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단일의 원형 마스터를 이용하여 열가소성 고분자 쉬트에 1차 핫엠보싱 공정으로 패턴을 복제하는 단계;상기 복제된 패턴의 표면에 버퍼층을 형성하는 단계;상기 버퍼층이 형성되지 않은 반대면에 상기 원형 마스터를 이용한 2차 핫엠보싱 공정으로 클레드용 패턴이 존재하는 고분자 금형을 제작하는 단계;상기 고분자 금형을 탄성체 물질로 몰딩하여 패턴을 복제하고 탄성체 물질을 상하로 분리하여 상부 탄성체 금형과 하부 탄성체 금형을 형성하는 단계;상기 상하부 탄성체 금형을 이용하여 중간 클레드를 형성하고 중간 클레드 상하부의 패턴에 코어 레진을 충진하고 상,하부 클레드를 적층한후 경화 공정을 진행하여 2차원 광도파로를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 2차원 고분자 광도파로의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 1차 핫엠보싱 공정으로 패턴을 복제하는 단계는,상기 원형 마스터와 열가소성 고분자인 폴리메틸 메타크릴레이트(polymethyl Methacrylate;PMMA)쉬트를 사용하여 1차 핫엠보싱 공정을 진행하여 고분자 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 2차원 고분자 광도파로의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 버퍼층을 형성하는 단계에서,핫엠보싱 공정에 의하여 복제된 패턴의 변형을 제어하기 위하여 복제된 패턴의 표면위에 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane;PDMS) 금형을 적층하여 버퍼층으로 사용하는 것을 특징으로 하는 2차원 고분자 광도파로의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 고분자 금형을 제작하는 단계는,상기 버퍼층이 존재하지 않는 폴리메틸 메타크릴레이트(polymethyl Methacrylate;PMMA) 쉬트 면에 원형 마스터에 의한 2차 핫엠보싱 공정을 진행하고,이 단계에서 원형 마스터 내부에 존재하는 정렬키와 1차 핫엠보싱 공정으로 복제된 패턴 내부에 존재하는 정렬키를 일치시켜 층간 위치 정밀도를 제어하는 것을 특징으로 하는 2차원 고분자 광도파로의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 상부 탄성체 금형과 하부 탄성체 금형을 형성하는 단계는,상기 고분자 금형을 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane;PDMS)으로 몰딩하여 탄성체 금형을 형성하는 공정과,상기 탄성체 금형 내부의 고분자 금형이 존재하는 영역에서 상부의 영역만 절단하고 절단된 탄성체 금형 부분을 또 다른 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane;PDMS) 쉬트 또는 글래스 플레이트(glass plate)에 부착하여 상부 탄성체 금형을 형성하는 공정과,남아있는 하부의 탄성체 금형에서 고분자 금형을 분리하여 하부 탄성체 금형을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 2차원 고분자 광도파로의 제조 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 탄성체 금형을 절단하여 만들어진 상부 탄성체 금형 및 하부 탄성체 금형 사이에 자외선 경화 수지를 충진하고 경화시켜 만들어진 고분자 패턴을 중간 클레드로 사용하는 것에 의해,탄성체 금형의 형성 공정시에 결정된 탄성체 금형의 윗면과 아랫면의 두께가 최종적인 2차원 광도파로의 중간 클레드 두께를 좌우하게 되는 것을 특징으로 하는 2차원 고분자 광도파로의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 중간 클레드를 형성하는 공정은,상기 하부 탄성체 금형의 캐비티(cavity) 내부에 자외선 경화 수지를 충진하고 상부 탄성체 금형으로 덮어 접합시키는 공정과,상기 상부 탄성체 금형과 하부 탄성체 금형이 접합된 상황에서 자외선 노광하는 공정과,상기 노광 공정으로 액체 상태의 자외선 경화 수지가 고체 상태로 경화되면 상,하부 탄성체 금형과 분리하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 2차원 고분자 광도파로의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 2차원 광도파로를 형성하는 공정은,상기 중간 클레드의 양쪽 면의 각각의 코어 영역부에 중간 클레드보다 고굴절율의 자외선 경화 수지를 충진하고,상하부 각각에 중간 클레드와 동일한 굴절율을 가지는 상,하부 클레드를 적층한후 경화 공정을 진행하는 것을 특징으로 하는 2차원 고분자 광도파로의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 고분자 금형을 2차원 고분자 광도파로 제작을 위한 중간 클레드로 직접 사용하여,상기 고분자 금형의 양쪽면의 코어 채널 내부에 코어 레진의 충진 공정을 진행하고 상부 하부 클레드를 적층하여 2차원 고분자 광도파로를 형성하는 것을 특징으로 하는 2차원 고분자 광도파로의 제조 방법
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