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ＬＣＤ 감광막 제거용 혼합가스 분사노즐

  • 기술번호 : KST2016000353
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 LCD감광막 제거용 혼합가스 분사노즐에 관한것으로 상세하게는 감광막제거용 가스 분사노즐에 있어서, 길이방향으로 일정 길이를 가지며, 외곽벽에서 일정 간격 내측으로 일정 깊이의 홈이 형성되고, 상기 홈의 중앙에 길이방향으로 일정높이의 요철부가 형성되어지고 중심에 길이방향으로 가스가 분사되는 분사홀이 형성되어지고, 상기 홈과 외측벽 간에 가스가 새어나가지 않도록 하는 패킹이 삽입되는 패킹홈이 형성되며, 상기 홈의 길이방향 양단에 홈까지 외측벽을 관통하는 배출구가 형성되는 분사노즐과; 상기 분사노즐의 상측에 결합되며, 상기 분사노즐에 가스를 주입하는 다수개의 주입노즐이 형성되어진 노즐덮개를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 LCD감광막 제거용 혼합가스 분사노즐에 관한것이다.분사노즐, 감광막제거, 가스, LCD기판, 반도체
Int. CL H01L 21/304 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/36(2013.01)
출원번호/일자 1020070029932 (2007.03.27)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0811068-0000 (2008.02.29)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080306) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.03.27)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 손영수 대한민국 대전광역시 유성구
2 이성휘 대한민국 대전 유성구
3 김병인 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 진용석 대한민국 대전광역시 서구 청사로 ***, 청사오피스텔 ***호 세빈 국제특허법률사무소 (둔산동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.03.27 수리 (Accepted) 1-1-2007-0240676-40
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.01.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.02.13 수리 (Accepted) 9-1-2008-0006496-94
4 등록결정서
Decision to grant		 2008.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0111532-74
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
1 1
LCD기판의 감광막제거용 가스 분사노즐에 있어서,길이방향으로 일정 길이를 가지며, 외곽벽에서 일정 간격 내측으로 일정 깊이의 홈(12)이 형성되고, 상기 홈(12)의 중앙에 길이방향으로 일정높이의 요철부(11)가 형성되어지고 중심에 길이방향으로 가스가 분사되는 분사홀(13)이 형성되어지고, 상기 홈(12)과 외측벽 간에 가스가 새어나가지 않도록 하는 패킹이 삽입되는 패킹홈(12)이 형성되며, 상기 홈(12)의 길이방향 양단에 홈(12)까지 외측벽을 관통하는 배출구(40)가 형성되는 분사노즐(10)과;상기 분사노즐(10)의 상측에 결합되며, 상기 분사노즐(10)에 가스를 주입하는 다수개의 주입노즐(60)이 형성되어진 노즐덮개(55)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 LCD감광막 제거용 혼합가스 분사노즐
2 2
제 1항에 있어서,상기 분사노즐(10)의 하측에 길이방향 양측으로 일정각도를 가지는 분사홈(20)이 형성 되어지고, 상기 분사홈(20)의 상측으로 분사홀(13)이 형성되어진 것을 특징으로 하는 LCD감광막 제거용 혼합가스 분사노즐
3 3
제 2항에 있어서,상기 분사홈(20)은 길이방향의 양측으로 곡선 또는 직선 형상으로 형성되어지는 것을 특징으로 하는 LCD감광막 제거용 혼합가스 분사노즐
4 4
제 1항에 있어서,상기 요철부(11)는 수증기가 흘러 홈(12)에 고이도록 라운딩진 것을 특징으로 하는 LCD감광막 제거용 혼합가스 분사노즐
5 5
제 1항에 있어서, 상기 홈(12)은 요철부(11)를 타고 흐르는 물방울이 고이게되며, 상기 홈(12)에 고인 물방울은 상기 분사노즐(10)의 길이방향 양측단에 형성된 배출구(40)를 통해 배출되는 것을 특징으로 하는 LCD감광막 제거용 혼합가스 분사노즐
6 6
제 1항에 있어서,상기 노즐덮개(55)는 대형의 판형태로 형성되어 다수개의 분사노즐(10)과 결합되어지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 LCD감광막 제거용 혼합가스 분사노즐
7 7
제 1항에 있어서,상기 분사노즐(10)은 테프론재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 LCD감광막 제거용 혼합가스 분사노즐
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