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캐비티를 포함하는 기판;상기 기판 상에 배치되며 상기 캐비티를 커버하도록 배치된 2차원 압전 물질층;상기 2차원 압전 물질층의 평면의 양단에 배치되며 서로 절연된 전극층을 포함하고,상기 2차원 압전 물질층의 두께는 1nm 이하이며,소리에 따라 상기 전극층의 배치에 의해 상기 2차원 압전 물질층의 진동이 발생되고 이에 의해 상기 2차원 압전 물질층의 길이가 상기 2차원 압전 물질층의 평면에 평행한 방향을 따라 변형되어 결정구조의 비대칭 발생에 따른 분극 현상에 의해 전기적 포텐셜을 생성하는, 마이크로폰
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제 1 항에 있어서,상기 기판은 기판 상에 절연층을 추가로 포함하는,마이크로폰
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제 1 항에 있어서,상기 2차원 압전 물질층은 전이금속 칼코게나이드, 알칼리토금속 산화물, 3-5족 화합물 중 어느 하나로 이루어진,마이크로폰
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삭제
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제 1 항에 있어서,상기 2차원 압전 물질층의 공진 주파수는 20kHz를 이상인,마이크로폰
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제 1 항에 있어서,상기 2차원 압전 물질층은 복수개의 층으로 이루어진,마이크로폰
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7
n x m (n, m은 2이상의 정수) 개의 배열로 이루어진 복수개의 캐비티를 포함하는 기판;상기 기판 상에 배치되며 상기 복수개의 캐비티를 커버하도록 배치된 복수개의 2차원 압전 물질층;상기 복수개의 2차원 압전 물질층 각각의 평면의 양단에 배치되도록 이루어진 2개의 전극 패턴으로 이루어진 전극층을 포함하고,상기 전극층은 제 1 전극 패턴 및 제 2 전극 패턴인 2개의 전극 패턴으로 이루어져 있으며, 상기 제 1 전극 패턴 및 제 2 전극 패턴은 전기적으로 절연되어 있고, 각각 서로 맞물리는(interdigitated) 전극 패턴을 형성하며,상기 2차원 압전 물질층의 두께는 1nm 이하이며,소리에 따라 상기 전극층의 배치에 의해 상기 2차원 압전 물질층의 진동이 발생되고 이에 의해 상기 2차원 압전 물질층의 길이가 상기 2차원 압전 물질층의 평면에 평행한 방향을 따라 변형되어 결정구조의 비대칭 발생에 따른 분극 현상에 의해 전기적 포텐셜을 생성하는, 마이크로폰
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8
제 7 항에 있어서,상기 기판은 기판 상에 절연층을 추가로 포함하는,마이크로폰
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제 7 항에 있어서,상기 2차원 압전 물질층은 전이금속 칼코게나이드, 알칼리토금속 산화물, 3-5족 화합물 중 어느 하나로 이루어진,마이크로폰
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10
삭제
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11
제 7 항에 있어서,상기 2차원 압전 물질층의 공진 주파수는 20kHz를 이상인,마이크로폰
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12
제 7 항에 있어서,상기 2차원 압전 물질층은 복수개의 층으로 이루어진,마이크로폰
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기판을 준비하는 단계;상기 기판 상에 2차원 압전 물질층을 형성하는 단계;기판에 형성되는 캐비티 부분에 상기 2차원 압전 물질층이 배치되도록 상기 2차원 압전 물질층을 패터닝하고 원하는 형태로 식각하는 단계;상기 2차원 압전 물질층의 평면의 양단에 배치되며 서로 절연된 전극층을 형성하는 단계; 및상기 기판의 상기 2차원 압전 물질층이 형성된 면의 반대면을 식각하는 단계를 포함하고,상기 기판의 상기 2차원 압전 물질층이 형성된 면의 반대면을 식각함에 의해 기판을 관통하는 캐비티를 형성하게 되며,상기 2차원 압전 물질층의 두께는 1nm 이하이며,상기 캐비티가 형성된 부분에 상기 2차원 압전 물질층이 배치되어 소리에 따라 상기 전극층의 배치에 의해 상기 2차원 압전 물질층의 진동이 발생되고 이에 의해 상기 2차원 압전 물질층의 길이가 상기 2차원 압전 물질층의 평면에 평행한 방향을 따라 변형되어 결정구조의 비대칭 발생에 따른 분극 현상에 의해 전기적 포텐셜을 생성하는, 마이크로폰의 제조 방법
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제 13 항에 있어서,상기 기판은 기판 상에 절연층을 추가로 포함하고,상기 절연층도 상기 기판이 식각될 때 함께 식각되어 관통 캐비티를 형성하는,마이크로폰의 제조 방법
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제 13 항에 있어서,상기 2차원 압전 물질층은 전이금속 칼코게나이드, 알칼리토금속 산화물, 3-5족 화합물 중 어느 하나로 이루어진,마이크로폰의 제조 방법
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제 13 항에 있어서,상기 기판을 식각하는 단계는,상기 2차원 압전 물질층 및 전극이 형성된 표면에 보호층을 코팅한 후 식각이 이루어지는,마이크로폰의 제조 방법
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제 13 항에 있어서,상기 캐비티가 복수개 형성되고,상기 복수개의 캐비티에 각각 대응되도록 상기 2차원 압전 물질층을 패터닝하여 식각함으로써 복수개의 2차원 압전 물질층이 복수개의 캐비티에 각각 대응되는,마이크로폰의 제조 방법
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19
제 18 항에 있어서,상기 복수개의 2차원 압전 물질층 각각에 배치되도록 이루어진 전극층을 포함하고,상기 전극층은 제 1 전극 패턴 및 제 2 전극 패턴인 2개의 전극 패턴으로 이루어져 있으며, 상기 제 1 전극 패턴 및 제 2 전극 패턴은 전기적으로 절연되어 있고, 각각 서로 맞물리는(interdigitated) 전극 패턴을 형성하는,마이크로폰의 제조 방법
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제 13 항, 제 14 항, 제 15 항, 제 17 항, 제 18 항 및 제 19 항 중 어느 한 항의 방법에 따라 제조된, 마이크로폰
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