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흑린 식각장치(APPARATUS FOR ETCHING THICKNESS OF BLACK PHOSPHOROUS)

  • 기술번호 : KST2017010430
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 흑린 식각장치에 관한 것으로, 본 발명의 제1 실시예에 따른 흑린 식각장치는 하면에 흑린 단편(1)이 고정되는 기판(10), 내부에 기판(10)을 수용하는 반응챔버(20), 반응챔버(20)의 바닥면으로부터 흑린 단편(1)이 이격되도록, 기판(10)을 지지하는 지지대(30), 휘발성 부산물을 생성하는 공정가스(40); 및 공정가스(40)를 공급받아 플라즈마를 유도하고, 플라즈마를 기판(10)의 상면으로 분사하여, 플라즈마 이온 확산에 의해 흑린 단편(1)을 식각하는 플라즈마 발생기(50)를 포함한다.
Int. CL H01L 29/16 (2016.12.20) H01L 21/3065 (2016.12.20) H05H 1/46 (2016.12.20) H01L 21/02 (2016.12.20) C01B 31/04 (2016.12.20)
CPC H01L 21/67069(2013.01) H01L 21/67069(2013.01) H01L 21/67069(2013.01) H01L 21/67069(2013.01) H01L 21/67069(2013.01)
출원번호/일자 1020160170269 (2016.12.14)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0072806 (2017.06.27) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020150181004   |   2015.12.17
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.12.14)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김지현 대한민국 서울특별시 강남구
2 이건엽 대한민국 경상북도

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정은열 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, ***호(정앤김특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.12.14 수리 (Accepted) 1-1-2016-1225820-67
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.09.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.11.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0183858-42
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.12.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0888127-19
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.02.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0169889-48
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.02.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-0169890-95
7 등록결정서
Decision to grant		 2018.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0441118-26
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
상면에 흑린 단편이 고정되는 기판;내부에 상기 기판을 수용하는 반응챔버;상기 흑린 단편과 이격되도록, 상기 기판보다 상향에 배치되는 커버;상기 커버를 지지하는 지지대;휘발성 부산물을 생성하는 공정가스; 및상기 공정가스를 공급받아 플라즈마를 유도하고, 상기 플라즈마를 상기 커버에 분사하여, 상기 플라즈마 이온 확산에 의해 상기 흑린 단편을 식각하는 플라즈마 발생기;를 포함하는 흑린 식각장치
3 3
청구항 2에 있어서,상기 공정가스는 플루오린(fluorine, F)을 포함하는 가스인 흑린 식각장치
4 4
청구항 2에 있어서,상기 공정가스는 육불화황(SF6)인 흑린 식각장치
5 5
청구항 2에 있어서,상기 공정가스의 양을 제어하여, 식각비율을 조절하는 가스제어기;를 더 포함하는 흑린 식각장치
6 6
청구항 2에 있어서,상기 플라즈마 발생기의 출력을 제어하여, 식각비율을 조절하는 출력제어기;를 더 포함하는 흑린 식각장치
7 7
청구항 2에 있어서,상기 플라즈마의 노출 시간을 제어하여, 식각비율을 조절하는 시간제어기;를 더 포함하는 흑린 식각장치
8 8
청구항 2에 있어서,상기 흑린 단편의 두께를 측정하는 두께측정기;를 더 포함하는 흑린 식각장치
9 9
청구항 8에 있어서,상기 두께측정기는상기 흑린 단편에 광을 조사하는 광원; 및상기 흑린 단편으로부터 반사된 광의 라만분광을 측정하는 분광기;를 포함하는 흑린 식각장치
10 10
청구항 8에 있어서,상기 두께측정기는상기 흑린 단편에 전압을 인가하는 전원; 및상기 흑린 단편의 전기적 데이터 변화를 측정하는 데이터 측정기;를 포함하는 흑린 식각장치
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1 미래창조과학부 고려대학교 산학협력단 이공학개인기초연구지원 방사선을 이용한 black phosporus 초박막의 물성제어연구