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용매열 스핀 코팅 단일 공정을 이용한 자가 조립 블록 공중합체 패턴의 제조방법(Method for rapid preparation of polymer patterns based on in situ annealing during spin-casting)

  • 기술번호 : KST2017017880
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 용매열 스핀 코팅 단일 공정을 이용한 자가 조립 블록 공중합체 패턴의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는, 기판 상에 블록 공중합체 (block copolymers, BCP) 용액을 도포하고 스핀 코팅 및 상기 기판에 열을 가해줌으로써 상기 블록 공중합체의 자가 조립에 의해서 상기 블록 공중합체의 패턴을 형성하는 방법에 있어서, 상기 스핀 코팅과 동시에 열 처리를 수행하는 것을 특징으로 하는 용매열 스핀 코팅 단일 공정을 이용한 자가 조립 블록 공중합체 패턴의 제조방법에 관한 것이다.본 발명에 따르면, 블록 공중합체를 이용한 미세구조 형성의 공정을 간소화함으로써, 나노리소그래피를 이용한 대량 생산에 적합한 공정을 제공할 수 있는 바, 특히, 매우 간단한 장비 구성을 통해서 나노 패터닝을 구현하는 것이 가능하다. 이를 통해서, 기존의 복잡한 공정에서 야기되는 나노 패턴의 결함 발생율을 획기적으로 낮출 수 있으며, 공정 시간 단축을 통해서 대량 생산의 효율성을 높일 수 있다.
Int. CL H01L 21/027 (2016.07.07) H01L 21/02 (2016.07.07) G03F 7/00 (2016.07.07) H01L 21/033 (2016.07.07) H01L 21/308 (2016.07.07) H01L 21/324 (2016.07.07)
CPC H01L 21/0271(2013.01) H01L 21/0271(2013.01) H01L 21/0271(2013.01) H01L 21/0271(2013.01) H01L 21/0271(2013.01) H01L 21/0271(2013.01)
출원번호/일자 1020160068182 (2016.06.01)
출원인 고려대학교 산학협력단, 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0136291 (2017.12.11) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.06.01)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
2 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 방준하 대한민국 서울특별시 서초구
2 최영선 대한민국 부산광역시 동래구
3 허준 대한민국 서울특별시 서초구
4 우상훈 대한민국 서울특별시 중랑구
5 정현중 대한민국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정은열 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, ***호(정앤김특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2016-0529253-07
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.05.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.07.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0489643-53
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.07.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0103986-24
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.09.12 수리 (Accepted) 1-1-2017-0885059-30
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.10.12 수리 (Accepted) 1-1-2017-1001211-19
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.11.13 수리 (Accepted) 1-1-2017-1120898-67
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.12.12 수리 (Accepted) 1-1-2017-1234569-46
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.01.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0034051-84
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.01.11 수리 (Accepted) 1-1-2018-0034052-29
13 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.05.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0359037-79
14 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2018.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2018-0639770-61
