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40 ~ 80 nm의 입도 분포를 가지는 제1 연마 입자가 분산된 제1 용액; 및 10 nm 이하의 입도 분포를 가지는 제2 연마 입자가 분산된 제2 용액;을 포함하는 화학적 기계적 연마용 나노 세리아 슬러리 조성물로서,상기 슬러리 조성물은 상기 제1 용액의 총 부피 대비 3 부피% 이하의 제2 용액을 포함하는,화학적 기계적 연마용 나노 세리아 슬러리 조성물
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제1항에 있어서,상기 제1 연마 입자는 45 ~ 65 nm의 입도 분포를 가지는 화학적 기계적 연마용 나노 세리아 슬러리 조성물
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제1항에 있어서,상기 슬러리 조성물의 총 부피 대비 0
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제1항에 있어서,상기 슬러리 조성물의 총 부피 대비 0
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제1항에 있어서,상기 제1 연마 입자 및 제2 연마 입자는 액상 합성법에 의해 제조된 화학적 기계적 연마용 나노 세리아 슬러리 조성물
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제1항에 있어서,상기 제1 연마 입자 및 제2 연마 입자는 구형, 6면체 및 나노 와이어로부터 선택되는 적어도 하나의 형상을 가지는 화학적 기계적 연마용 나노 세리아 슬러리 조성물
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(a) 40 ~ 80 nm의 입도 분포를 가지는 제1 연마 입자 및 10 nm 이하의 입도 분포를 가지는 제2 연마 입자를 각각 용매 중에 첨가하여 제1 용액 및 제2 용액을 생성하는 단계;(b) 상기 제1 용액 및 제2 용액 중의 연마 입자를 초음파 분산시키는 단계; 및(c) 상기 용액 중의 연마 입자가 초음파 분산된 제1 용액 및 제2 용액을 혼합하는 단계;를 포함하되,상기 단계 (c)는 상기 슬러리 조성물이 상기 제1 용액의 총 부피 대비 3 부피% 이하의 제2 용액을 포함하도록 상기 제1 용액 및 제2 용액을 혼합하는 단계인,화학적 기계적 연마용 나노 세리아 슬러리 조성물의 제조방법
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제10항에 있어서,상기 단계 (c)는 상기 슬러리 조성물의 총 부피 대비 0
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제10항에 있어서,상기 제1 연마 입자 및 제2 연마 입자는 액상 합성법에 의해 제조된 화학적 기계적 연마용 나노 세리아 슬러리 조성물의 제조방법
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제10항에 있어서,상기 제1 연마 입자 및 제2 연마 입자는 구형, 6면체 및 나노 와이어로부터 선택되는 적어도 하나의 형상을 가지는 화학적 기계적 연마용 나노 세리아 슬러리 조성물의 제조방법
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제10항에 있어서,상기 단계 (c)는 상기 슬러리 조성물의 총 부피 대비 0
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