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제1 전극;상기 제1 전극 위에 위치하고 규칙적으로 배열되어 있는 복수의 패턴을 가지는 금속층;상기 금속층 위에 위치하는 유기물 층; 그리고상기 제1 전극 및 상기 유기물 층 사이에 위치하는 압전체 층을 포함하는 에너지 발생장치
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제1항에서,상기 압전체 층은 상기 금속층의 인접한 패턴들 사이의 간격에 형성되는 에너지 발생장치
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제2항에서상기 압전체 층은 나노 구조물인 에너지 발생장치
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제1항에서,상기 제1 전극과 상기 금속층 사이에 위치하고 전기 전도성을 가지는 제1 보조층을 더 포함하는 에너지 발생장치
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제4항에서,상기 제1 보조층은 탄소 나노튜브, 도전성 폴리머, 그래핀, 또는 이들의 조합을 포함하는 에너지 발생장치
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제1항에서,상기 유기물 층 위에 위치하는 제2 전극을 더 포함하는 에너지 발생장치
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제6항에서,상기 제2 전극은 투명 전극인 에너지 발생장치
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제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에서,상기 유기물 층은 p형 반도체 물질을 포함하고, 상기 압전체 층은 n형 반도체 물질을 포함하는 에너지 발생장치
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제1항에서,상기 압전체 층은 PVDF(polyvinylidene fluoride), 산화아연(ZnO), 납-지르코늄-티타늄산화물(lead zirconate titanate; PZT), 티탄산바륨(BaTiO3), 티탄산납 (PbTiO3), 질화알루미늄(AlN), 질화갈륨(GaN), 카드뮴 셀레나이드(CdSe), 탄화실리콘(SiC), 또는 이들의 조합인 압전물질을 포함하는 에너지 발생장치
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상기 제1 전극 위에 규칙적으로 배열되어 있는 복수의 패턴을 가지는 금속층을 형성하는 단계;상기 금속층의 인접한 패턴들 사이에 압전체 층을 형성하는 단계; 그리고상기 압전체 층 위에 유기물 층을 형성하는 단계를 포함하는 에너지 발생장치의 제조방법
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제10항에서,상기 압전체 층은 전기화학 증착법(electrochemical deposition)을 이용하여 형성되는 것인 에너지 발생장치의 제조방법
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제10항에서,상기 압전체 층은 나노 구조물인 에너지 발생장치의 제조방법
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제10항에서,상기 금속층은 알루미늄 옥사이드를 사용하여 형성하는 에너지 발생장치의 제조방법
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제10항에서,상기 제1 전극과 상기 금속층 사이에 전기 전도성을 가지는 제1 보조층을 형성하는 단계를 더 포함하는 에너지 발생장치의 제조방법
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제14항에서,상기 제1 보조층은 탄소 나노튜브, 도전성 폴리머, 그래핀, 또는 이들의 조합을 포함하는 에너지 발생장치의 제조방법
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제10항에서,상기 유기물 층 위에 제2 전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 에너지 발생장치의 제조방법
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제16항에서,상기 제2 전극은 투명 전극인 에너지 발생장치의 제조방법
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제10항에서,상기 압전체 층을 형성하는 단계는 압전물질 용액을 상기 금속층의 인접한 나노 패턴들 사이에 공급하는 과정을 포함하는 에너지 발생장치의 제조방법
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제10항에서,상기 유기물 층은 p형 반도체 물질을 포함하고, 상기 압전체 층은 n형 반도체 물질을 포함하는 에너지 발생장치의 제조방법
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