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스테인레스스틸 또는 알루미늄 모재를 준비하고,상기 모재 위에 전도성 금속층; 및 전도성 세라믹층;을 교대로 반복 적층하여 나노복합코팅층을 형성하되,상기 전도성 금속층을 이루는 금속과 상기 세라믹층을 이루는 세라믹은 서로 반응하여 화합물을 이루지 않으며, 서로 고용체를 이루지도 않는 것으로 선택되고,상기 전도성 금속층과 상기 세라믹층은 각각 1nm 이하인 서브 나노 사이즈 두께로 교대로 증착됨으로써, 형성되는 나노복합코팅층의 금속입자와 세라믹 입자가 코팅 박막에서 각각 결정화가 일어나지 않도록 서로의 결정화 과정을 방해하여 비정질로 형성되어, 상기 나노복합코팅층으로 하여금 전도성과 내식성을 모두 구비하며,전도성 층을 이루는 금속원소는 Ru,Ir, Pd, Au,또는 Ni 중 하나 이상을 포함하고, 전도성 세라믹층을 이루는 세라믹은 TiN 또는 TaN 중 하나 이상을 포함하고,나노복합코팅층의 형성은 원자층 증착법(ALD:Atomic Layer deposition)으로 실시되어, 전도성 금속층을 형성하는 제1단계와 전도성 세라믹층을 형성하는 제2단계;를 포함하며, 제 1단계는, 금속원소를 포함한 전구체를 주입시켜 기판에 흡착시키는 단계; 퍼지가스를 주입하는 단계; O2, O3, NH3 , N2, 또는 N2+H2 중 하나 이상을 제1반응가스로서 주입하면서 플라즈마를 발생시켜 흡착된 금속전구체의 리간드를 제거함으로써 금속층을 형성하는 단계; 및 퍼지가스를 주입하는 단계;를 포함하고,제 2단계는, TiN 또는 TaN을 형성하기 위한 Ti 또는 Ta를 포함한 전구체를 주입하여 흡착시키는 단계; 퍼지가스를 주입하는 단계; NH3, N2, N2+H2 중 하나 이상을 제2반응가스로서 주입하면서 플라즈마를 발생시켜 흡착된 Ti 또는 Ta를 포함한 상기 전구체의 리간드를 제거함으로써 TiN 또는 TaN을 형성하는 단계; 및 퍼지가스를 주입하는 단계;를 포함하고,제 1단계 공정 또는 제 2단계 공정을 반복하는 횟수를 제어하여 나노복합코팅층의 전도성 또는 내식성을 제어하며, 제 2단계 공정 실시 횟수 대 제 1단계 공정의 실시 횟수는 1:15 내지 25로 하여 전도성과 내식성을 구비하게 한 것을 특징으로 하는 연료전지분리판의 제조방법
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