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다색 양자점 패턴의 형성 방법 및 그 방법에 따라 형성된 다색 양자점 패턴, 양자점 발광소자(METHOD OF MANUFACTURING MULTICOLOR QUANTUM DOTS PATTERN AND MULTICOLOR QUANTUM DOTS FORMED BY THE METHOD, QUANTUM DOT LIGHT-EMITTING DEVICE)

  • 기술번호 : KST2016020009
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 다색 양자점 패턴의 형성 방법은, 기판 상에 제1 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 포토레지스트 패턴이 형성된 기판의 표면을 활성화시키는 단계; 상기 활성화된 기판 상에 제1 양자점층을 형성하는 단계; 상기 제1 포토레지스트 패턴을 제거하여 제1 양자점 패턴을 생성하는 단계; 및 상기 기판에 생성된 상기 제1 양자점 패턴과 동일층 상에 제2 양자점 패턴을 생성하는 단계를 포함한다. 이에 따라, 하나의 기판에 다양한 양자점을 용이하게 구현할 수 있다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01) H01L 33/04 (2010.01)
CPC H01L 51/0014(2013.01) H01L 51/0014(2013.01)
출원번호/일자 1020150074016 (2015.05.27)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0139354 (2016.12.07) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.05.27)
심사청구항수 26

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박준서 대한민국 서울특별시 성북구
2 한일기 대한민국 서울특별시 성북구
3 김지훈 대한민국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김 순 영 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)
2 김영철 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2015-0509165-84
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.01.08 수리 (Accepted) 9-1-2016-0000725-92
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.07.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0541957-59
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.09.22 수리 (Accepted) 1-1-2016-0918116-74
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.09.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0918117-19
7 등록결정서
Decision to grant
2017.01.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0008879-17
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 제1 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계;상기 제1 포토레지스트 패턴이 형성된 기판의 표면을 활성화시키는 단계;상기 활성화된 기판 상에 제1 양자점층을 형성하는 단계;상기 제1 포토레지스트 패턴을 제거하여 제1 양자점 패턴을 생성하는 단계; 및상기 기판에 생성된 상기 제1 양자점 패턴과 동일층 상에 제2 양자점 패턴을 생성하는 단계를 포함하고,상기 활성화된 기판 상에 제1 양자점층을 형성하는 단계는, 전하를 이용하는 층상자기조립법(Layer-by-Layer assembly method)으로 제1 양자점층을 형성하고, 상기 층상자기조립법은,상기 활성화된 기판의 표면 전하와 반대 극성의 전하를 띈 고분자를 상기 기판 상에 도포하는 단계;상기 기판을 pH 6 이상 pH 8 이하의 물로 세척하는 단계;상기 기판을 질소를 이용하여 건조시키는 단계;상기 기판의 고분자의 전하와 반대 극성의 전하를 띈 작용기를 갖는 양자점을 도포하는 단계;상기 기판을 pH 6 이상 pH 8 이하의 물로 세척하는 단계; 및상기 기판을 질소를 이용하여 건조시키는 단계를 포함하는, 다색 양자점 패턴의 형성 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 제2 양자점 패턴을 생성하는 단계는,상기 기판 상에 상기 제1 양자점 패턴을 덮는 제2 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계;상기 제2 포토레지스트 패턴이 형성된 기판의 표면을 활성화시키는 단계;상기 활성화된 기판 상에 제2 양자점층을 형성하는 단계; 및상기 제2 포토레지스트 패턴을 제거하여 제2 양자점 패턴을 생성하는 단계를 포함하는, 다색 양자점 패턴의 형성 방법
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서, 상기 활성화된 기판 상에 제1 양자점층을 형성하는 단계는,상기 층상자기조립법의 단계들을 반복적으로 수행하여 상기 제1 양자점층을 다중층으로 형성하는, 다색 양자점 패턴의 형성 방법
6 6
제1항에 있어서,상기 전하를 띈 고분자는, 양전하 또는 음전하를 띈 고분자 전해질이 0
7 7
제6항에 있어서,상기 전하를 띈 고분자는, 양전하 고분자의 경우 PDDA(poly diallyldimethylamonium chloride) 및 PAH(poly allylamine hydrochloride) 중 하나이고, 음전하 고분자의 경우 PSS(poly sodium styrene sulfonate) 및 PAA(polyacrylic acid) 중 하나인, 다색 양자점 패턴의 형성 방법
8 8
제1항에 있어서,상기 양자점은 표면이 소정의 전하를 갖도록 표면 개질된 0
