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식각 기판이 장착되는 반응챔버와, 상기 반응챔버 내에서 나란히 배치되어 있으며 일측은 전원에 타측은 접지되어 있는 다수의 안테나 봉과, 상기 안테나 봉을 중심으로 양쪽에 각각 배치되는 자성체로 구성된 초대면적 플라스마 발생장치에 있어서, 길이방향 양단에 관통공(1431)이 형성되어 있고, 내부에는 길이방향으로 홈(1432)이 형성되어 있는 조립 케이스(1430)와, 상기 조립 케이스(1430)의 홈(1432)을 덮도록 설치된 쿼츠 창(1433)과, 상기 조립 케이스(1430)의 관통공(1431)에 끼워져서 설치되는 안테나 봉(1410)과, 상기 안테나 봉(1410)의 둘레에 진공 공간을 개재하여 설치된 수지관(1420)으로 구성되며, 반응챔버(1100)를 관통하여 설치되어 있는 안테나 조립체(1400)와; 길이방향 양단에 관통공(1531)이 형성되어 있고, 내부에는 길이방향으로 홈(1532)이 형성되어 있는 조립 케이스(1530)와, 상기 조립 케이스(1530)의 홈(1532)을 덮도록 설치된 쿼츠 창(1533)과, 상기 조립 케이스(1530)의 관통공(1531)에 끼워져 설치되는 자성체(1510)와, 상기 자성체(1510)의 둘레에 진공 공간을 개재하여 설치된 수지관(1520)으로 구성되며, 반응챔버(1100)를 관통하여 설치되어 있는 자성체 조립체(1500)와; 를 포함하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 모듈식 초대면적 플라스마 발생장치
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식각 기판이 장착되는 반응챔버와, 상기 반응챔버 내에서 나란히 배치되어 있으며 일측은 전원에 타측은 접지되어 있는 다수의 안테나 봉과, 상기 안테나 봉을 중심으로 양쪽에 각각 배치되는 자성체로 구성된 초대면적 플라스마 발생장치에 있어서, 상기 반응챔버(1100')에 설치되며, 길이방향 양단에 다수의 관통공(1431')(1431")이 형성되어 있고, 내부에는 홈(1432')이 형성되어 있는 조립 프레임(1430')과; 상기 조립 프레임(1430')의 홈(1432')을 덮도록 설치된 쿼츠 창(1433')과; 조립 프레임(1430')의 관통공(1431')에 끼워져서 설치되는 안테나 봉(1410')과; 상기 안테나 봉(1410')의 둘레에 진공 공간을 개재하여 설치된 수지관(1420')과; 상기 조립 프레임(1430')의 관통공(1431")에 끼워져서 설치되는 자성체(1510')와; 상기 자성체(1510')의 둘레에 진공 공간을 개재하여 설치된 수지관(1520')과; 를 포함하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 모듈식 초대면적 플라스마 발생장치
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제2항에 있어서,상기 조립 프레임이 상기 반응챔버의 일측면으로부터 길이방향으로 끼워지되, 상기 조립 프레임이 반응챔버에 대하여 길이방향 이동이 가능한 것을 특징으로 하는 모듈식 초대면적 플라스마 발생장치
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 반응챔버의 외부에서, 안테나 봉과 수지관 사이, 및 자성체와 수지관 사이에는 커넥터와 씰링용 오링이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 모듈식 초대면적 플라스마 발생장치
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 수지관은 테프론 소재로 구성된 것을 특징으로 하는 모듈식 초대면적 플라스마 발생장치
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제1항에 있어서, 상기 조립 케이스는 테프론 소재로 구성된 것을 특징으로 하는 모듈식 초대면적 플라스마 발생장치
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제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 조립 프레임은 테프론 소재로 구성된 것을 특징으로 하는 모듈식 초대면적 플라스마 발생장치
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제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 조립 프레임은 테프론 소재로 구성된 것을 특징으로 하는 모듈식 초대면적 플라스마 발생장치
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