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플라스틱 기판;
실리콘 질화물, 실리콘 산질화물, 또는 실리콘 산화물 박막 중에서 선택된 1종의 실리콘 박막; 및
친수성기를 갖는 자기조립박막이 순차적으로 적층된 구조를 갖는 생체물질 고정용 기판
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제1항에 있어서,
상기 플라스틱 기판은 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리실란, 폴리디메틸실록산, 폴리실라잔, 폴리아크릴레이트, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리에틸아크릴레이트, 폴리에틸메타크릴레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 사이클릭 올레핀 폴리머, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리이미드, 폴리스타이렌, 폴리아세탈, 폴리에테르에테르케톤, 폴리에스테르설폰, 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리비닐클로라이드, 폴리비닐리덴플로라이드, 퍼플루오로알킬 고분자, 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 1종을 포함하는 것인 생체물질 고정용 기판
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제1항에 있어서,
상기 실리콘 박막은 두께가 1∼100nm인 것인 생체물질 고정용 기판
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제1항에 있어서,
상기 친수성기는 수산기, 아민기, 알데하이드기, 카르복실기, 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 1종을 포함하는 것인 생체물질 고정용 기판
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제1항에 있어서,
상기 자기조립박막은 R1-(CH2)n-Si-(R2)3 (이때, R1=OH, NH2, COH, 또는 COOH이고, R2는 Cl 또는 OCmH2m+2의 알콕시(alkoxy)이고, n은 1 내지 6이고, m은 1 내지 6이다)로 표시되는 트리클로로실란 또는 트리알콕시실란인 것인 생체물질 고정용 기판
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제1항에 있어서,
상기 자기조립박막은 펜틸트리클로로시란(Phenethyltrichlorosilane: PETCS), 페닐트리클로로실란(Phenyltrichlorosilane: PTCS), 벤질트리클로로실란(Benzyltrichlorosilane: BZTCS), 토일트리클로로실란(Tolyltrichlorosilane: TTCS), 2-[(트리메톡시실일)에틸]-2-피리딘(2-[(trimethoxysilyl)ethl]-2-pyridine: PYRTMS)), 4-바이페닐일트리메톡시실란(4-biphenylyltrimethowysilane: BPTMS), 옥타데실트리클로로실란(Octadecyltrichlorosilane: OTS), 1-나프틸트리메톡시실란(1-Naphthyltrimehtoxysilane: NAPTMS), 1-[(트리메톡시실일)메틸]나프탈렌(1-[(trimethoxysilyl)methyl]naphthalene: MNATMS) 및 (9-메틸안트라세닐)트리메톡시실란{(9-methylanthracenyl)trimethoxysilane: MANTMS}으로 이루어진 군에서 선택된 1종을 포함하는 것인 생체물질 고정용 기판
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플라스틱 기판 상에 실리콘 질화물, 실리콘 산질화물, 또는 실리콘 산화물 박막 중에서 선택된 1종의 실리콘 박막을 형성하는 단계;
상기 실리콘 박막 표면의 수산기(-OH)의 밀도를 증가시키기 위해 산소 플라즈마 처리를 수행하는 단계; 및
상기 실리콘 박막 상에 친수성기를 갖는 자기조립박막을 형성하는 단계
를 포함하는 생체물질 고정용 기판의 제조방법
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제7항에 있어서,
상기 실리콘 박막의 형성은 스퍼터링, 이온빔 증착법, 화학적 증착법, 및 플라즈마 증착법을 포함하는 건식 증착법, 또는 졸-겔 코팅, 딥 코팅, 닥터 블레이드법, 스핀 코팅(spin coating), 또는 스프레이 코팅을 포함하는 습식 코팅법 중 하나의 방법으로 수행하는 것인 생체물질 고정용 기판의 제조방법
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제8항에 있어서,
상기 플라즈마 증착법은 플라스틱 기판 상에 Ar, He, Xe, Kr 또는 이들의 혼합 가스를 포함하는 불활성 가스를 이용하여 플라즈마 처리 공정을 수행하는 단계, 및 실리콘 함유 가스, NH3, 질소 함유 가스, 산소 함유 가스, 및 이들의 조합물로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 가스 혼합물로 기판 상에 100℃ 이하의 온도에서 실리콘 박막을 증착하는 것인 생체물질 고정용 기판의 제조방법
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10
제7항에 있어서,
상기 산소 플라즈마 처리는 20∼100℃에서 Ar, He, Xe, Kr의 불활성 가스를 이용하여 플라즈마를 발생한 다음, 0
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제8항에 있어서,
상기 자기조립박막은 수산기, 아민기, 알데하이드기, 카르복실기 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 1종의 친수성기를 포함하는 용액을 코팅 후 건조하여 제조하는 것인 생체물질 고정용 기판의 제조방법
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제1항의 생체물질 고정용 기판, 및
상기 기판에 고정된 생체물질을 포함하는 바이오칩
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제12항에 있어서,
상기 생체물질은 단백질, DNA, RNA, 항원, 항체 또는 효소인 것인 바이오칩
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