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대량생산을 위한 분자 전자 소자 제조용 소자 홀더 및 이를 이용한 분자 전자 소자의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2014009976
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 분자 전자 소자의 대량생산을 위한 소자 홀더 및 이를 이용한 분자 전자 소자의 제조 방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 분자 전자 소자 제조용 소자 홀더는 소자 형성용 기판을 지지하는 프레임 본체와, 상기 프레임 본체에 소정 간격으로 반복 형성되어 있는 복수의 개구와, 상기 복수의 개구를 각각 한정하도록 상기 프레임 본체에 소정 간격으로 반복 형성되어 있는 복수의 소자 지지부를 포함한다. 소자 홀더를 사용하여 분자 전자 소자를 제조하기 위하여, 하부 전극 위에 자기조립되어 있는 SAM이 형성된 기판 또는 다이를 소정의 마스크 패턴과 함께 소자 홀더에 정렬한 상태에서 소자 홀더를 증착 장치 내에 고정시키고 상기 기판 또는 다이의 소정 영역에 상기 SAM을 덮는 상부 전극을 형성한다. 분자 전자 소자, 대량생산, 소자 홀더, 정렬
Int. CL H01L 29/66 (2011.01) B82Y 10/00 (2011.01)
CPC H01L 51/0595(2013.01) H01L 51/0595(2013.01) H01L 51/0595(2013.01) H01L 51/0595(2013.01) H01L 51/0595(2013.01)
출원번호/일자 1020060020954 (2006.03.06)
출원인 한국전자통신연구원, 광주과학기술원
등록번호/일자 10-0687761-0000 (2007.02.21)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20070227) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.03.06)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이효영 대한민국 대전 서구
2 최낙진 대한민국 대구 북구
3 송현욱 대한민국 광주 북구
4 이탁희 대한민국 광주 북구
5 김태욱 대한민국 광주 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전 유성구
2 광주과학기술원 대한민국 광주 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.03.06 수리 (Accepted) 1-1-2006-0158757-58
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.12.05 수리 (Accepted) 9-1-2006-0081567-50
4 등록결정서
Decision to grant		 2007.01.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0011717-66
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
소자 형성용 기판을 지지하는 프레임 본체와, 상기 프레임 본체에 소정 간격으로 반복 형성되어 있는 복수의 개구와, 상기 복수의 개구를 각각 한정하도록 상기 프레임 본체에 소정 간격으로 반복 형성되어 있는 복수의 소자 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자 제조용 소자 홀더
2 2
제1항에 있어서, 상기 복수의 개구는 모두 동일한 형상 및 동일한 크기를 가지는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자 제조용 소자 홀더
3 3
제1항에 있어서, 상기 복수의 소자 지지부는 모두 동일한 형상 및 동일한 크기를 가지는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자 제조용 소자 홀더
4 4
제1항에 있어서, 상기 프레임 본체는 스테인레스 스틸 또는 구리로 이루어진 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자 제조용 소자 홀더
5 5
제1항에 있어서, 상기 프레임 본체 및 소자 지지부는 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자 제조용 소자 홀더
6 6
기판상에 하부 전극을 형성하는 단계와, 상기 하부 전극 위에 상기 하부 전극의 소정 영역을 노출시키는 복수의 나노 비아홀이 형성된 절연막 패턴을 형성하는 단계와, 말단에 티올 또는 실란기가 도입된 분자를 이용하여 상기 나노 비아홀을 통해 노출되는 하부 전극 위에 SAM (self-assembled monolayer)을 형성하는 단계와, 소정의 마스크 패턴과 상기 SAM이 형성된 결과물을 제1항에 따른 분자 전자 소자 제조용 소자 홀더 위에 차례로 정렬하는 단계와, 상기 소자 홀더의 개구 및 상기 마스크 패턴의 개구를 통해 노출되는 상기 기판의 소정 영역에 상기 SAM을 덮는 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자의 제조 방법
7 7
제6항에 있어서, 상기 SAM이 형성되어 있는 상기 기판을 소잉(sawing)에 의해 복수의 다이로 분리하는 단계를 더 포함하고, 상기 소자 홀더 위에 상기 SAM이 형성된 결과물을 정렬하는 단계에서는 상기 SAM이 형성되어 있는 복수의 다이를 각각 상기 소자 홀더 위에 재치하는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자의 제조 방법
8 8
제6항에 있어서, 상기 상부 전극은 열적 증착 방법 또는 전자빔 증착 방법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자의 제조 방법
9 9
제8항에 있어서, 상기 상부 전극은 금(Au), 백금(Pt), 은(Ag), 구리(Cu), 니켈(Ni) 및 팔라듐(Pd)으로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 하나의 물질로 구성되는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자의 제조 방법
10 10
제6항에 있어서, 상기 마스크 패턴은 소정의 패턴이 형성되어 있는 섀도우 마스크인 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.