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기판 상에 수지를 전사하는 전사롤러를 사용하여 임프린트 리소그래피를 수행하기 위한 롤임프린트 장치에 있어서,상기 전사롤러는롤러지지대에 의해 지지되어 회전 운동하되 회전 중심에 안착홀이 관통 형성되는 투광성의 원통봉;상기 안착홀에 삽입된 채 상기 롤러지지대에 고정되어 상기 기판의 표면을 향해 광을 조사하는 광조사부;를 포함하여 구성되고,상기 원통봉의 외경에 따라 상기 기판의 이동 속도 또는 상기 원통봉의 회전속도가 조절되는 것을 특징으로 하는 롤임프린트 장치
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제1항에 있어서,상기 원통봉은 기판 상에 전사되는 수지의 패턴을 형성하도록 외주면에 가패턴부가 형성되는 것을 특징으로 하는 롤임프린트 장치
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제1항에 있어서,상기 전사롤러 또는 상기 기판의 상하좌우 이동을 선택적으로 수행하거나 상기 원통봉을 회전시키는 제1선형구동부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤임프린트 장치
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기판 상에 수지를 전사하여 임프린트 리소그래피를 수행하기 위한 롤임프린트 장치에 있어서,롤러지지대에 의해 지지되어 회전 운동하는 적어도 두 개의 회전롤러;상기 회전롤러를 상호 연결하도록 체결되는 투광성의 벨트;를 포함하되,상기 회전롤러 중 적어도 어느 하나의 롤러는상기 롤러지지대에 의해 지지되어 회전 운동하되 회전 중심에 안착홀이 관통 형성되는 투광성의 원통봉과, 상기 안착홀에 삽입된 채 상기 롤러지지대에 고정되어 상기 기판의 표면을 향해 광을 조사하는 광조사부를 포함하여 구성된 전사롤러이고,상기 원통봉의 외경에 따라 상기 기판의 이동 속도 또는 상기 원통봉의 회전속도가 조절되는 것을 특징으로 하는 롤임프린트 장치
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제4항에 있어서,상기 벨트는 기판 상에 전사되는 수지의 패턴을 형성하도록 표면에 가패턴부가 형성되는 것을 특징으로 하는 롤임프린트 장치
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제4항에 있어서,선형지지대에 의해 지지되어 상기 회전롤러 또는 상기 기판의 상하좌우 이동을 선택적으로 수행하거나, 상기 회전롤러 중 적어도 하나의 롤러를 회전시키는 제1선형구동부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤임프린트 장치
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 전사롤러와 함께 이동되고, 상기 전사롤러의 일측에 설치되어 수지를 공급하는 노즐;상기 전사롤러와 함께 이동되고, 상기 노즐에서 공급되는 수지량을 조절하는 블레이드;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤임프린트 장치
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 광조사부는상기 수지를 경화시키기 위한 광을 발생하는 발광체;상기 롤러지지대에 고정된 채 상기 발광체가 삽입 안착되는 수용공간을 형성하고, 상기 수지가 전사되는 기판을 향해 광슬릿이 축방향을 따라 개구되는 광안내부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 장치
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제8항에 있어서,상기 발광체는 자외선램프와 LED램프와 레이저 중 어느 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 롤임프린트 장치
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제8항에 있어서,상기 원통봉과 상기 광안내부 사이에는 베어링이 설치되는 것을 특징으로 하는 롤임프린트 장치
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판의 하부에 설치되어 회전 운동하는 구동롤러;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤임프린트 장치
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제12항에 있어서,상기 구동롤러의 상하좌우 이동을 선택적으로 수행하거나 상기 구동롤러를 회전시키는 제2선형구동부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤임프린트 장치
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