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복수의 트렌치(trench)들이 식각된 기판; 상기 복수의 트렌치들 각각의 둘레를 따라 형성되는 산화막; 상기 산화막 상에 상기 복수의 트렌치들을 매립하도록 배치되는 복수의 매몰형 탐지 전극들; 상기 기판의 전면에 형성되는 유전막; 상기 복수의 매몰형 탐지 전극들 각각의 위치에 기초하여 상기 유전막에 생성된 적어도 하나의 센싱 영역 상에 고정되어, 생체 물질을 센싱하는 반응 물질; 및 상기 복수의 매몰형 탐지 전극들을 가로질러서 상기 적어도 하나의 센싱 영역을 통과하도록 생성되는 적어도 하나의 유체관을 포함하고, 상기 적어도 하나의 유체관은 상기 복수의 매몰형 탐지 전극들과 평행한 적어도 하나의 부분-상기 복수의 매몰형 탐지 전극들과 평행한 적어도 하나의 부분은 상기 적어도 하나의 센싱 영역에 대응하는 상기 적어도 하나의 유체관의 부분 이전에 형성됨-을 포함하고, 상기 적어도 하나의 센싱 영역에 대응하는 상기 적어도 하나의 유체관의 부분은 상기 복수의 매몰형 탐지 전극들과 수직을 이루는, 생체 물질 감지 바이오 센서
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제1항에 있어서,상기 적어도 하나의 유체관은 상기 적어도 하나의 유체관에 유입되는 상기 생체 물질의 유입 속도를 조절하기 위한 적어도 하나의 굴절 부분을 포함하도록 생성되는 생체 물질 감지 바이오 센서
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제1항에 있어서,상기 적어도 하나의 센싱 영역은 상기 유전막에 복수 개가 포함되는 경우, 지그재그로 배치되는 생체 물질 감지 바이오 센서
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제1항에 있어서,상기 적어도 하나의 유체관은 복수 개가 포함되는 경우, 병렬 형태로 생성되는 생체 물질 감지 바이오 센서
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제1항에 있어서,상기 기판, 상기 복수의 매몰형 탐지 전극들 및 상기 기판과 상기 복수의 매몰형 탐지 전극들 사이에 개재된 상기 산화막은 상기 생체 물질과 상기 반응 물질 사이의 전기화학적 반응을 감지하기 위한, 기준 커패시턴스(capacitance)를 형성하고, 상기 기판, 상기 복수의 매몰형 탐지 전극들 및 상기 유전막 중 상기 복수의 매몰형 탐지 전극들과 맞닿는 상기 적어도 하나의 센싱 영역은 상기 전기화학적 반응을 감지하기 위한, 센싱 커패시턴스를 형성하는 생체 물질 감지 바이오 센서
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제1항에 있어서,상기 산화막은 또는 중 적어도 어느 하나로 형성되고, 상기 유전막은 , , , , , , , , , , , , 또는 중 적어도 어느 하나로 형성되는 생체 물질 감지 바이오 센서
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기판에 복수의 트렌치(trench)들을 식각하는 단계; 상기 복수의 트렌치들 각각의 둘레를 따라 산화막을 형성하는 단계; 상기 산화막 상에 상기 복수의 트렌치들을 매립하도록 복수의 매몰형 탐지 전극들을 배치하는 단계; 상기 기판의 전면에 유전막을 형성하는 단계; 상기 복수의 매몰형 탐지 전극들 각각의 위치에 기초하여 상기 유전막에 생성된 적어도 하나의 센싱 영역 상에 생체 물질을 센싱하는 반응 물질을 고정하는 단계; 및 상기 복수의 매몰형 탐지 전극들을 가로질러서 상기 적어도 하나의 센싱 영역을 통과하도록 적어도 하나의 유체관을 생성하는 단계를 포함하고,상기 적어도 하나의 유체관은 상기 복수의 매몰형 탐지 전극들과 평행한 적어도 하나의 부분-상기 복수의 매몰형 탐지 전극들과 평행한 적어도 하나의 부분은 상기 적어도 하나의 센싱 영역에 대응하는 상기 적어도 하나의 유체관의 부분 이전에 형성됨-을 포함하고, 상기 적어도 하나의 센싱 영역에 대응하는 상기 적어도 하나의 유체관의 부분은 상기 복수의 매몰형 탐지 전극들과 수직을 이루는, 생체 물질 감지 바이오 센서 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 적어도 하나의 유체관을 생성하는 단계는 상기 적어도 하나의 유체관에 유입되는 상기 생체 물질의 유입 속도를 조절하기 위한 적어도 하나의 굴절 부분을 포함하도록 상기 적어도 하나의 유체관을 생성하는 단계를 포함하는 생체 물질 감지 바이오 센서 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 반응 물질을 고정하는 단계는 상기 유전막에 상기 적어도 하나의 센싱 영역이 복수 개가 포함되는 경우, 상기 적어도 하나의 센싱 영역을 지그재그로 배치하는 단계를 포함하는 생체 물질 감지 바이오 센서 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 적어도 하나의 유체관을 생성하는 단계는 복수 개가 포함되는 경우, 상기 적어도 하나의 유체관을 병렬 형태로 생성하는 단계를 포함하는 생체 물질 감지 바이오 센서 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 반응 물질을 고정하는 단계는 상기 유전막의 전면에 상기 반응 물질을 고정하는 단계; 및 상기 적어도 하나의 센싱 영역의 위치에 기초하여 상기 유전막의 전면에 고정된 상기 반응 물질 중 적어도 일부를 제거하는 단계를 포함하는 생체 물질 감지 바이오 센서 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 적어도 하나의 유체관을 생성하는 단계는 상기 적어도 하나의 유체관이 음각으로 식각된 폴리머(polymer)층을 상기 유전막이 형성된 상기 기판에 부착하는 단계를 포함하는 생체 물질 감지 바이오 센서 제조 방법
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