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기판에 잉크를 프린팅하는 잉크젯 프린팅부,상기 잉크에 레이저를 조사하여 상기 잉크를 가공하는 레이저 가공부,상기 기판, 잉크젯 프린팅부 및 레이저 가공부에 연결되어 있으며, 상기 기판, 잉크젯 프린팅부 및 레이저 가공부의 위치를 조절하는 이동 스테이지를 포함하고,상기 잉크젯 프린팅부는 상기 기판에 상기 잉크를 분사하는 잉크젯 노즐,상기 잉크젯 노즐에 상기 잉크를 공급하는 잉크젯 펌프,상기 잉크젯 노즐에 전압을 공급하는 전압 공급기를 포함하고,상기 잉크젯 노즐은 라인 프린팅 노즐, 드롭 온 디맨드 노즐, 스프레이 코팅 노즐 중에서 선택된 어느 하나이고,상기 이동 스테이지는상기 기판을 지지하며 상기 기판의 수평 위치를 조절하는 수평 스테이지,상기 잉크젯 프린팅부 및 상기 레이저 가공부가 부착되어 있으며 상기 기판의 수직 위치를 조절하는 수직 스테이지를 포함하며,상기 수직 스테이지에 설치되어 있으며, 상기 기판의 단차 데이터를 측정하는 터치 센서,상기 터치 센서에서 측정된 상기 단차 데이터를 상기 수직 스테이지에 송수신하는 데이터 송수신기를 더 포함하는 용액 공정 장치
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제1항에서,상기 레이저 가공부는상기 레이저를 발생시키는 레이저 발생기,상기 레이저의 형상을 조절하는 레이저 조절 부재를 포함하는 용액 공정 장치
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제5항에서,상기 레이저 조절 부재는 상기 레이저를 단속시키는 빔 셔터,상기 빔 셔터를 통과한 레이저의 초점 거리를 변동시키는 빔 익스펜더,상기 빔 익스펜더를 통과한 레이저를 집속시키는 집속 렌즈를 포함하는 용액 공정 장치
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기판에 잉크를 프린팅하는 잉크젯 프린팅부, 상기 잉크에 레이저를 조사하여 상기 잉크를 가공하는 레이저 가공부, 상기 기판, 잉크젯 프린팅부 및 레이저 가공부에 연결되어 있으며, 상기 기판, 잉크젯 프린팅부 및 레이저 가공부의 위치를 조절하는 이동 스테이지를 포함하는 용액 공정 장치에서 상기 잉크젯 프린팅부의 잉크젯 노즐을 이용하여 제1 잉크를 분사하여 상기 기판에 하층 잉크 패턴을 형성하는 단계,상기 레이저 가공부를 이용하여 상기 하층 잉크 패턴을 소결하여 하층 전극 패턴을 형성하는 단계,상기 잉크젯 노즐을 이용하여 제2 잉크를 분사하여 상기 기판 및 상기 하층 전극 패턴을 덮는 절연층을 형성하는 단계,상기 레이저 가공부를 이용하여 상기 절연층을 패터닝하여 상기 하층 전극 패턴의 일부를 노출하는 연결 구멍을 형성하는 단계,상기 잉크젯 노즐을 이용하여 제3 잉크를 분사하여 상기 연결 구멍을 채우는 상층 잉크 패턴을 형성하는 단계,상기 레이저 가공부를 이용하여 상기 상층 잉크 패턴을 소결하여 상층 전극 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 다층 구조 소자의 제조 방법
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제7항에서,상기 용액 공정 장치에 설치된 터치 센서를 이용하여 상기 기판의 단차 데이터를 측정하는 단계,상기 단차 데이터를 이용하여 상기 기판의 수직 위치를 조절하는 단계를 더 포함하는 다층 구조 소자의 제조 방법
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제8항에서,상기 하층 전극 패턴을 형성한 후, 상기 잉크젯 노즐을 이용하여 제4 잉크를 분사하여 상기 하층 전극 패턴의 일부를 덮는 반도체층을 형성하는 단계를 더 포함하는 다층 구조 소자의 제조 방법
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제9항에서,상기 제1 잉크 및 상기 제3 잉크는 금속 나노 입자를 포함하고, 상기 제2 잉크는 절연 물질을 포함하며, 상기 제4 잉크는 용액 반도체 물질을 포함하는 다층 구조 소자의 제조 방법
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제9항에서,상기 잉크젯 프린팅부의 분사 모드는 라인 프린팅 모드(line printing mode), 드롭 온 디맨드 모드(drop on demand mode), 스프레이 코팅 모드(spray coating mode) 중에서 선택된 어느 하나를 포함하고,상기 제1 잉크 및 제3 잉크는 상기 라인 프린팅 모드로 분사하고, 상기 제2 잉크는 스프레이 코팅 모드(spray coating mode)로 분사하며, 상기 제4 잉크는 드롭 온 디맨드 모드로 분사하는 다층 구조 소자의 제조 방법
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