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전도성 패턴의 제조방법 및 이에 따라 제조되는 전도성 패턴(Fabrication method for conductive pattern and the conductive pattern thereby)

  • 기술번호 : KST2016015391
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기 기판 상부에 과불소 중합체 층을 형성하는 단계(단계 1); 상기 단계 1의 과불소 중합체 층 및 유기 기판 표면에 대하여 홈 패턴을 형성하는 단계(단계 2); 상기 단계 2에서 형성된 홈 패턴 내부로 금속 잉크와 이소프로필 알콜, 에탄올, 메탄올 및 물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1 종 이상의 용매가 혼합된 금속 잉크 분산액을 도포하여 금속 잉크 패턴을 형성하는 단계(단계 3); 및 상기 과불소 중합체 층을 플루오르계 용매로 제거하는 단계(단계 4);를 포함하는 전도성 패턴의 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따른 전도성 패턴의 제조방법은 홈 패턴 이외에 부분에 잔여물이 형성되지 않아 추가적인 공정이 필요없을 뿐만 아니라, 추가적인 공정으로 인하여 발생할 수 있는 유기 기판의 손상 가능성이 없다. 또한, 전도성 패턴의 선폭 조절이 용이하다.
Int. CL H01L 21/28 (2006.01) H01L 21/768 (2006.01) H01L 51/00 (2006.01)
CPC H01L 51/0034(2013.01)
출원번호/일자 1020150020168 (2015.02.10)
출원인 인하대학교 산학협력단, 단국대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1649557-0000 (2016.08.12)
공개번호/일자 10-2016-0098645 (2016.08.19) 문서열기
공고번호/일자 (20160822) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.02.10)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구
2 단국대학교 산학협력단 대한민국 경기도 용인시 수지구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박세근 대한민국 서울특별시 서초구
2 김명수 대한민국 경기도 고양시 덕양구
3 이진균 대한민국 인천광역시 연수구
4 정석현 대한민국 인천광역시 남구
5 황석호 대한민국 경기도 용인시 수지구
6 여준석 대한민국 경기도 용인시 수지구
7 권민지 대한민국 경기도 성남시 분당구
8 이강희 대한민국 경기도 의왕시 내

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 단국대학교 산학협력단 경기도 용인시 수지구
2 인하대학교 산학협력단 인천광역시 미추홀구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.02.10 수리 (Accepted) 1-1-2015-0140471-41
2 보정요구서
Request for Amendment
2015.02.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0040171-29
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2015.02.26 수리 (Accepted) 1-1-2015-0190809-96
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.01.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0003892-84
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.02.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0082758-81
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.02.23 수리 (Accepted) 1-1-2016-0177668-28
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.02.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0177686-40
10 등록결정서
Decision to grant
2016.08.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0570830-39
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.10.26 수리 (Accepted) 4-1-2020-5239146-54
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
유기 기판 상부에 과불소 중합체 층을 형성하는 단계(단계 1);상기 단계 1의 과불소 중합체 층 및 유기 기판 표면에 대하여 홈 패턴을 형성하는 단계(단계 2);상기 단계 2에서 형성된 홈 패턴 내부로 금속 잉크와 이소프로필 알콜, 에탄올, 메탄올 및 물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1 종 이상의 용매가 혼합된 금속 잉크 분산액을 도포하여 금속 잉크 패턴을 형성하는 단계(단계 3); 및상기 과불소 중합체 층을 플루오르계 용매로 제거하는 단계(단계 4);를 포함하되, 상기 단계 1의 과불소 중합체는 폴리(퍼플루오로알킬 메타크릴레이트)(Poly(perfluoroalkyl methacrylate) 또는 폴리(퍼플루오로알킬 아크릴레이트)(Poly(perfluoroalkyl acrylate)를 포함하는 단일 중합체 또는 공중합체인 것을 특징으로 하는 전도성 패턴의 제조방법
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 단계 1의 유기 기판은 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET) 기판, 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN) 기판, 폴리이미드(PI) 기판, 폴리카보네이트(PC) 기판, 폴리프로필렌(PP) 기판, 트리아세틸셀룰로오스(TAC) 기판 및 폴리에테르술폰(PES) 기판으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1 종인 것을 특징으로 하는 전도성 패턴의 제조방법
4 4
제1항에 있어서,상기 단계 1에서 형성된 과불소 중합체 층의 두께는 50 nm 내지 10 ㎛인 것을 특징으로 하는 전도성 패턴의 제조방법
5 5
제1항에 있어서,상기 단계 2에서 홈 패턴의 형성은,표면에 삼각 요철 형태의 패턴이 형성된 기판을 준비하는 단계(단계 a); 및상기 단계 a에서 준비된 기판의 표면을 상기 단계 1에서 유기 기판에 형성된 과불소 중합체 층과 접촉시킨 후, 압력을 가하는 단계(단계 b);를 포함하는 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 전도성 패턴의 제조방법
6 6
제5항에 있어서,상기 단계 b는 40 ℃ 내지 70 ℃의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 전도성 패턴의 제조방법
7 7
제5항에 있어서,상기 단계 b의 압력은 0
8 8
제1항에 있어서,상기 단계 2에서 홈 패턴의 형성은,표면에 삼각 요철 형태의 패턴이 형성된 롤을 준비하는 단계(단계 a); 및상기 단계 a에서 준비된 롤을 상기 단계 1에서 유기 기판에 형성된 과불소 중합체 층과 접촉시킨 후, 회전시키는 단계(단계 b);를 포함하는 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 전도성 패턴의 제조방법
9 9
제1항에 있어서,상기 단계 3의 금속 잉크는 은 잉크인 것을 특징으로 하는 전도성 패턴의 제조방법
10 10
제1항에 있어서,상기 단계 3에서 금속 잉크 패턴을 형성하고난 후, 상기 단계 3의 금속 잉크 패턴이 형성된 유기 기판을 60 ℃ 내지 120 ℃의 온도로 1 초 내지 60 초 동안 가열하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전도성 패턴의 제조방법
11 11
제1항에 있어서,상기 단계 4에서 과불소 중합체 층을 제거하고난 후, 과불소 중합체 층이 제거되고, 금속 잉크 패턴이 형성된 유기 기판을 60 ℃ 내지 120 ℃의 온도로 60 초 내지 600 초 동안 가열하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전도성 패턴의 제조방법
12 12
제1항의 제조방법으로 제조되고,홈 패턴이 형성된 유기 기판; 및상기 유기 기판의 홈 패턴에 충진된 금속 잉크;를 포함하는 전도성 패턴
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 인하대학교 산학협력단 기본연구(교육부) 다중 나노임프린트 리소그래피를 이용한 3차원 구조물 제작공정 개발과 이중마이크로렌즈 어레이 응용기술 개발
2 경기도 경기도지역협력연구센터(GRRC) 경기도지역협력연구센터(GRRC)사업 고효율 차세대 형광 OLED소자 및 태양전지