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제1 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터 바이오센서, 그리고제2 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터 바이오센서를 포함하며,상기 제1 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터 바이오센서를 통해 제1 바이오 신호를 감지하고, 상기 제2 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터 바이오센서를 통해 제2 바이오 신호를 감지하고, 그리고상기 제1 바이오 신호와 상기 제2 바이오 신호는 서로 다른 종류인 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터 바이오센서의 다중 감지 시스템
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제1항에서,상기 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터 바이오센서는 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터를 포함하며,상기 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터는,하부 게이트 전극,상기 하부 게이트 전극 위에 위치하는 하부 절연막,상기 하부 절연막 위에 위치하고 서로 이격되어 있는 소스 및 드레인,상기 하부 절연막 위에 위치하고 상기 소스 및 상기 드레인 사이에 위치하는 채널층,상기 소스, 상기 드레인, 상기 채널층 위에 위치하는 상부 절연막, 그리고상기 상부 절연막 위에 위치하는 상부 게이트 전극을 포함하는 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터 바이오센서의 다중 감지 시스템
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제2항에서,상기 상부 절연막의 등가 산화막 두께는 상기 하부 절연막의 등가 산화막 두께보다 작은 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터 바이오센서의 다중 감지 시스템
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제2항에서,상기 채널층은 10nm 이하의 두께를 갖는 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터 바이오센서의 다중 감지 시스템
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제2항에서,상기 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터 바이오센서는 상기 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터와 연결되어 있는 교체형 감지기를 포함하고,상기 교체형 감지기는 상기 상부 게이트 전극에 연결되어 있는 금속 전극, 그리고상기 금속 전극 위에 위치하며 이온을 감지하는 감지막을 포함하는 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터 바이오센서의 다중 감지 시스템
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제2항에서,상기 제1 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터 바이오센서의 소스와 상기 제2 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터 바이오센서의 소스는 공통으로 접지되어 있으며,상기 제1 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터 바이오센서의 상부 게이트 전극과 상기 제2 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터 바이오센서의 상부 게이트 전극은 공통으로 접지되어 있는 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터 바이오센서의 다중 감지 시스템
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제6항에서,상기 제1 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터 바이오센서의 하부 게이트 전극과 상기 제2 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터 바이오센서의 하부 게이트 전극에 공통전압이 인가되는 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터 바이오센서의 다중 감지 시스템
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제7항에서,상기 제1 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터 바이오센서의 드레인은 상기 제1 바이오 신호를 출력하고, 상기 제2 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터 바이오센서의 드레인은 상기 제2 바이오 신호를 출력하는 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터 바이오센서의 다중 감지 시스템
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제8항에서,상기 제1 드레인과 상기 제2 드레인은 병렬 구조로 연결되어 있는 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터 바이오센서의 다중 감지 시스템
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제5항에서,상기 교체형 감지기는 항체, 세포, 또는 DNA 중 적어도 하나가 기능화되어 있는 리셉터(receptor)를 포함하고,상기 교체형 감지기와 상기 리셉터는 전기적으로 접속되어 있는 이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터 바이오센서의 다중 감지 시스템
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