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임프린트 리소그래피 공정에서 기판(2) 또는 레지스트가 경화되도록 상기 기판(2) 하부에 구비되어 열을 가하거나 냉각시키는 기판용 온도조절 플레이트(1)에 있어서,너비방향으로 홀(hole)이 연장 형성되어 내부에 열교환매체가 유동되며, 길이방향으로 일정거리 서로 이격되는 제1유동관(110) 및 제2유동관(120);상기 제1유동관(110) 및 제2유동관(120)과 양측 단부가 연통되어 열교환매체 유로를 형성하는 복수개의 제3유동관(130); 상기 제1유동관(110) 또는 제2유동관(120)의 단부에 형성되어 열교환매체가 유입되는 입구파이프(210) 및 배출되는 출구파이프(220);를 포함하여 형성되며,상기 제1유동관(110), 제2유동관(120) 및 제3유동관(130)의 일측 또는 양측 단부가 용접으로 밀봉된 다음, 상기 기판용 온도조절 플레이트(1)의 너비방향 또는 길이방향으로 일측면 또는 양측면에서 편평하게 연마 가공하는 것을 특징으로 하는 기판용 온도조절 플레이트
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제 1항에 있어서,상기 기판용 온도조절 플레이트(1)는상면에 기판(2)이 고정되도록 상기 제1유동관(110), 제2유동관(120) 및 제3유동관(130)보다 상측에 공기가 배출되는 관 형태의 진공채널(150)이 형성되며,상기 진공채널(150)의 단부에 공기가 흡입 또는 배출되는 진공파이프(230)가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판용 온도조절 플레이트
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제 2항에 있어서,상기 기판용 온도조절 플레이트(1)는상기 제3유동관(130)의 일측 또는 양측 단부가 위치한 측면이 내측으로 일정깊이 파여 용접홈(300)이 형성되되,상기 용접홈(300)이 너비방향으로 연장 형성되는 것을 특징으로 하는 기판용 온도조절 플레이트
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제 2항 및 3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1유동관(110), 제2유동관(120) 및 제3유동관(130)은상기 기판용 온도조절 플레이트(1)의 너비방향 또는 길이방향으로 일측면 또는 양측면에 관통되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 기판용 온도조절 플레이트
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제 4항에 있어서,상기 기판용 온도조절 플레이트(1)는상기 제1유동관(110) 및 제2유동관(120) 사이에 너비방향으로 연장되어 형성되며, 길이방향으로 이격되는 복수개의 서브유동관(140)을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판용 온도조절 플레이트
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제 5항에 있어서,상기 서브유동관(140)은상기 기판용 온도조절 플레이트(1)의 너비방향으로 일측면 또는 양측면에 관통되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 기판용 온도조절 플레이트
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제 4항에 있어서,상기 기판용 온도조절 플레이트(1)는상기 입구파이프(210) 및 출구파이프(220)가 상기 제1유동관(110) 또는 제2유동관(120)과 경사져서 형성되는 것을 특징으로 하는 기판용 온도조절 플레이트
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제 4항에 있어서,상기 기판용 온도조절 플레이트(1)는상기 입구파이프(210), 출구파이프(220) 및 진공파이프(230) 중 어느 하나 이상이 하측방향으로 돌출되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 기판용 온도조절 플레이트
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제 8항에 있어서,상기 진공채널(150)은상기 제1유동관(110), 제2유동관(120) 및 제3유동관(130)의 사이 공간에 높이방향으로 관통되어 형성되는 것을 특징으로 하는 기판용 온도조절 플레이트
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제 4항에 있어서,상기 기판용 온도조절 플레이트(1)는상기 입구파이프(210) 및 출구파이프(220)가 상기 제1유동관(110) 또는 제2유동관(120)과 동일 평면상에서 경사져서 형성되는 것을 특징으로 하는 기판용 온도조절 플레이트
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