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횡파 발생 방지가 가능한 압전소자를 가진 초음파 진동자 및 이를 포함하는 초음파 세정 장치(An ultrasonic transmitter having piezoelectric element capable of transverse prevention and ultrasonic cleaning device including the same)

  • 기술번호 : KST2016019753
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약 본 발명에 따른 횡파 발생 방지가 가능한 압전소자를 가진 초음파 진동자는 n각형 형상으로 구성되며, 상기 n각형 형상의 모든 옆면 중에서 서로 평행하게 대향하는 2개의 옆면이 발생하지 않도록 상기 n각형 형상에 절단부가 형성되는 압전소자;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 횡파 발생 방지가 가능한 압전소자를 가진 초음파 진동자를 포함하는 초음파 세정 장치는 상기 압전소자와, 상면에 상기 압전소자가 결합되는 제1전달체와, 상기 제1전달체의 하면에 결합되는 제2전달체를 포함하는 초음파 진동자; 및 하면이 피세정물에 대향하도록 구비되며, 내부에 상기 압전소자와 제1전달체가 수납되는 하우징;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL B06B 1/06 (2006.01) H01L 21/463 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020150069529 (2015.05.19)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0136501 (2016.11.30)
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자
심사청구항수 0
인명정보가 없습니다
행정처리가 정보가 없습니다
청구항 정보가 없습니다
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.