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기판 상에 감광수지층을 형성하고, 마스크 패터닝 공정에 의해 감광수지로 이루어진 양각 인코더 패턴이 형성된 제1몰드를 제작하는 제1단계;상기 제1몰드 상에 임프린트 레진층을 형성하고, 임프린팅 공정에 의해 임프린트 레진으로 이루어져 음각 인코더 패턴이 형성된 마스터 몰드를 제작하는 제2단계;상기 마스터 몰드에 형성된 음각 인코더 패턴 영역 상에 바이오 어세이용 용액을 스팟팅(spotting)하여 액적(droplet)을 형성하는 제3단계; 및상기 마스터 몰드 상에 형성된 액적을 경화하여 바닥면이 평편한 형태의 입체적 형상의 액적을 형성한 후, 상기 마스터 몰드 상에서 이를 분리하여, 바닥면에 인코더 패턴이 형성된 마이크로 입자를 형성하는 제4단계;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 바이오 어세이를 위한 마이크로 입자의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제2단계 후에,상기 마스터 몰드에서 음각 인코더 패턴 영역의 표면을 친수성 처리하거나,상기 마스터 몰드에서 음각 인코더 패턴 영역을 제외한 영역의 표면을 소수성 처리하는 것을 특징으로 하는 바이오 어세이를 위한 마이크로 입자의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제3단계의 액적(droplet)은,바닥면이 평편한 입체적 형상을 띄는 것을 특징으로 하는 바이오 어세이를 위한 마이크로 입자의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제3단계의 액적(droplet)은,반구형 또는 반타원형인 것을 특징으로 하는 바이오 어세이를 위한 마이크로 입자의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제4단계의 상기 마이크로 입자 내에 기공을 더 형성하는 것을 특징으로 하는 바이오 어세이를 위한 마이크로 입자의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제4단계의 마이크로 입자의 인코더 패턴 상에 불투명한 금속층 또는 감광수지층의 배열을 더 형성하는 것을 특징으로 하는 바이오 어세이를 위한 마이크로 입자의 제조방법
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기판 상에 감광수지층을 형성하고, 마스크 패터닝 공정에 의해 감광수지로 이루어진 양각 인코더 패턴이 형성된 제1몰드를 제작하는 (가)단계;상기 제1몰드 상에 임프린트 레진층을 형성하고, 임프린팅 공정에 의해 임프린트 레진으로 이루어져 음각 인코더 패턴이 형성된 마스터 몰드를 제작하는 (나)단계;상기 마스터 몰드에 형성된 음각 인코더 패턴 영역 상에 바이오 어세이용 용액을 스팟팅(spotting)하여 제1액적(droplet)을 형성하는 (다)단계;상기 마스터 몰드 상에 형성된 제1액적을 경화하여 바닥면이 평편한 형태의 입체적 형상의 액적을 형성한 후, 상기 (다)단계의 바이오 어세이용 용액과는 다른 바이오 어세이용 용액을 상기 제1액적 상에 스팟팅하여 내부에 제1액적이 포함되도록 제2액적을 형성하는 (라)단계; 및상기 제2액적을 경화하여 바닥면이 평편한 형태의 입체적 형상의 액적을 형성한 후, 상기 마스터 몰드 상에서 제1액적 및 제2액적으로 이루어진 복합 구조체를 분리하여, 바닥면에 인코더 패턴이 형성된 복합 마이크로 입자를 형성하는 (마)단계;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 바이오 어세이를 위한 마이크로 입자의 제조방법
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바닥면이 평편한 입체적 형상으로 형성되며,바이오 어세이(bio-assay) 정보를 정량 검출하기 위한 프로브 영역과,상기 바닥면에 형성된 인코더 패턴에 의해 바이오 어세이(bio-assay) 정보의 종류를 인식하기 위한 인코더 영역이 기질 내에서 중첩적으로 형성된 것을 특징으로 하고,상기 인코더 패턴은 음각 인코더 패턴이 형성된 마스터 몰드를 사용하여 형성된 것이며,상기 기질은 외부에서 인코더 패턴을 판독할 수 있는 투명한 재료로 형성된 것인, 바이오 어세이를 위한 마이크로 입자
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제 8항에 있어서, 상기 마이크로 입자는,반구형 또는 반타원형인 것을 특징으로 하는 바이오 어세이를 위한 마이크로 입자
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제 8항에 있어서, 상기 마이크로 입자의 인코더 패턴 상에는,불투명한 금속층 또는 감광수지층의 배열을 더 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 어세이를 위한 마이크로 입자
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11
제 8항에 있어서, 상기 마이크로 입자는,그 외부에 다른 종류의 프로브 영역 또는 인코더 영역이 형성되어 복합 구조체를 이루는 것을 특징으로 하는 바이오 어세이를 위한 마이크로 입자
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12
제 8항에 있어서, 상기 마이크로 입자 내에 기공을 더 형성하는 것을 특징으로 하는 바이오 어세이를 위한 마이크로 입자
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