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산화물 박막 트랜지스터 소자의 게이트 전극과 소스 및 드레인 전극 사이에 배치되는 절연막을 형성하는 코팅액에 있어서,하기 화학식 1 또는 화학식 2로 표시되는 알루미나 전구체 화합물;상기 알루미나 전구체 화합물을 용해시키기 위한 용매; 및용액을 안정시키기 위한 첨가제;를 포함하는 절연막 형성용 코팅액:[화학식 1](상기 화학식 1에서,M은 3가 금속인 알루미늄(Al)이고,n은 1 내지 10으로 상기 화학식 1은 하나 이상의 -CH2- 결합을 포함하는 지방족 시클로 알케인 또는 바이시클로 알케인을 포함하며,R1, R2, R3 및 R4는 각각 독립적으로 C2-C6 선형 알킬 또는 분지형 알킬, C6-C12 아릴 및 C3-C12 시클로알킬, 시안(CN), 트리플로오로메틸(CF3), 니트로(NO2), 카복실산(COOH), 에스테르(COOR5), 아미노기(NH2), 디알킬아미노기(N(R5)2), 모노알킬아미노기(NHR5), 히드록시기(OH), 알콕시기(OR5) 및 아지드(N3)로 이루어진 그룹에서 선택되는 어느 하나를 포함하며, R5는 수소(H), C1-C6 선형 알킬 또는 분지형 알킬로 이루어진 그룹에서 선택되는 어느 하나를 포함한다)[화학식 2](상기 화학식 2에서,M은 3가 금속인 알루미늄(AL)이고,n은 1 내지 10으로 상기 화학식 2는 하나 이상의 -CH2- 결합을 포함하는 지방족 시클로 알케인 또는 바이시클로 알케인을 포함하며,m은 1 내지 4이며,R1, R2 및 R3는 각각 독립적으로 C3-C6 선형 알킬 또는 분지형 알킬, C6-C12 아릴 및 C3-C12 시클로알킬, 시안(CN), 트리플로오로메틸(CF3), 니트로(NO2), 카복실산(COOH), 에스테르(COOR5), 아미노기(NH2), 디알킬아미노기(N(R5)2), 모노알킬아미노기(NHR5), 히드록시기(OH), 알콕시기(OR5) 및 아지드(N3)로 이루어진 그룹에서 선택되는 어느 하나를 포함하며, R5는 수소(H), C1-C6 선형 알킬 또는 분지형 알킬로 이루어진 그룹에서 선택되는 어느 하나를 포함한다)
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제1항에 있어서,상기 화학식 1로 표시되는 알루미나 전구체 화합물은 하기 화합물로 이루어진 그룹에서 선택되는 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 절연막 형성용 코팅액
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제1항에 있어서,상기 화학식 2로 표시되는 알루미나 전구체 화합물은 하기 화합물로 이루어진 그룹에서 선택되는 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 절연막 형성용 코팅액
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제1항에 있어서,상기 용매는,메탄올(methanol), 에탄올(ethanol), 이소프로판올(iso-propanol), 프로판올(propanol), 2-메톡시에탄올(2-methoxyethanol), 2-에톡시에탄올(2-ethoxyethanol), 2-프로폭시에탄올(2-propoxyethanol),2-부톡시에탄올(2-buthoxyethanol), 아세토나이트릴(acetonitrile), 에틸렌 글라이콜(ethylene glycol), 디메틸 설폭사이드(dimethyl sulfoxide), 디에틸 설파이드(diethyl sulfide), 디부틸 설파이드(dibutyl sulfide), 디부틸 에테르(dibutyl ether), 테트라하이드로퓨란(tetrahydrofuran), 톨루엔(toluene),크실렌(xylene), 헥산(hexane), 헵탄(heptane), 옥탄(octane), 에틸아세테이트(ethylacetate), 부틸아세테이트(buthylacetate), 디메틸포름아마이드(dimethylformamide), 아세틸아세톤(acetylacetone), 디메틸아민보란(dimethylamineborane)에테르(ether), 디에틸렌 글리콜 에테르(diethylene glycol ether), 디프로필렌 글리콜디메틸에테르(dipropylene glycol dimethyl ether), 디에틸렌 글리콜 디메틸 에틸 에테르(diethylene glycol dimethyl ethyl ether), 메틸 메톡시 프로피온산(methyl methoxy propionic acid), 에틸 에톡시 프로피온산(ethyl ethoxy propionic acid), 메틸셀로솔브아세테이트(methyl cellosolve acetate), 에틸셀로솔브아세테이트(ethyl cellosolve acetate), 아세톤(acetone), 메틸이소부틸케톤(methyl isobutyl ketone) 및 디에틸에테르(diethyl ether)로 이루어진 그룹에서 선택되는 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 절연막 형성용 코팅액
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제1항에 있어서,상기 첨가제는,모노-에탄올 아민(mono-ethanolamine), 디-에탄올아민(di-ethanolamine), 트리-에탄올아민(tri-ethanolamine), 에틸렌디아민(ethylenediamine), 테트라메틸에틸렌디아민(tetramethylethylenedoamine), 다이케톤(diketone) 및 아미노 알코올(amino alcohol)로 이루어진 그룹에서 선택되는 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 절연막 형성용 코팅액
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제1항에 있어서,상기 절연막 형성용 코팅액은,상기 용매에 대하여, 상기 알루미나 전구체 화합물을 0
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