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고분자 절연체와 나노 플로팅 게이트를 이용한 비휘발성 유기 메모리 장치 및 그 제조방법(NON-VOLATILE ORGANIC MEMORY DEVICE USING POLYMER ELECTRET AND NANO FLOATING GATE, AND MANUFACTURING METHOD THEREOF)

  • 기술번호 : KST2016009425
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 유기전계효과 트랜지스터 기반 비휘발성 메모리 장치에 있어서, 유기물 반도체층 및 게이트 절연층을 포함하며, 상기 유기물 반도체층 및 게이트 절연층 사이에는 고분자 전하 저장층과 나노 입자 플로팅 게이트층의 이중층을 더 포함하는 비휘발성 유기 메모리 장치 및 그 제조방법이 제공된다.본 발명에 따르면, 신뢰성이 높고, 데이터 소거 및 저장 능력이 탁월하며, 고집적도의 비휘발성 메모리 소자를 제공할 수 있으며, 유연한 기판에 소자를 형성함으로써 경량화, 소형화 및 저비용화를 도모할 수 있다.
Int. CL H01L 51/05 (2006.01.01) H01L 29/423 (2006.01.01) H01L 29/66 (2006.01.01) H01L 29/788 (2006.01.01)
CPC H01L 51/055(2013.01) H01L 51/055(2013.01) H01L 51/055(2013.01) H01L 51/055(2013.01) H01L 51/055(2013.01)
출원번호/일자 1020140145064 (2014.10.24)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0048444 (2016.05.04) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.10.07)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김동유 대한민국 광주광역시 북구
2 강민지 대한민국 광주광역시 북구
3 김동윤 대한민국 광주광역시 북구
4 백강준 대한민국 경상남도 창원시 성산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-1019795-12
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2019.10.07 수리 (Accepted) 1-1-2019-1022610-39
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.02.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.03.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0119031-60
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.08.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0572275-73
6 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2020.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2020-1113546-30
7 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2020.11.23 수리 (Accepted) 1-1-2020-1257057-58
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번호 청구항
1 1
유기전계효과 트랜지스터 기반 비휘발성 메모리 장치에 있어서,유기물 반도체층 및 게이트 절연층을 포함하며,상기 유기물 반도체층 및 게이트 절연층 사이에는 고분자 전하 저장층과 나노 입자 플로팅 게이트층의 이중층을 더 포함하는 비휘발성 유기 메모리 장치
2 2
제 1항에 있어서,상기 유기물 반도체층은 소스(Source) 전극과 드레인(Drain) 전극을 포함하는 기판 위에 형성되는 것인, 비휘발성 유기 메모리 장치
3 3
제 1항에 있어서,상기 고분자 전하 저장층과 나노 입자 플로팅 게이트층의 이중층은 1회 또는 복수회 반복되어 층을 이룬 것인, 비휘발성 유기 메모리 장치
4 4
제 1항에 있어서,상기 나노 입자 플로팅 게이트층은 다수의 금속 나노 입자, 단분자 나노입자, 금속-칼코게나이드 나노입자, 또는 그래핀 나노 입자로 이루어지는 것인, 비휘발성 유기 메모리 장치
5 5
제 1항에 있어서,상기 고분자 전하 저장층과 나노 입자 플로팅 게이트층의 이중층 상에는 게이트 절연층 및 게이트 전극이 순차적으로 형성되는 것인, 비휘발성 유기 메모리 장치
6 6
제 2항에 있어서,상기 기판은 유리, 석영(Quartz), Al2O3, SiC, Si, GaAs, InP로부터 선택되는 무기물 기판; 혹은 켑톤 호일, 폴리이미드(Polyimide, PI), 폴리에테르술폰(polyethersulfone, PES), 폴리아크릴레이트(polyacrylate, PAR), 폴리에테르 이미드(polyetherimide, PEI), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethylene naphthalate, PEN), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate, PET), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide, PPS), 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리카보네이트(polycarbonate, PC), 셀룰로오스 트리 아세테이트(cellulose triacetate, CTA), 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate, CAP), 폴리우레탄(polyurethanes), 고무(rubber)로부터 선택되는 유기물 기판인 것인, 비휘발성 유기 메모리 장치