15 법정기간연장승인서
2018.07.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0101294-15
16 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2018.07.27 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0745409-13
17 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2018-0745410-59
18 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.08.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0578357-00
19 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2018.10.01 수리 (Accepted) 1-1-2018-0964698-16
20 법정기간연장승인서
2018.10.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0152816-22
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 블록 공중합체 (block copolymers, BCP) 용액을 도포하고 스핀 코팅 및 상기 기판에 열을 가해줌으로써 상기 블록 공중합체의 자가 조립에 의해서 상기 블록 공중합체의 패턴을 형성하는 방법에 있어서, 상기 스핀 코팅과 동시에 열 처리를 수행하는 것을 특징으로 하는 용매열 스핀 코팅 단일 공정을 이용한 자가 조립 블록 공중합체 패턴의 제조방법
2 2
제1항에 있어서,상기 블록 공중합체는 30 내지 500 kg/mol의 수평균 분자량 및 2 미만의 분산도를 갖는 층상 구조 폴리(스티렌-b-메틸 메타크릴레이트) (lamella-forming symmetric poly(styrene-b-methyl methacrylate, PS-b-PMMA)인 것을 특징으로 하는 용매열 스핀 코팅 단일 공정을 이용한 자가 조립 블록 공중합체 패턴의 제조방법
3 3
제1항에 있어서,상기 기판은 실리콘 웨이퍼 기판인 것을 특징으로 하는 용매열 스핀 코팅 단일 공정을 이용한 자가 조립 블록 공중합체 패턴의 제조방법
4 4
제1항에 있어서,상기 스핀 코팅은 상기 기판 상에 상기 블록 공중합체 용액을 도포하고 예열하는 단계; 및 상기 기판을 열 복사 조건 하에서 회전시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 용매열 스핀 코팅 단일 공정을 이용한 자가 조립 블록 공중합체 패턴의 제조방법
5 5
제4항에 있어서,상기 예열은 1초 내지 10분 동안 수행될 수 있으며, 상기 회전은 500 rpm 내지 5000 rpm의 회전 속도로 10초 내지 5분 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 용매열 스핀 코팅 단일 공정을 이용한 자가 조립 블록 공중합체 패턴의 제조방법
6 6
제1항에 있어서,상기 열을 가해주는 단계는 상기 스핀 코팅을 수행하기 위한 회전판 상단에 할로겐 램프 열원을 배치하고, 상기 할로겐 램프로부터 복사되는 열을 상기 회전판에 가해줌으로써 수행되는 것을 특징으로 하는 용매열 스핀 코팅 단일 공정을 이용한 자가 조립 블록 공중합체 패턴의 제조방법
7 7
제1항에 있어서,상기 열을 가해줌으로써 상기 블록 공중합체 용액의 온도를 100 ℃ 내지 250 ℃로 유지해주면서 상기 스핀 코팅을 수행하는 것을 특징으로 하는 용매열 스핀 코팅 단일 공정을 이용한 자가 조립 블록 공중합체 패턴의 제조방법
8 8
제1항에 있어서,상기 블록 공중합체 용액을 제조하기 위한 용매는 100 ℃ 내지 350 ℃의 비등점을 갖는 용매인 것을 특징으로 하는 용매열 스핀 코팅 단일 공정을 이용한 자가 조립 블록 공중합체 패턴의 제조방법
9 9
제1항에 있어서,상기 블록 공중합체 용액을 제조하기 위한 용매는 250 ℃ 내지 350 ℃의 비등점을 갖는 용매인 것을 특징으로 하는 용매열 스핀 코팅 단일 공정을 이용한 자가 조립 블록 공중합체 패턴의 제조방법
10 10
제1항에 있어서,상기 블록 공중합체 용액을 제조하기 위한 용매는 톨루엔, 디메틸포름아미드 (DMF), 디페닐 에테르 (DPE), 및 디벤질 에테르 (DBE)로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 용매인 것을 특징으로 하는 용매열 스핀 코팅 단일 공정을 이용한 자가 조립 블록 공중합체 패턴의 제조방법
11 11
제1항에 있어서,상기 블록 공중합체 용액을 제조하기 위한 용매는 디페닐 에테르 (DPE) 또는 디벤질 에테르 (DBE)인 것을 특징으로 하는 용매열 스핀 코팅 단일 공정을 이용한 자가 조립 블록 공중합체 패턴의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 이공분야기초연구사업 고려대학교 중견연구자지원사업 - 핵심연구지원사업 특이 구조 블록 공중합체의 아키텍쳐 설계를 통한 10 nm 이하/100nm 이상의 나노패턴 구현
2 원천기술개발사업 부산대학교 글로벌프런티어사업 - 하이브리드 인터페이스 기반 미래소재 연구 초고강도 하이브리드 접착소재 원천기술 개발
3 원천기술개발사업 고려대학교 나노·소재 기술개발사업 - 나노·소재원천기술개발사업 10 nm 급 3차원 나노 구조물 제작을 위한 나노 임프린트와 나노막대형성기술