학기술원 |
| 등록번호/일자 | 10-1055606-0000 (2011.08.03) |
| 공개번호/일자 | 10-2010-0044565 (2010.04.30) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20110810) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2008.10.22) |
| 심사청구항수 | 18 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 유승협 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 2 | 윤창훈 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 3 | 조현수 | 대한민국 | 경상북도 구미시 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 특허법인충정 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 역삼로***,*층(역삼동,성보역삼빌딩) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2008.10.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0733773-35 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2009.08.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2009.09.14 | 수리 (Accepted) | 9-1-2009-0051127-41 |
| 4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2010.09.13 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0405014-56 |
| 5 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2010.10.08 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0651588-42 |
| 6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2010.10.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0651587-07 |
| 7 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2011.02.10 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0075994-02 |
| 8 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2011.04.11 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0260812-50 |
| 9 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2011.04.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0260810-69 |
| 10 | 등록결정서 Decision to grant |
2011.07.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0402339-09 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 기판에 박막 또는 패턴(이하 '박막'으로 통일함)을 형성하기 위한 유기 물질이 저장되고, 이 유기 물질을 기판에 분사하기 위한 노즐과 연결되는 헤드 바디와; 상기 헤드 바디의 내측으로 캐리어 가스를 이동시켜 헤드 바디 내의 유기 물질을 상기 노즐을 통해 기판에 분사시키는 캐리어 가스 공급기와; 상기 캐리어 가스 공급기 또는 헤드 바디에서 캐리어 가스가 통과하는 부분에 구비되어 캐리어 가스의 유동을 단속하는 개폐 밸브와; 기판에 박막을 형성하는 박막 형성구간에서, 상기 개폐 밸브를 규칙적으로 반복 개폐시키면서 상기 노즐을 통해 유기 물질을 분사할 수 있도록 제어하는 제어 유닛을 포함하고, 상기 개폐 밸브는 상기 제어 유닛의 신호에 따라 작동되는 솔레노이드 개폐 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기 드라이 젯 프린팅 헤드 |
| 2 |
2 청구항 1에 있어서, 상기 헤드 바디에는 유기 물질을 가열할 수 있도록 가열기가 구비된 것을 특징으로 하는 유기 드라이 젯 프린팅 헤드 |
| 3 |
3 청구항 1에 있어서, 상기 개폐 밸브는 상기 헤드 바디와 캐리어 가스 공급기 사이에서 캐리어 가스가 통과하는 관로 상에 설치된 것을 특징으로 하는 유기 드라이 젯 프린팅 헤드 |
| 4 |
4 청구항 3에 있어서, 상기 헤드 바디와 캐리어 가스 공급기를 연결하는 관로 상에는 헤드 바디에서 발생된 열이 상기 개폐 밸브 쪽으로 전달되지 않도록 하는 단열 장치가 구비된 것을 특징으로 하는 유기 드라이 젯 프린팅 헤드 |
| 5 |
5 청구항 3에 있어서, 상기 헤드 바디와 캐리어 가스 공급기를 연결하는 관로 상에는 헤드 바디에서 상기 개폐 밸브 쪽으로 전달되는 열을 냉각시킬 수 있도록 냉각 장치가 구비된 것을 특징으로 하는 유기 드라이 젯 프린팅 헤드 |
| 6 |
6 청구항 1에 있어서, 상기 개폐 밸브는 상기 헤드 바디에서 유기 물질이 저장된 부분과 노즐 사이의 통로 또는, 노즐 쪽에서 개폐할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 유기 드라이 젯 프린팅 헤드 |
| 7 |
7 삭제 |
| 8 |
8 청구항 1에 있어서, 상기 제어 유닛은 상기 개폐 밸브의 규칙적 반복 개폐를 위하여, 솔레노이드를 제어하는 펄스 제너레이터를 포함한 것을 특징으로 하는 유기 드라이 젯 프린팅 헤드 |
| 9 |
9 기판에 박막 또는 패턴(이하 '박막'으로 통일함)을 형성하기 위한 유기 물질이 저장되고, 이 유기 물질을 기판에 분사하기 위한 노즐과 연결되는 헤드 바디와 상기 헤드 바디의 내측으로 캐리어 가스를 이동시켜 헤드 바디 내의 유기 물질을 상기 노즐을 통해 기판에 분사시키는 캐리어 가스 공급기와 상기 캐리어 가스 공급기 또는 헤드 바디에서 캐리어 가스가 통과하는 부분에 구비되어 캐리어 가스의 유동을 단속하는 개폐 밸브와 기판에 박막을 형성하는 박막 형성구간에서, 상기 개폐 밸브를 규칙적으로 반복 개폐시키면서 상기 노즐을 통해 유기 물질을 분사할 수 있도록 제어하는 제어 유닛을 포함하고, 상기 개폐 밸브는 노즐의 미세 조절이 가능한 MEMS 셔터(Micro electro mechanical system shutter)형 개폐 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기 드라이 젯 프린팅 헤드 |