7 7
제 1항에 있어서,상기 유기물 반도체층은 펜타센(Pentacene) 계열, C8-BTBT(2,7-dioctyl[1]ben-zo-thieno[3,2-b][1] benzothiophene)를 포함한 벤조티오펜(Benzothiophene) 계열 및 diF-TESADT(2,8-difluoro-5,11-bis(triethylsilylethynyl)anthradithiophene) 로부터 선택되는 단분자; 폴리페닐렌 비닐렌(polyphenylene vinylene), 티오펜 비닐렌(thiophene vinylene), P3HT(poly(3-hexylthiophene), PBTTT (poly(2,5-bis(3-alkylthiophen-2-yl) thieno-[3,2-b]thiophene), CPDT(cyclopentadithiophene), IDT(indacenodithiophene), BDT(benzodithiophene), BTT(benzotrithiophene), NDI(naphthalene diimide), 폴리티오펜(polythiophenes), 및 폴리플루오렌(polyfluorenes)으로부터 선택되는 고분자; 그래핀; 또는 탄소나노튜브를 포함하는 것인, 비휘발성 유기 메모리 장치
8 8
제 1항에 있어서,상기 고분자 전하 저장층은 소수성, 스티렌 치환계 고분자를 포함하는 유기 절연 물질을 포함하는 적어도 어느 하나의 박막으로 형성되는 것인, 비휘발성 유기 메모리 장치
9 9
제 4항에 있어서,상기 금속 나노 입자는, 코발트(Co), 철(Fe), 니켈(Ni), 크롬(Cr), 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 주석(Sn), 텅스텐(W), 루테늄(Ru), 카드뮴(Cd), 티타늄(Ti), 아연(Zn), 지르코늄(Zr), 마그네슘(Mg), 망간(Mn) 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 것을 포함하는 것인, 비휘발성 유기 메모리 장치
10 10
제 4항에 있어서,상기 금속 나노 입자는 1 내지 5 nm 사이의 크기를 가지는 것인, 비휘발성 유기 메모리 장치
11 11
제 1항에 있어서,상기 게이트 절연층은, P(VDF-TrFE)(Poly(vinylidene fluoride-trifluoroethylene)를 포함한 비닐리덴플루오라이드(vinylidenefluoride) 고분자 계열, 플로린 계열 고분자(Fluoropolymer), 알루미늄 산화물(Al2O3), 실리콘 산화물(SiO2), 탄탈륨 산화물(Ta2O3), 티타늄 산화물(TiO2), 이트륨 산화물(Y2O3), 지르코늄 산화물(ZrO2), 지르코늄 실리콘 산화물(ZrSixOy), 하프늄 산화물(HfO2), 하프늄 실리콘 산화물(HfSixOy), 란탄 산화물(La2O3), 란탄 알루미늄 산화물(LaAlO), 란탄 하프늄 산화물(LaHfO), 하프늄 알루미늄 산화물(HfAlO), 및 프라세오디뮴 산화물(Pr2O3) 중 어느 하나 이상을 포함하는 단일층 또는 복수의 층인 것인, 비휘발성 유기 메모리 장치
12 12
제 5항에 있어서,상기 게이트 전극은 폴리실리콘, 알루미늄(Al), 금(Au), 베릴륨(Be), 비스무트(Bi), 코발트(Co), 하프늄(Hf), 인듐(In), 망간(Mn), 몰리브덴(Mo), 니켈(Ni), 납(Pb), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 로듐(Rh), 레늄(Re), 루테늄(Ru), 탄탈(Ta), 텔륨(Te), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 아연(Zn), 지르코늄(Zr), 이들의 질화물, 및 이들의 실리사이드 중 하나 이상을 포함하는 단일층 또는 복합층인 것인, 비휘발성 유기 메모리 장치
13 13
기판 상에 이격하여 소스(Source) 전극과 드레인(Drain) 전극을 형성하는 단계;상기 기판 및 상기 소스(Source) 전극과 드레인(Drain) 전극 상에 유기물 반도체층을 형성하는 단계;상기 유기물 반도체층 상에 적어도 하나의 고분자 전하 저장층을 형성하는 단계;상기 고분자 전하 저장층 상부면에 다수의 금속 나노 입자, 단분자 나노입자, 금속-칼코게나이드 나노 입자 또는 그래핀 나노 입자로 이루어지는 적어도 하나의 플로팅 게이트를 형성하는 단계;상기 플로팅 게이트 상부에 게이트 절연층을 형성하는 단계; 및상기 게이트 절연층 상에 게이트전극을 형성하는 단계를 포함하는, 비휘발성 유기 메모리 장치의 제조방법
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제 13항에 있어서,상기 플로팅 게이트를 형성하는 단계는 증착법, 또는 용매 공정에 의한 코팅 공정에 의하여 이루어지는 것인, 비휘발성 유기 메모리 장치의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 광주과학기술원 중견연구자지원사업(도약) Lock&Key 분자설계 전략을 통한 고효율 플라스틱 태양전지 개발