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개구부가 포함된 템플릿을 이용한 금속나노패턴 제조방법(METHOD FOR FABRICATING A METALLIC NANO-PATTERN USING A TEMPLATE HAVING AN OPENING)

  • 기술번호 : KST2016007715
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 금속나노패턴 제조방법에서 기판의 상면에 금속층을 형성한다. 개구부가 형성된 템플릿(template)을 상기 기판 상에 고온, 고압으로 합착시킨다. 상기 템플릿이 상기 기판의 금속층에 고온, 고압으로 합착함에 따라, 상기 금속층의 금속을 클러스터링(clustering)시킨다. 상기 개구부에 대응되는 위치의 금속이 클러스터링되며 상기 기판 상에 잔류하여, 금속패턴을 형성한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020140119083 (2014.09.05)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0029480 (2016.03.15) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.09.05)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최준혁 대한민국 대전광역시 서구
2 이지혜 대한민국 대전광역시 유성구
3 정주연 대한민국 대전광역시 유성구
4 정준호 대한민국 대전광역시 서구
5 전소희 대한민국 서울특별시 서초구
6 성상근 대한민국 대전광역시 유성구
7 이응숙 대한민국 경상남도 창원시 마산회원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김민태 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 **세기특허법률사무소 (역삼동, 세일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.09.05 수리 (Accepted) 1-1-2014-0854481-65
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2014.12.17 수리 (Accepted) 1-1-2014-1227616-26
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.01.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2015-0018237-43
5 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2015.08.05 수리 (Accepted) 1-1-2015-0759047-46
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.03.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0176978-45
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.05.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0437362-95
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2016-0437349-01
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.09.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0690522-63
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2016.10.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-1036620-54
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.10.25 수리 (Accepted) 1-1-2016-1036621-00
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2016.11.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0826664-38
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판의 상면에 금속층을 형성하는 단계;템플릿 상에 접착성 금속을 포함하는 접착층을 형성하는 단계;개구부가 형성된 템플릿(template)을 상기 기판의 상면에 열과 압력을 인가하여 합착시키는 단계;상기 템플릿이 상기 기판의 금속층 상면에 접촉한 상태로 합착함에 따라, 상기 금속층의 금속을 클러스터링(clustering)시키는 단계; 및상기 개구부에 대응되는 위치의 금속이 클러스터링되며 상기 기판 상에 잔류하여, 금속패턴을 형성하는 단계를 포함하는 금속나노패턴 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 기판의 상면에 금속층을 형성하는 단계 이전에, 상기 기판의 상면에 점착방지 처리를 수행하는 것을 특징으로 하는 금속나노패턴 제조방법
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서, 상기 금속을 클러스터링시키는 단계에서, 상기 금속층은 상기 개구부에 대응되어 클러스터링되는 제1 클러스터링 패턴과 상기 개구부 사이에 위치한 컬럼부에 대응되어 클러스터링되는 제2 클러스터링 패턴으로 분리되는 것을 특징으로 하는 금속나노패턴 제조방법
5 5
제4항에 있어서, 상기 금속패턴을 형성하는 단계에서, 상기 템플릿은 상기 기판으로부터 이형되며, 상기 제2 클러스터링 패턴은 상기 템플릿과 함께 상기 기판으로부터 이형되고, 상기 제1 클러스터링 패턴은 상기 기판 상에 잔류하여 금속패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 금속나노패턴 제조방법
6 6
기판의 상면에 금속층을 형성하는 단계;템플릿을 끝단이 곡면 모서리를 갖는 컬럼부와 상기 컬럼부 사이에 형성된 개구부를 포함하도록 형성하는 단계; 상기 개구부가 형성된 템플릿(template)을 상기 기판의 상면에 열과 압력을 인가하여 합착시키는 단계;상기 템플릿이 상기 기판의 금속층 상면에 접촉한 상태로 합착함에 따라, 상기 금속층의 금속을 클러스터링(clustering)시키는 단계; 및상기 개구부에 대응되는 위치의 금속이 클러스터링되며 상기 기판 상에 잔류하여, 금속패턴을 형성하는 단계를 포함하는 금속나노패턴 제조방법
7 7
제6항에 있어서, 상기 금속을 클러스터링시키는 단계에서, 상기 템플릿의 컬럼부의 끝단을 상기 기판에 접촉시키는 것을 특징으로 하는 금속나노패턴 제조방법
8 8
제7항에 있어서, 상기 금속패턴을 형성한 이후, 상기 개구부로 제어물질을 충진시키는 단계를 더 포함하는 금속나노패턴 제조방법
9 9
제8항에 있어서, 상기 제어물질은 전기장의 인가에 따라 제어되는 전기장 제어물질인 것을 특징으로 하는 금속나노패턴 제조방법
10 10
제8항에 있어서, 상기 개구부는 상기 템플릿을 관통하는 개구홀(hole)인 것을 특징으로 하는 금속나노패턴 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 기계연구원 미래부-국가연구개발사업(III) 극한물성시스템 제조 플랫폼기술 (1/2)
2 교육과학기술부 기계연구원 미래부-국가연구개발사업(III) 플라즈모닉스 융합 나노공정 및 나노구조체 응용기술 개발 (4/5)