맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

회전 가능한 각형 롤 스탬프를 이용한 연속 나노 임프린트 장치

  • 기술번호 : KST2016004220
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 목적은, 나노 임프린트 리소그래피에 사용되는 장치로서, 평판 기판 및 유연 기판 모두에 적용이 가능하며 안정적인 패턴의 교체와 균일한 패턴 전사가 가능하게 하는, 회전 가능한 각형 롤 스탬프를 이용한 연속 나노 임프린트 장치를 제공함에 있다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0273(2013.01) H01L 21/0273(2013.01) H01L 21/0273(2013.01)
출원번호/일자 1020120078581 (2012.07.19)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1238628-0000 (2013.02.23)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20130304) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.07.19)
심사청구항수 11

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이재종 대한민국 대전광역시 유성구
2 임형준 대한민국 대전광역시 유성구
3 최기봉 대한민국 대전광역시 유성구
4 김기홍 대한민국 대전광역시 서구
5 이성휘 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.07.19 수리 (Accepted) 1-1-2012-0576611-92
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2012.08.10 수리 (Accepted) 1-1-2012-0640062-61
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0510280-94
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.10.29 수리 (Accepted) 1-1-2012-0878747-97
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.10.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0878737-30
6 등록결정서
Decision to grant		 2012.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0730421-39
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
임프린트 리소그래피(imprint lithography)에 사용되는 임프린트 장치(100)로서,중심축에 회전 수단(115)이 구비되어 회전 가능하게 형성되며, 중심축에 수직한 방향으로의 단면이 다각형을 이루는 형상으로 형성되어 각 측면에 스탬프 패턴이 형성되는 각형 롤 스탬프(110);상기 각형 롤 스탬프(110)의 수직 방향 위치를 변경하는 수직 이동 수단(120);상기 각형 롤 스탬프(110)의 수평 방향 위치를 변경하는 수평 이동 수단(130);상기 각형 롤 스탬프(110) 하부에 구비되어 상기 각형 롤 스탬프(110)의 수직 이동에 의하여 패턴이 임프린트되도록 레지스트(resist)가 도포된 기판(500)이 배치되며, 상기 기판(500)을 수평 방향으로 이송하는 기판 이송 수단(140);을 포함하여 이루어지며,상기 각형 롤 스탬프(110)는 상기 기판(500)과 접촉 시 또는 분리 시에 수직 운동, 수평 운동 및 회전 운동이 동시에 일어나도록 형성되어, 접촉 과정 또는 분리 과정에서 상기 각형 롤 스탬프(110)의 측면 및 상기 기판(500) 상면 간에 점진적으로 접촉 면적이 증가하거나 감소하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 회전 가능한 각형 롤 스탬프를 이용한 연속 나노 임프린트 장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 임프린트 장치(100)는상기 수직 이동 수단(120)에 구비되며, 상기 각형 롤 스탬프(110) 및 상기 기판(500)의 접촉 시 완충 역할을 하는 가압부(125);를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 회전 가능한 각형 롤 스탬프를 이용한 연속 나노 임프린트 장치
3 3
제 2항에 있어서, 상기 가압부(125)는상기 각형 롤 스탬프(110)의 중심축에 연결 구비되는 연결대(125a), 상기 연결대(125a)의 상부에 구비되며 하부에 걸림 구조가 형성되는 하우징(125b), 상기 연결대(125a)와 연결되며 상기 하우징(125b) 내부에 상기 하우징(125b)에 의하여 안내되어 수직 방향으로 이동 가능하게 구비되되 상기 하우징(125b)의 걸림 구조에 걸리도록 형성되는 지지대(125c), 상기 하우징(125b) 내측 상면 및 상기 지지대(125c) 상면 사이에 개재 구비되는 적어도 하나 이상의 제1탄성체(125d), 상기 지지대(125c) 하면 및 상기 하우징(125b) 걸림 구조 사이에 개재 구비되는 적어도 하나 이상의 제2탄성체(125e)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 회전 가능한 각형 롤 스탬프를 이용한 연속 나노 임프린트 장치
4 4
제 1항에 있어서, 상기 임프린트 장치(100)는상기 수직 이동 수단(120)은 상기 각형 롤 스탬프(110)의 중심축에 연결 구비되고, 상기 수평 이동 수단(130)은 상기 수직 이동 수단(130)에 연결 구비되는 것을 특징으로 하는 회전 가능한 각형 롤 스탬프를 이용한 연속 나노 임프린트 장치
5 5
제 1항에 있어서, 상기 임프린트 장치(100)는상기 수직 이동 수단(120)에 구비되며, 상기 각형 롤 스탬프(110)에 의하여 상기 기판(500)에 가해지는 하중을 측정하는 압력 센서;를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 회전 가능한 각형 롤 스탬프를 이용한 연속 나노 임프린트 장치
6 6
제 1항에 있어서, 상기 임프린트 장치(100)는상기 기판 이송 수단(140) 하부에 구비되어 상기 각형 롤 스탬프(110)에 의하여 패턴이 임프린트된 상기 기판(500) 상의 레지스트를 경화하는 경화 수단(150);을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 회전 가능한 각형 롤 스탬프를 이용한 연속 나노 임프린트 장치
7 7
제 6항에 있어서, 상기 경화 수단(150)은가열을 수행하는 가열 장치(151), 냉각을 수행하는 냉각 장치(152), 자외선을 조사하는 자외선 조사 장치(153) 중 선택되는 적어도 하나의 장치를 포함하여 이루어지며, 상기 장치(151)(152)(153)는 상기 각형 롤 스탬프(110)에 상응하는 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 회전 가능한 각형 롤 스탬프를 이용한 연속 나노 임프린트 장치
8 8
제 7항에 있어서, 상기 경화 수단(150)은상기 장치(151)(152)(153)가 복수 개일 경우, 상기 장치(151)(152)(153)들 중 하나를 상기 각형 롤 스탬프(110)에 상응하는 위치에 선택적으로 교체 배치하는 교체 수단(155)을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 회전 가능한 각형 롤 스탬프를 이용한 연속 나노 임프린트 장치
9 9
제 8항에 있어서, 상기 교체 수단(155)은회전 가능한 평판 형태로 이루어져, 상기 장치(151)(152)(153)들이 상기 평판 상에 방사상으로 배치되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 회전 가능한 각형 롤 스탬프를 이용한 연속 나노 임프린트 장치
10 10
제 1항에 있어서, 상기 기판 이송 수단(140)은상기 기판(500)이 웨이퍼 형상을 포함하는 평판 기판일 경우, 컨베이어 벨트 형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 회전 가능한 각형 롤 스탬프를 이용한 연속 나노 임프린트 장치
11 11
제 1항에 있어서, 상기 기판 이송 수단(140)은상기 기판(500)이 필름 형상의 유연 기판일 경우, 상기 기판(500)이 권취되거나 상기 기판(500)에 접촉되어 회전하여 상기 기판(500)의 이송을 안내하는 복수 개의 롤을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 회전 가능한 각형 롤 스탬프를 이용한 연속 나노 임프린트 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 지경부-국가연구개발사업(II) 폭 1m급 광학필름용 원통형 나노패터닝 공정장비 개발 (1/5)