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액체방착설비를 구비한 진공증착장치(Vacuum deposition apparatus with anti-deposition facilities using ionic liquids)
- 기술번호 : KST2016007763
- 담당센터 :
- 전화번호 :
| 요약 | 이 발명은 화학기상증착법 또는 물리기상증착법을 이용하여 챔버 내에서 증착재료의 박막을 기판에 형성하는 진공증착장치에 관한 것으로서, 상기 챔버의 내벽 또는 방착판의 표면을 따라 이온성 액체를 유동시켜 상기 챔버의 내벽 또는 방착판의 표면에 액체 실드층을 형성하도록 이온성 액체를 분사하는 분사수단과, 상기 액체 실드층의 이온성 액체에 포집되어 잔류하는 증착재료를 함유하는 혼합액체를 상기 챔버에서 수집하는 수집수단을 포함한다. 이 발명은 챔버 내의 방착판을 유동하는 이온성 액체로 대체하거나 방착판을 따라 이온성 액체를 유동시킴으로써, 증착 공정시 증착물질이 진공챔버 내벽에 증착되는 것을 방지하고, 이온성 액체에 흡착 또는 포집된 증착물질을 유동시켜 회수함으로써 챔버 내부가 오염되는 것을 방지하고 이를 통해 증착 공정의 중단 없이 연속적으로 공정을 수행함으로써 증착장치의 가동율을 높일 수 있는 장점이 있다. |
|---|---|
| Int. CL | C23C 16/44 (2006.01.01) C23C 14/24 (2006.01.01) C23C 16/06 (2006.01.01) C23C 16/40 (2006.01.01) C23C 14/08 (2006.01.01) C23C 14/12 (2006.01.01) H01L 21/20 (2006.01.01) |
| CPC | C23C 16/4401(2013.01) C23C 16/4401(2013.01) C23C 16/4401(2013.01) C23C 16/4401(2013.01) C23C 16/4401(2013.01) C23C 16/4401(2013.01) C23C 16/4401(2013.01) C23C 16/4401(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020150125491 (2015.09.04) |
| 출원인 | (주)일솔레드 |
| 등록번호/일자 | |
| 공개번호/일자 | 10-2016-0030054 (2016.03.16) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 |
대한민국 | 1020140133627 | 2014.10.04
대한민국 | 1020140119262 | 2014.09.05 |
| 법적상태 | 취하 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | N |
| 심사청구항수 | 8 |