9 9
삭제
10 10
제8항에 있어서,상기 양자점은 화합물을 이용하여 전하를 갖도록 표면이 개질되며, 상기 화합물은 양자점 또는 중간체(intermediate) 물질과 합성물을 이루는, 다색 양자점 패턴의 형성 방법
11 11
제10항에 있어서,상기 화합물은 R-COOH(acid) 또는 R1-N-R2-R3(amine: primary or secondary or tertially) 및 R-OH(alcohol)(이때, R은 carbon alkyl group을 지칭하는 것으로, R에서 carbon의 개수가 1이상 8이하인 화합물, R1, R2, R3는 수소(H) 또는 carbon 개수가 1이상 8 이하인 물질)의 작용기 중 적어도 하나를 갖는, 다색 양자점 패턴의 형성 방법
12 12
제10항에 있어서,상기 중간체 물질은 PEG, amphiphilc compound, oleic compound, amine compound, phosphorus compound, organosulfur compound, silane compound, dendrimer, protein, peptide 중 적어도 하나인, 다색 양자점 패턴의 형성 방법
13 13
제1항에 있어서, 상기 기판의 표면을 활성화시키는 단계는,산소 플라즈마, 자외선-오존, 산 또는 염기 및 마이크로파를 이용한 표면 활성화 방법 중 하나의 방법을 이용하는, 다색 양자점 패턴의 형성 방법
14 14
제13항에 있어서,산을 이용한 표면 활성화 방법은 pH 6 이하의 황산, 질산 및 염산 중 하나를 이용하는, 다색 양자점 패턴의 형성 방법
15 15
제13항에 있어서,염기를 이용한 표면 활성화 방법은 pH 8 이상의 NaOH, K2CO3, KOH를 이용하는, 다색 양자점 패턴의 형성 방법
16 16
제1항에 있어서, 상기 기판은 금속, 비금속, 세라믹, 산화막, 반도체, 유기물, 고분자 중 하나로 형성되는, 다색 양자점 패턴의 형성 방법
17 17
제16항에 있어서,상기 산화막은 SiO2, TiO2, Indium tin oxide(ITO), Y2O3, Al2O3, ZnO, WO3, MoO3, NiO, ZTO 및 SnO2 중 적어도 하나를 포함하고,상기 고분자는 폴리에틸렌(PE), 폴리메틸 메타아크릴레이트(PMMA), 폴리프로필렌(PP), 폴리우레탄(PUR), 폴리스티렌(PS), 폴리카보네이트(PC), 퍼플루오르폴리에테르(PFPE), 폴리테트라플루오르에틸렌(PTFE) 및 아크릴로나이트릴 부타디엔 스티렌(ABS) 중 적어도 하나를 포함하는, 다색 양자점 패턴의 형성 방법
18 18
제1항에 있어서,상기 제2 양자점은 상기 제1 양자점과 발광 특성이 다른, 다색 양자점 패턴의 형성 방법
19 19
제1항에 있어서,상기 제2 양자점은 상기 제1 양자점과 발광 특성이 같은, 다색 양자점 패턴의 형성 방법
20 20
제1항에 있어서,상기 제1 포토레지스트 패턴은 상대 극성(polarity index)이 0 보다 크고 7
21 21
제20항에 있어서,상기 유기용제는 alcohol(ROH: R의 C개수 1-3개), acetone, DMSO, NMP, NaOH, KOH, K2CO3 중 적어도 하나를 포함하는, 다색 양자점 패턴의 형성 방법
22 22
제1항에 있어서, 상기 기판 상에 제1 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계는,상기 기판 상에 제1 포토레지스트층을 형성하는 단계; 및상기 제1 포토레지스트층을 식각하여 제1 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계를 포함하는, 다색 양자점 패턴의 형성 방법
23 23
제22항에 있어서, 상기 제1 포토레지스트층을 식각하여 제1 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계는,광, 이온빔 및 전자빔 중 하나를 이용하는, 다색 양자점 패턴의 형성 방법
24 24
제1항, 제2항, 제5항 내지 제8항 및 제10항 내지 제23항 중 어느 한 항에 따른 다색 양자점 패턴의 형성 방법에 의해 형성되고,기판 상에 형성된 제1 양자점 패턴; 및상기 기판에 생성된 상기 제1 양자점 패턴과 동일층 상에 형성되고, 상기 제1 양자점과 발광 특성이 다른 제2 양자점 패턴을 포함하고,상기 제1 양자점 패턴 및 상기 제2 양자점 패턴을 구성하는 각 양자점들은 표면이 소정의 전하를 갖도록 하는 작용기를 갖고,상기 제1 양자점 패턴 및 상기 제2 양자점 패턴 중 적어도 하나는 다중층을 갖는, 다색 양자점 패턴
25 25
기판 상에 형성된 제1 양자점 패턴; 및상기 기판에 생성된 상기 제1 양자점 패턴과 동일층 상에 형성되고, 상기 제1 양자점과 발광 특성이 다른 제2 양자점 패턴을 포함하고,상기 제1 양자점 패턴 및 상기 제2 양자점 패턴을 구성하는 각 양자점들은 표면이 소정의 전하를 갖도록 하는 작용기를 갖고,상기 제1 양자점 패턴 및 상기 제2 양자점 패턴 중 적어도 하나는 다중층을 갖는, 다색 양자점 패턴
26 26
제25항에 있어서,상기 작용기는 음전하로는 카르복실기(-COOH) 또는 양전하로는 아민기(-NH3)를 갖는, 다색 양자점 패턴
27 27
삭제
28 28
기판 상에 제1 전극과 제2 전극 사이에 정공 수송층, 정공 주입층, 전자 수송층 중 적어도 하나 및 다색 양자점 패턴을 발광층으로서 포함하고, 상기 발광층은,상기 기판 상에 형성된 제1 양자점 패턴; 및상기 기판에 생성된 상기 제1 양자점 패턴과 동일층 상에 형성되고, 상기 제1 양자점과 발광 특성이 다른 제2 양자점 패턴을 포함하고,상기 제1 양자점 패턴 및 상기 제2 양자점 패턴을 구성하는 각 양자점들은 표면이 소정의 전하를 갖도록 하는 작용기를 갖고,상기 작용기는 음전하로는 카르복실기(-COOH) 또는 양전하로는 아민기(-NH3)를 갖는, 양자점 발광소자
29 29
삭제
30 30
제28항에 있어서,상기 제1 양자점 패턴 및 상기 제2 양자점 패턴 중 적어도 하나는 다중층을 갖는, 양자점 발광소자
31 31
제28항에 있어서,상기 제1 양자점 패턴 및 상기 제2 양자점 패턴의 크기는 픽셀 크기와 대응하는, 양자점 발광소자
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1 미래창조과학부 한국과학기술연구원 첨단융합기술개발 스펙트럼 제어 태양전지 응용기술 개발