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끝단이 날카로운 탄소나노섬유 및 팔라듐 촉매를 이용한 탄소나노섬유의 성장방법(Carbon nanofibers with sharp tip structure and carbon nanofibers growth method using of palladium catalyst)

  • 기술번호 : KST2016008975
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 (S1) 실리콘 기판 상에 알루미나층을 증착하는 단계; (S2) 상기 알루미나층 상에 팔라듐을 증착하여 팔라듐 촉매층을 형성하는 단계; 및 (S3) 상기 팔라듐 촉매층 상에 화학기상증착(chemical vapor deposition, CVD)법으로 탄소나노섬유를 성장시키는 단계;를 포함하는 탄소나노섬유의 성장방법 및 알루미나층이 증착된 실리콘 기판 상에서 수직 성장된 탄소나노섬유로서, 끝단의 곡률반경은 5 nm 이하이고, 지름은 50 nm 이하이며, 성장길이는 1 mm 이상이고, 성장길이와 지름의 종횡비는 50,000 이상인 것을 특징으로 하는 탄소나노섬유에 관한 것이다.
Int. CL C30B 29/36 (2006.01) C30B 25/02 (2006.01)
CPC C30B 25/02(2013.01) C30B 25/02(2013.01) C30B 25/02(2013.01) C30B 25/02(2013.01)
출원번호/일자 1020140136903 (2014.10.10)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1626936-0000 (2016.05.27)
공개번호/일자 10-2016-0042676 (2016.04.20) 문서열기
공고번호/일자 (20160602) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.10.10)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김명종 대한민국 전라북도 완주군
2 강정호 대한민국 전라북도 완주군
3 이동수 대한민국 전라북도 완주군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인필앤온지 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.10.10 수리 (Accepted) 1-1-2014-0967279-65
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.04.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0027018-62
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.02.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0129991-48
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.04.18 수리 (Accepted) 1-1-2016-0370582-28
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.04.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0370602-54
7 등록결정서
Decision to grant
2016.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0364029-52
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번호 청구항
1 1
(S1) 실리콘 기판 상에 알루미나층을 증착하는 단계;(S2) 상기 알루미나층 상에 팔라듐을 증착하여 팔라듐 촉매층을 형성하는 단계; 및(S3) 상기 팔라듐 촉매층 상에 화학기상증착(chemical vapor deposition, CVD)법으로 탄소나노섬유를 성장시키는 단계;를 포함하고,상기 (S3) 단계에서, 상기 탄소나노섬유는 바닥 성장(base growth)의 형태를 보이며,끝단의 곡률반경은 5 nm 이하이고, 지름은 50 nm 이하이며, 성장길이는 1 mm 이상이고, 성장길이와 지름의 종횡비는 50,000 이상인 탄소나노섬유의 성장방법
2 2
제1항에 있어서,상기 알루미나층은, 5 nm 이상의 두께로 증착되는 것을 특징으로 하는 탄소나노섬유의 성장방법
3 3
제1항에 있어서,상기 팔라듐 촉매층은, 0
4 4
제1항에 있어서,상기 (S2) 단계와 상기 (S3) 단계 사이에 수행되며, 상기 팔라듐 촉매층 상에 형성된 불순물을 제거하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노섬유의 성장방법
5 5
제1항에 있어서,상기 (S2) 단계와 상기 (S3) 단계 사이에 수행되며, 상기 증착된 팔라듐을 입자화하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노섬유의 성장방법
6 6
제5항에 있어서,상기 증착된 팔라듐을 입자화하는 단계는, 상기 증착된 팔라듐에 수소 가스 및 아르곤 가스를 혼합 및 공급하여, 진공 내지 상압의 상태에서 500 내지 800 ℃의 온도로 가열하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노섬유의 성장방법
7 7
제1항에 있어서,상기 (S3) 단계는, 상기 증착된 팔라듐에 탄소소스, 수소 가스 및 아르곤 가스를 혼합 및 공급하여, 진공 내지 상압의 상태에서 수행되는 것을 특징으로 하는 탄소나노섬유의 성장방법
8 8
제7항에 있어서,상기 탄소소스는, 에틸렌 가스, 메탄 가스, 아세틸렌 가스, 벤젠, 아세톤 및 알코올로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나 또는 이들 중 2종 이상의 혼합물인 것을 특징으로 하는 탄소나노섬유의 성장방법
9 9
제7항에 있어서,상기 (S3) 단계는, 600 내지 900 ℃의 온도로 가열된 상태에서 수행되는 것을 특징으로 하는 탄소나노섬유의 성장방법
10 10
제9항에 있어서,상기 가열은, 유도 가열(inductive heating), 마이크로웨이브 가열(microwave heating), 저항 가열(resistance heating) 및 레이저 가열(laser heating) 중에서 선택되는 어느 하나에 의해 행하여지는 것을 특징으로 하는 탄소나노섬유의 성장방법
11 11
알루미나층이 증착된 실리콘 기판 상에서 바닥 성장(base growth)의 형태로 수직 성장된 탄소나노섬유로서,끝단의 곡률반경은 5 nm 이하이고, 지름은 50 nm 이하이며, 성장길이는 1 mm 이상이고, 성장길이와 지름의 종횡비는 50,000 이상인 것을 특징으로 하는 탄소나노섬유
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1 US2016102420 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US9970130 US 미국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 전북대학교 신기술융합형성장동력사업 판상 나노입자를 이용한 물리적 수소차단기술개발(2N39260)
2 산업통상자원부 (주)상보 미래산업선도기술개발사업 그래핀 응용 하이배리어 복합필름 기술개발(2MR2330)