| 10 |
10 청구항 1에 있어서, 상기 헤드 바디는 복수의 유기물질 저장부를 갖고, 각 유기물질 저장부는 상기 노즐로 연결되는 통로가 연결되어, 상기 각 유기 물질 저장부에 저장된 유기 물질이 각각의 캐리어 가스 공급기에서 공급되는 캐리어 가스에 의해 상기 노즐을 통해 분사될 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 유기 드라이 젯 프린팅 헤드 |
| 11 |
11 청구항 10에 있어서, 상기 헤드 바디에서 상기 각 유기물질 저장부에서 연결되는 통로가 합류하는 지점에는, 유기 물질을 혼합할 수 있도록 믹싱 챔버가 구비되고, 이 믹싱 챔버는 상기 노즐과 연결된 것을 특징으로 하는 유기 드라이 젯 프린팅 헤드 |
| 12 |
12 청구항 11에 있어서, 상기 각 유기물질 저장부와 믹싱 챔버 사이의 통로 또는 믹싱 챔버와 노즐 사이의 통로에는 상기 개폐 밸브가 설치된 것을 특징으로 하는 유기 드라이 젯 프린팅 헤드 |
| 13 |
13 청구항 1 내지 청구항 6, 청구항 8 내지 청구항 12 중 어느 한 항에 기재된 유기 드라이 젯 프린팅 헤드를 포함하고, 상기 노즐과 대향되게 위치되고, 상부에 박막을 형성할 기판이 로딩됨과 아울러 상기 제어 유닛에 의해 노즐과 기판의 상태 위치를 변화시킬 수 있도록 이루어진 스테이지를 포함한 것을 특징으로 하는 유기 드라이 젯 프린팅 헤드를 이용한 프린팅 장치 |
| 14 |
14 청구항 13에 있어서, 상기 스테이지에는 기판의 온도를 조절할 수 있도록 온도 조절기가 설치된 것을 특징으로 하는 유기 드라이 젯 프린팅 헤드를 이용한 프린팅 장치 |
| 15 |
15 청구항 1 또는 청구항 9에 기재된 유기 드라이 젯 프린팅 헤드를 이용한 프린팅 방법으로서, 상기 헤드 바디에 저장된 유기 물질을 가열하여 승화시킨 다음, 상기 캐리어 가스 공급기에서 제공되는 캐리어 가스의 유체 흐름을 이용하여 상기 가열된 유기 물질을 노즐 밖으로 분사하여 기판에 유기 물질을 증착하되, 기판에 박막을 형성하는 박막 형성구간에서, 상기 제어 유닛에서 상기 개폐 밸브를 제어하여 상기 캐리어 가스의 유체 흐름을 규칙적으로 차단 및 공급을 반복하면서 기판에 유기 물질을 증착하여 박막 또는 패턴(이하 '박막'으로 통일함)을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 드라이 젯 프린팅 헤드를 이용한 프린팅 방법 |
| 16 |
16 청구항 15에 있어서, 기판에 박막을 형성하지 않은 박막 미형성구간에서는, 상기 제어 유닛에서 상기 개폐 밸브를 제어하여 상기 캐리어 가스의 유체 흐름을 차단하는 것을 특징으로 하는 유기 드라이 젯 프린팅 헤드를 이용한 프린팅 방법 |
| 17 |
17 청구항 15에 있어서, 상기 기판 주변의 압력 조건이 상압인 조건에서, 기판에 유기 물질을 증착하여 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 드라이 젯 프린팅 헤드를 이용한 프린팅 방법 |
| 18 |
18 청구항 15에 있어서, 상기 헤드 바디는 복수의 유기물질 저장부를 갖고, 각 유기물질 저장부는 상기 노즐로 연결되는 통로가 연결되되, 상기 각 유기물질 저장부에서 연결되는 통로가 합류하는 지점에는 유기 물질을 혼합할 수 있도록 믹싱 챔버가 구비되고, 이 믹싱 챔버는 상기 노즐과 연결될 때, 기판에 유기 물질을 증착할 때, 상기 믹싱 챔버에서 복수의 유기 물질을 혼합하여 상기 노즐을 통해 분사하면서 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 드라이 젯 프린팅 헤드를 이용한 프린팅 방법 |
| 19 |
19 청구항 15에 있어서, 상기 캐리어 가스의 유체 흐름은 캐리어 가스가 통과하는 관로 상에 설치된 개폐 밸브를 이용하여 조절하되, 기판에 형성되는 박막의 두께는 상기 개폐 밸브의 단위 시간당 개폐 주기나 개폐 반복횟수 또는 개폐 밸브의 ON:OFF 시간비를 조절하여 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 드라이 젯 프린팅 헤드를 이용한 프린팅 방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | EP02180079 | EP | 유럽특허청(EPO) | FAMILY |
| 2 | EP02180079 | EP | 유럽특허청(EPO) | FAMILY |
| 3 | JP05000680 | JP | 일본 | FAMILY |
| 4 | JP22103087 | JP | 일본 | FAMILY |
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DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | AT544879 | AT | 오스트리아 | DOCDBFAMILY |
| 2 | EP2180079 | EP | 유럽특허청(EPO) | DOCDBFAMILY |
| 3 | EP2180079 | EP | 유럽특허청(EPO) | DOCDBFAMILY |
| 4 | JP2010103087 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
| 5 | JP5000680 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
| 6 | US2010097416 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
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| 특허 등록번호 | 10-1055606-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20081022 출원 번호 : 1020080103751 공고 연월일 : 20110810 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20110720 청구범위의 항수 : 18 유별 : B41J 2/235 발명의 명칭 : 유기 드라이 젯 프린팅 헤드 및 이를 이용한 프린팅 장치 및 방법 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국과학기술원 대전광역시 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 373,500 원 | 2011년 08월 04일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 305,200 원 | 2014년 07월 24일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 305,200 원 | 2015년 07월 29일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 305,200 원 | 2016년 07월 27일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 548,800 원 | 2017년 07월 25일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 392,000 원 | 2018년 07월 25일 | 납입 |
