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자장이 인가된 내장형 선형 안테나를 구비하는 대면적처리용 유도 결합 플라즈마 소오스

  • 기술번호 : KST2015214491
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 초대면적에 대하여 플라즈마 밀도, 플라즈마 균일도 및 플라즈마 포텐셜 등 플라즈마 특성을 향상시킬 수 있는 자장이 인가된 내장형 선형 안테나를 구비하는 유도 결합 플라즈마 소오스가 개시된다. 본 발명의 유도 결합 플라즈마 소오스는, 반응챔버의 내측 상부에서 수평적으로 서로 일정한 간격을 두고 배치되며, 서로 직렬로 연결된 유도전력이 인가되는 복수개의 선형 안테나들 및 상기 복수개의 선형 안테나들로부터 발생되는 전기장과 교차하는 자기장을 발생시켜 전자의 나선운동을 촉진시키도록 상기 선형 안테나들 사이 중앙에 배치된 적어도 하나의 자석을 포함한다.
Int. CL H01L 21/3065 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020020058456 (2002.09.26)
출원인 학교법인 성균관대학
등록번호/일자 10-0465907-0000 (2005.01.03)
공개번호/일자 10-2004-0026847 (2004.04.01) 문서열기
공고번호/일자 (20050113) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.09.26)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 성균관대학 대한민국 서울 종로구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 염근영 대한민국 서울 송파구
2 이영준 대한민국 서울특별시동대문구
3 김경남 대한민국 대전광역시서구
4 송병관 대한민국 서울특별시강서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인정직과특허 대한민국 서울 강남구 선릉로 ***(논현동, 썬라이더빌딩 *층)
2 윤여표 대한민국 서울특별시 서초구 방배로**길 *, ***호(방배동,정암빌딩)(웰컨설팅(분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교 산학협력단 경기 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.09.26 수리 (Accepted) 1-1-2002-0314853-11
2 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document		 2002.09.27 수리 (Accepted) 1-1-2002-5238948-16
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.10.24 수리 (Accepted) 4-1-2002-0082187-27
4 출원인변경신고서
Applicant change Notification		 2003.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2003-5019752-84
5 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 2004.02.05 수리 (Accepted) 1-1-2004-5019490-51
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.03.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.04.13 수리 (Accepted) 9-1-2004-0023186-40
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.07.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0296953-71
9 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.09.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0419741-59
10 의견서
Written Opinion		 2004.09.16 수리 (Accepted) 1-1-2004-0419737-76
11 등록결정서
Decision to grant		 2004.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0554585-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

반응챔버와;

선형으로 이루어진 것으로서, 상기 반응챔버의 내부와 외부를 교대로 지나 반응챔버의 내부에서 서로 일정한 간격을 두고 배치되며, 반응챔버의 외부에서 일단은 접지되어 있고 타단은 고주파 유도전원이 연결되어 있는 선형 안테나와;

상기 반응챔버의 내부의 이웃하는 선형 안테나들 사이 중앙에 각각 배치되며, 상기 선형 안테나의 길이방향을 따라 연장되는 자석과;

상기 반응챔버의 내부에서, 상기 선형 안테나를 밀봉되도록 감싸는 안테나 보호관과;

상기 반응챔버의 내부에서, 상기 자석을 밀봉되도록 감싸는 자석 보호관과;

를 포함하는 내장형 선형 안테나를 구비하는 대면적 처리용 유도 결합 플라즈마 소오스

2 2

삭제
3 3

제 1 항에 있어서,

상기 안테나 보호관은 쿼츠로 이루어진 것을 특징으로 하는, 내장형 선형 안테나를 구비하는 대면적 처리용 유도 결합 플라즈마 소오스

4 4

제 1 항에 있어서,

상기 선형 안테나는 구리로 이루어진 것을 특징으로 하는, 내장형 선형 안테나를 구비하는 대면적 처리용 유도 결합 플라즈마 소오스

5 5

삭제
6 6

삭제
7 7

제 1 항에 있어서,

상기 자석 보호관은 쿼츠로 이루어진 것을 특징으로 하는, 내장형 선형 안테나를 구비하는 대면적 처리용 유도 결합 플라즈마 소오스

8 8

제 1 항 또는 제 3 항 또는 제 4 항 또는 제 7 항에 있어서,

상기 자석은 N극과 S극이 교대로 배치된 것을 특징으로 하는 내장형 선형 안테나를 구비하는 대면적 처리용 유도 결합 플라즈마 소오스

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1 US20040060662 US 미국 FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2004060662 US 미국 DOCDBFAMILY
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