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외주면에 플렉스블 기판이 감겨지며 회전 가능하도록 설치된 드럼;상기 드럼의 외주면과 마주하도록 배치되며, 상기 드럼에서 반사된 레이저를 다시 상기 드럼으로 입사시키는 제1 반사판;상기 제1 반사판과 상기 드럼 사이로 레이저를 입사시키는 제1 레이저 조사부;상기 드럼의 외주면과 마주하도록 배치되며, 상기 드럼에서 반사된 레이저를 다시 상기 드럼으로 입사시키는 제2 반사판;상기 제2 반사판과 상기 드럼 사이로 레이저를 입사시키는 제2 레이저 조사부; 및상기 제1 반사판과 상기 제2 반사판 사이에 배치되며 증착물질을 상기 플렉스블 기판에 증착시키는 증착부재;를 포함하는 레이저를 이용한 증착 및 결정화 장치
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제1 항에 있어서,상기 제1 반사판 및 상기 제2 반사판은 호형으로 만곡 형성된 레이저를 이용한 증착 및 결정화 장치
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제2 항에 있어서,상기 제1 반사판 및 상기 제2 반사판은 상기 드럼과 동일하거나 더 큰 곡률 반경을 갖도록 만곡 형성된 레이저를 이용한 증착 및 결정화 장치
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제2 항에 있어서,상기 제1 반사판은 상기 플렉스블 기판에서 간격을 두고 이격 배치되되 상기 반사판과 상기 플렉스블 기판의 사이의 간격은 상기 레이저가 상기 제1 반사판에 2회 이상 반사되도록 설정된 레이저를 이용한 증착 및 결정화 장치
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제3 항에 있어서,상기 레이저는 상기 기판에 대하여 기 설정된 각도로 경사지게 입사하는 레이저를 이용한 증착 및 결정화 장치
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제2 항에 있어서,상기 제1 레이저 조사부는 레이저를 S편광시키는 편광판을 포함하는 레이저를 이용한 증착 및 결정화 장치
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제2 항에 있어서,상기 제1 레이저 조사부와 상기 제1 반사판 사이에는 레이저의 입사각을 조절하는 제1 반사조절부재가 설치된 레이저를 이용한 증착 및 결정화 장치
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제2 항에 있어서,상기 제2 레이저 조사부와 상기 제2 반사판 사이에는 레이저의 입사각을 조절하는 제2 반사조절부재가 설치된 레이저를 이용한 증착 및 결정화 장치
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제2 항에 있어서,상기 제1 반사판 또는 상기 제2 반사판에서 레이저가 입사되는 단부의 반대측 단부에는 상기 플렉스블 기판을 향하여 돌출된 후단 반사돌기가 형성된 레이저를 이용한 증착 및 결정화 장치
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제9 항에 있어서,상기 제1 반사판 또는 상기 제2 반사판에서 레이저가 입사되는 단부에는 상기 플렉스블 기판을 향하여 돌출된 전단 반사돌기가 형성된 레이저를 이용한 증착 및 결정화 장치
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제10 항에 있어서,상기 후단 반사돌기의 높이는 상기 전단 반사돌기의 높이보다 더 높게 형성된 레이저를 이용한 증착 및 결정화 장치
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제1 항에 있어서,상기 플렉스블 기판을 상기 드럼에 밀착시키는 이송 롤러들이 상기 드럼과 인접하게 설치된 레이저를 이용한 증착 및 결정화 장치
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드럼의 외주면으로 플렉스블 기판을 감아서 드럼의 회전과 함께 플렉스블 기판을 이동시키는 플렉스블 기판 이송 단계;상기 드럼의 외주면과 마주하도록 설치된 제1 반사판과 상기 드럼 사이로 레이저를 입사시켜서 상기 플렉스블 기판을 가열하는 예비 가열 단계;상기 플렉스블 기판의 표면에 증착 물질을 증착시키는 증착 단계; 및상기 드럼의 외주면과 마주하도록 설치된 제2 반사판과 상기 드럼 사이로 레이저를 입사시켜서 상기 증착된 물질을 결정화시키는 결정화 단계;를 포함하는 레이저를 이용한 증착 및 결정화 방법
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제13 항에 있어서,상기 예비 가열 단계는 레이저를 S편광시키는 편광 단계와 상기 제1 반사판에 레이저를 복수회 반사시키는 제1 반사 단계를 포함하는 레이저를 이용한 증착 및 결정화 방법
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제14 항에 있어서,상기 예비 가열 단계는 상기 제1 반사판의 길이방향 일측 단부에 형성된 후단 반사돌기를 이용하여 레이저를 반사시키는 후단 반사 단계를 더 포함하는 레이저를 이용한 증착 및 결정화 방법
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제14 항에 있어서,상기 예비 가열 단계는 상기 제1 반사판의 길이방향 타측 단부에 형성된 전단 반사돌기를 이용하여 레이저를 반사키는 전단 반사 단계를 더 포함하는 레이저를 이용한 증착 및 결정화 방법
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제13 항에 있어서,상기 결정화 단계는 상기 제2 반사판에 레이저를 복수회 반사시키는 제2 반사 단계, 상기 제2 반사판의 길이방향 일측 단부에 형성된 후단 반사돌기를 이용하여 레이저를 반사시키는 후단 반사 단계, 및 상기 제2 반사판의 길이방향 타측 단부에 형성된 전단 반사돌기를 이용하여 레이저를 반사키는 전단 반사 단계를 포함하는 레이저를 이용한 증착 및 결정화 방법
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