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소스 용액(source solution)을 액적(液滴, droplet) 상태로 분무시켜, 소스 액적(source droplet)을 생성하는 액적 생성부; 상기 액적 생성부로부터 상기 소스 액적을 공급받고, 기판 상에 상기 소스 액적이 제공되는 박막 증착부;상기 박막 증착부로 UV(Ultra Violet)를 조사하는 UV 조사부; 상기 박막 증착부와 상기 UV 조사부를 분리시키는 분리막; 및상기 액적 생성부에서 생성된 상기 소스 액적을 상기 박막 증착부로 이동시키는 불활성 가스를 공급하는 가스 공급부를 포함하되,상기 가스 공급부는, 상기 박막 증착부로 상기 불활성 가스를 공급하여, 상기 박막 증착부를 퍼지시키고, 상기 박막 증착부가 퍼지되는 동안, 상기 박막 증착부 내로 산소가 공급되고 UV가 조사되는 것을 포함하는 박막 제조 장치
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제1 항에 있어서,상기 액적 생성부는, 상기 소스 용액으로 초음파를 제공하여, 상기 소스 액적을 생성하는 초음파 발생 장치를 포함하는 박막 제조 장치
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제1 항에 있어서,상기 박막 증착부는, 상압 조건이고,상기 상압 조건의 상기 박막 증착부로 산소(O2)를 공급하는 산소 탱크를 더 포함하되, 상기 박막 증착부로 공급된 산소(O2)는, 상기 분리막을 투과한 UV에 의해 오존(O3)으로 변환되는 것을 포함하는 박막 제조 장치
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제1 항에 있어서, 상기 UV 조사부 내부는 진공 또는 불활성 가스 상태로 유지되어, 상기 UV 조사부 내부에서 오존(O3) 생성이 방지되는 것을 포함하는 박막 제조 장치
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제1 항에 있어서,상기 분리막은, 상기 박막 증착부와 상기 UV 조사부를 분리하여, 상기 박막 증착부 및 상기 UV 조사부 내부의 대기 환경을 서로 독립적으로 유지시키는 것을 포함하는 박막 제조 장치
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제1 항에 있어서,상기 박막 증착부로 열을 공급하는 가열부를 더 포함하는 박막 제조 장치
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소스 용액을 액적 상태로 분무시켜, 소스 액적을 생성하는 단계;상기 소스 액적이 기판이 배치된 박막 증착부로 제공되는 단계; 및상기 기판 상에 상기 소스 액적이 제공되는 동시에, 상기 기판 상으로 UV가 조사되어, 상기 기판 상에 박막이 제조되는 단계를 포함하되,상기 박막을 제조하는 단계는, 상기 기판 상에 상기 소스 액적 및 UV를 동시에 제공하는 단계; 및상기 박막 증착부를 퍼지시켜, 상기 박막 증착부 내의 잔존된 상기 소스 액적을 제거하는 단계를 포함하고, 상기 박막 증착부 내의 잔존된 상기 소스 액적이 제거되는 동안, 상기 박막 증착부 내로 산소가 공급되고, UV가 조사되는 것을 포함하는 박막의 제조 방법
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제9 항에 있어서, 상기 소스 액적 및 UV를 동시에 제공하는 단계, 및 상기 박막 증착부를 퍼지하는 단계를 하나의 단위 공정으로 정의되고, 상기 단위 공정의 반복 수행 횟수를 조절하여, 상기 박막의 두께가 조절되는 것을 포함하는 박막의 제조 방법
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제9 항에 있어서, 상기 기판 상에 제공된 상기 소스 액적 중의 일부는, 상기 기판과 이격된 상태에서 UV에 의해 더미 입자(dummy particle)로 제조되고,상기 더미 입자는 상기 박막 증착부를 퍼지하는 단계에서 제거되는 것을 포함하는 박막의 제조 방법
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제9 항에 있어서,상기 기판 상에 상기 소스 액적 및 UV를 동시에 제공하는 동안, 상기 박막 증착부로 산소(O2)를 선택적으로 공급하는 것을 포함하는 박막의 제조 방법
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제13 항에 있어서,상기 박막 증착부 내부에 산소(O2)가 선택적으로 공급됨에 따라, 상기 박막 증착부에서의 상기 박막의 증착 공정 온도가 조절되는 것을 포함하는 박막의 제조 방법
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