| 제 9 년분 | 금 액 | 392,000 원 | 2019년 07월 25일 | 납입 |
| 제 10 년분 | 금 액 | 615,000 원 | 2020년 07월 27일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2008.10.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0733773-35 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 | 2009.08.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 | 2009.09.14 | 수리 (Accepted) | 9-1-2009-0051127-41 |
| 4 | 의견제출통지서 | 2010.09.13 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0405014-56 |
| 5 | [명세서등 보정]보정서 | 2010.10.08 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0651588-42 |
| 6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2010.10.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0651587-07 |
| 7 | 의견제출통지서 | 2011.02.10 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0075994-02 |
| 8 | [명세서등 보정]보정서 | 2011.04.11 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0260812-50 |
| 9 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2011.04.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0260810-69 |
| 10 | 등록결정서 | 2011.07.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0402339-09 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 기술번호 | KST2014014540 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | 한국과학기술원 |
| 기술명 | 미세 패턴 인쇄 및 대면적화에 유리한 신개념의 OLED 제조 기법 : 유기 드라이젯(dry jet) 디지털 프린팅 기법 |
| 기술개요 |
본 발명에 따른 유기 드라이 젯 프린팅 헤드 및 이를 이용한 프린팅 장치 및 방법은, 개폐 밸브 및 이를 제어하는 제어 유닛을 이용하여, 패턴을 형성하는 구간에서, 밸브를 규칙적으로 반복 개폐시키면서, 짧은 고속 젯의 반복 분사 방식으로 유기 박막을 구성하여 패턴을 형성할 수 있도록 구성됨으로써 상압 조건에서 패턴 인쇄 공정이 가능하고, 기판의 대면적화 및 고정세 패턴의 인쇄가 가능하여, 유기 전자 디바이스의 제조의 생산성 및 경제성을 높일 수 있는 효과가 있다. 밸브, 패턴, 증착, 프린팅, 캐리어, OLED, OPV, OTFT |
| 개발상태 | 기술개발진행중 |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | AMOLED 대형화 제조 장비, 차세대 유기반도체 롤투롤(roll-to-roll) 증착 장비, 대형 유기태양전지 제조 장비. |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | 기술매매, |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1415115198 |
|---|---|
| 세부과제번호 | C1080-1101-0001 |
| 연구과제명 | KAIST-ICU 통합지원(ICC 교육여건 개선) |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 정보통신산업진흥원 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200903~201112 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 기타 |
| 6T분류명 | 기타 |
| 과제고유번호 | 1415118321 |
|---|---|
| 세부과제번호 | F0004120-2011-34 |
| 연구과제명 | 미세 패턴 인쇄 및 대면적화가 가능한 상압 유기 드라이젯(dry jet) 프린팅 기법 개발 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200806~201205 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | IT(정보기술) |
| 과제고유번호 | 1415091247 |
|---|---|
| 세부과제번호 | F0004130-2008-31 |
| 연구과제명 | 미세패턴인쇄및대면적화가가능한상압유기드라이젯(dryjet)프린팅기법개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가원 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2008 |
| 연구기간 | 200804~201205 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | IT(정보기술) |
특허성과
| [1020117006172] | 비체계적오류 제어 부호를 이용한 보안 통신 | 새창보기 |
|---|---|---|
| [1020110147108] | 근거리 통신 및 무선 전력 전송 시스템에서 전력 제어 장치 및 방법 | 새창보기 |
| [1020110147107] | 근거리 통신 및 무선 전력 전송 시스템 및 방법 | 새창보기 |
| [1020110147054] | 등받이 의자로 변형이 가능한 휴대용 매트 | 새창보기 |
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