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연소 후 수처리형 스크러버(BURN-WET TYPE SCRUBBER)

  • 기술번호 : KST2016005672
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 목적은 반도체 제조 공정에서 발생되는 삼불화질소(NF3)와 같은 지구온난화 물질을 효과적으로 제거하는 연소 후 수처리형 스크러버를 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 연소 후 수처리형 스크러버는, C와 H를 포함하는 연료와 산화제를 공급하여 N과 F를 포함하는 대상물질을 연소시켜 HF, H2O와 N2로 전환하는 제1하우징, 및 상기 산화제의 일부와 상기 연료의 일부로 플라즈마를 발생시켜 연료를 개질하여 H2를 생성하고, 상기 연소과정에서 발생하는 NOx와 상기 H2를 선택적 비촉매 환원(SNCR)으로 반응시켜 NOx를 제거하는 개질부를 포함하고, 상기 제1하우징은, 대상물질을 공급하는 내부 통로, 및 상기 내부 통로의 일측에서 상기 대상물질을 연소시켜 제1화염을 형성하도록 연료와 산화제를 공급하는 연료 통로와 산화제 통로를 구비한다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/302 (2006.01)
CPC H01L 21/302(2013.01) H01L 21/302(2013.01)
출원번호/일자 1020140087452 (2014.07.11)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1607641-0000 (2016.03.24)
공개번호/일자 10-2016-0007171 (2016.01.20) 문서열기
공고번호/일자 (20160330) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.07.11)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이대훈 대한민국 대전광역시 유성구
2 송영훈 대한민국 대전광역시 유성구
3 김관태 대한민국 대전광역시 서구
4 변성현 대한민국 서울특별시 강남구
5 조성권 대한민국 세종특별자치시 갈매로 ***,

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2014-0653830-93
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.05.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.07.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0043692-80
4 등록결정서
Decision to grant
2016.01.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0004645-13
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
1 1
C와 H를 포함하는 연료와 산화제를 공급하여 N과 F를 포함하는 대상물질을 연소시켜 HF, H2O와 N2로 전환하는 제1하우징; 및상기 산화제의 일부와 상기 연료의 일부로 플라즈마를 발생시켜 연료를 개질하여 H2를 생성하고, 상기 연소과정에서 발생하는 NOx와 상기 H2를 선택적 비촉매 환원(SNCR) 반응으로 작용시켜 NOx를 제거하는 개질부를 포함하고,상기 제1하우징은,대상물질을 공급하는 내부 통로, 및상기 내부 통로의 일측에서 상기 대상물질을 연소시켜 제1화염을 형성하도록 연료와 산화제를 공급하는 연료 통로와 산화제 통로를 구비하는 연소 후 수처리형 스크러버
2 2
제1항에 있어서,상기 개질부는상기 제1하우징의 내부에 구비되는 연소 후 수처리형 스크러버
3 3
제2항에 있어서,상기 내부 통로는,상기 제1하우징에서 중심에 길이 방향으로 형성되고,상기 연료통로와 상기 산화제 통로는상기 내부 통로의 외측에 서로 나란하게 길이 방향으로 형성되는 연소 후 수처리형 스크러버
4 4
제3항에 있어서,상기 내부 통로는 원통으로 형성되고,상기 연료 통로는 원통 둘레를 따라 이격되어 복수로 배치되며,상기 산화제 통로는 상기 연료 통로의 일측에서 원통 둘레를 따라 이격되어 복수로 배치되는 연소 후 수처리형 스크러버
5 5
제4항에 있어서,상기 연료 통로와 상기 산화제 통로는 원통 둘레를 따라 직경 방향으로 서로 어긋나게 배치되는 연소 후 수처리형 스크러버
6 6
제5항에 있어서,상기 연료 통로는 상기 제1하우징의 직경 방향 내측에 배치되고,상기 산화제 통로는 상기 제1하우징의 직경 방향에서 상기 연료 통로의 외측에 배치되는 연소 후 수처리형 스크러버
7 7
제6항에 있어서,복수의 연료 통로들은연료가 공급되는 일측에 구비되는 제1서지 챔버에 연결되는 연소 후 수처리형 스크러버
8 8
제6항에 있어서,복수의 산화제 통로들은산화제가 공급되는 일측에 구비되는 제2서지 챔버에 연결되는 연소 후 수처리형 스크러버
9 9
제3항에 있어서,상기 개질부는,상기 내부 통로에 수용되어 상기 내부 통로의 선단으로 플라즈마에 의하여 개질되어 H2와 CO를 포함하는 제2화염을 분출하는 연소 후 수처리형 스크러버
10 10
제9항에 있어서,상기 개질부는,상기 제1하우징의 선단보다 설정된 길이(ΔL)만큼 더 돌출되어 상기 제1화염 속으로 상기 제2화염을 분출하는 연소 후 수처리형 스크러버
11 11
제9항에 있어서,상기 개질부는회전 유동 아크로 플라즈마를 발생시키도록 구성되는 연소 후 수처리형 스크러버
12 12
제11항에 있어서,상기 개질부는,전기적으로 접지되고 상기 제2화염을 분출하는 제2하우징, 및상기 제2하우징에 내장되고 상기 제2하우징의 내면과의 사이에 방전갭을 형성하여 전압이 인가되며, 상기 방전갭에서 회전 유동 아크로 플라즈마를 발생시키는 전극을 포함하는 연소 후 수처리형 스크러버
13 13
제12항에 있어서상기 제2하우징은,상기 전극을 수용하는 측에서는 원통 관체로 형성되고,상기 원통 관체에서 단부까지는 직경이 좁아지는 테이퍼 관체로 형성되는 연소 후 수처리형 스크러버
14 14
제1항에 있어서,상기 개질부는상기 제1하우징의 외부에 구비되고,상기 제1하우징의 중심에 길이 방향으로 형성되어 대상물질을 공급하는 내부 통로에 설치되는 개질가스관에 연결되며,상기 개질가스관은상기 내부 통로의 선단으로 개질가스를 공급하는 연소 후 수처리형 스크러버
15 15
제1항에 있어서,상기 제1하우징의 외부에 구비되는 제3하우징을 더 포함하고,상기 개질부는상기 제3하우징의 외부에 구비되고,상기 제3하우징을 관통하여 상기 제1하우징의 일측에 개질가스를 공급하는 개질가스관에 연결되며,상기 개질가스관은상기 제1하우징의 일측에 개질가스를 공급하는 연소 후 수처리형 스크러버
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 기계연구원 산업기술연구회-융합연구사업 저탄소/저공해를 위한 나노촉매-플라즈마 하이브리드 기술개발 (4/5)